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微電子器件用壓敏貼膜的制作方法

文檔序號(hào):11833971閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種微電子器件用壓敏貼膜,所述壓敏貼膜貼合于發(fā)熱部件表面,所述壓敏貼膜包括石墨層、位于石墨層表面的導(dǎo)熱膠粘層和離型材料層,此離型材料層貼合于導(dǎo)熱膠粘層與石墨層相背的表面;其特征在于:所述石墨層通過(guò)以下工藝方法獲得,此工藝方法包括以下步驟:

步驟一、將聚酰亞胺薄膜從室溫升至250℃,保溫后升至400℃后將至室溫;

步驟二、在經(jīng)過(guò)步驟一的聚酰亞胺薄膜的上、下表面均涂覆一層石墨改性劑獲得處理后的聚酰亞胺薄膜,所述石墨改性劑的粘度為30000~48000CP;

所述石墨改性劑由以下重量份的組分組成:

均苯四甲酸二酐 28.5份,

二苯甲酮四酸二酐 12.5份,

二氨基二苯甲烷 26份,

二甲基甲酰胺 22份,

N-甲基吡咯烷酮 8.5份,

乙二醇 1.5份,

聚二甲基硅氧烷 2份;

步驟三、將處理后的聚酰亞胺薄膜升溫至800℃,保溫后在升溫至1200℃,保溫后冷卻,從而獲得預(yù)燒制的碳化膜;

步驟四、采用壓延機(jī)壓延所述步驟四的預(yù)燒制的碳化膜;

步驟五、升溫至2400℃,保溫后再升溫至2900℃,保溫后冷卻,從而獲得主燒制的石墨膜;

步驟六、然后將步驟五所得的主燒制的石墨膜進(jìn)行壓延從而獲得所述石墨層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓敏貼膜,其特征在于:所述步驟一中將聚酰亞胺薄膜以4~6度/min速度從室溫升至250℃,保持0.9~1.1小時(shí),然后以2.5~3.5度/min,升至400℃,保持1小時(shí)后將至室溫。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓敏貼膜,其特征在于:所述步驟五中以19~21度/min的速度升至2400℃,保持0.9~1.1小時(shí),再以19~21度/min的速度升至2900℃,保持1.8~2.2小時(shí)后冷卻,從而獲得主燒制的石墨膜。

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