清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于清洗設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置。它包括電機驅(qū)動機構(gòu)，所述的電機驅(qū)動機構(gòu)的輸出端連接渦輪組件，所述的渦輪組件嚙合蝸桿組件，所述的蝸桿組件包括中空的蝸桿，蝸桿的一端密封連接具有進水口的旋轉(zhuǎn)軸組件，另一端可拆卸的連接噴桿，所述的噴桿的端部密封且噴桿的側(cè)壁設(shè)有若干噴嘴。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，能進行360°旋轉(zhuǎn)清洗，清洗效率高、速度快。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型屬于清洗設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種清洗用的高壓水噴桿裝置，尤其涉 及一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置。 清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 多晶娃（polycrystalline silicon)有灰色金屬光澤，密度 2. 32-2. 34g/cm3。烙 點14KTC。沸點2355°C。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和鹽酸。硬度介于 鍺和石英之間，室溫下質(zhì)脆，切割時易碎裂。加熱至800°C以上即有延性，1300°C時顯出明 顯變形。常溫下不活潑，高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。高溫熔融狀態(tài)下，具有較大的化學(xué)活潑 性，能與幾乎任何材料作用。具有半導(dǎo)體性質(zhì)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料，但微量的雜 質(zhì)即可大大影響其導(dǎo)電性。電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機、錄音機、電冰箱、彩電、 錄像機、電子計算機等的基礎(chǔ)材料。由干燥硅粉與干燥氯化氫氣體在一定條件下氯化，再經(jīng) 冷凝、精餾、還原而得。
[0003] 多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)主要為改良西門子法和硅烷法，無論是哪種方法，都需要將多 晶硅進行冷卻結(jié)晶沉淀，在這個過程中，需要用到反應(yīng)釜或流化床進行結(jié)晶，目前以使用反 應(yīng)釜結(jié)晶較多。結(jié)晶完成后，需要對反應(yīng)釜進行清洗，如清洗不完全，則會導(dǎo)致下次結(jié)晶時 雜質(zhì)含量較多或結(jié)晶不完全。現(xiàn)有的清洗工序通常是人工用水槍進行沖洗，沖洗時間較長， 且無法對反應(yīng)釜內(nèi)部進行360°沖洗，因此反應(yīng)釜清洗不完全導(dǎo)致的質(zhì)量事故時有發(fā)生。
[0004] 人們經(jīng)過不斷的的探索，提出了各種各樣的解決方案，如中國專利文獻公開了一 種噴桿結(jié)構(gòu)[申請?zhí)枺?01220462149. 8]，包括進水座、調(diào)整座、固定螺母以和噴嘴套，所述 進水座依序包括連接段、止擋段、接合段與外螺紋段，所述連接段與所述止擋段之內(nèi)部軸向 貫穿有一螺孔，所述接合段徑向設(shè)有一凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有一彈性件與一球體，所述外螺 紋段軸向設(shè)有第一容槽、第二容槽與第三容槽，所述第一容槽、第二容槽與第三容槽分別透 過第一水道、第二水道與第三水道連通螺孔，所述第一容槽內(nèi)設(shè)有第一滾珠，所述第二容槽 內(nèi)設(shè)有第二滾珠等。上述方案通過第一定位槽、第二定位槽、第三定位槽配合球體可使噴嘴 套定位，以快速切換不同的噴灑模式，且噴嘴套外緣之第一凸緣、第二凸緣與第三凸緣，可 引導(dǎo)使用者調(diào)整至需要之噴灑模式，又噴嘴套、調(diào)整座與進水座互相搭配，當轉(zhuǎn)動噴嘴套則 會同時帶動調(diào)整座旋轉(zhuǎn)，并使水從第一噴嘴、第二噴嘴或第三噴嘴噴出，進而達到簡便變換 不同噴灑模式和降低整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜度之功效。
[0005] 但上述方案的出水口仍然僅限于端部，無法實現(xiàn)360°的快速清洗，當用于多晶硅 反應(yīng)釜清洗時，清洗效率較低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本實用新型的目的是針對上述問題，提供一種清洗效率高、清洗效果好的清洗多 晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置。
[0007] 為達到上述目的，本實用新型采用了下列技術(shù)方案：一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高 壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，包括電機驅(qū)動機構(gòu)，所述的電機驅(qū)動機構(gòu)的輸出端連接渦輪組件，所述的 渦輪組件嚙合蝸桿組件，所述的蝸桿組件包括中空的蝸桿，蝸桿的一端密封連接具有進水 口的旋轉(zhuǎn)軸組件，另一端可拆卸的連接噴桿，所述的噴桿的端部密封且噴桿的側(cè)壁設(shè)有若 干噴嘴。
[0008] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的電機驅(qū)動機構(gòu)通過減 速機連接渦輪組件，所述的渦輪組件包括與減速機的輸出軸固接的渦輪，渦輪與蝸桿嚙合。
[0009] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的旋轉(zhuǎn)軸組件包括中空 的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的一端設(shè)有進水口，旋轉(zhuǎn)軸遠離進水口的另一端與蝸桿緊密接觸且旋轉(zhuǎn) 軸與蝸桿的接觸部外面套設(shè)有密封函組件。
[0010] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的旋轉(zhuǎn)軸和蝸桿外還套 設(shè)有機座套，且旋轉(zhuǎn)軸的進水口和蝸桿的一端延伸出機座套外，蝸桿延伸出機座套外的一 端通過法蘭組件連接噴桿。
[0011] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的噴桿的端部用堵頭密 封。
[0012] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的減速機通過連接件與 機座套固定連接，且減速機的輸出軸與連接件活動連接，所述的噴桿與連接件活動連接。
[0013] 與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：結(jié)構(gòu)簡單，能進行360°旋轉(zhuǎn)清洗， 清洗效率高、速度快。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 圖1是本實用新型提供的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015] 圖中：電機驅(qū)動機構(gòu)1、渦輪組件2、渦輪21、蝸桿組件3、蝸桿31、旋轉(zhuǎn)軸組件4、旋 轉(zhuǎn)軸40、進水口 41、噴桿5、噴嘴51、堵頭52、減速機6、密封函組件7、機座套8、法蘭組件9、 連接件10。

【具體實施方式】
[0016] 下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做進一步詳細的說明。
[0017] 如圖1所示，一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，包括電機驅(qū)動機構(gòu)1， 電機驅(qū)動機構(gòu)1包括電機，所述的電機驅(qū)動機構(gòu)1的輸出端連接渦輪組件2,所述的渦輪組 件2嚙合蝸桿組件3,當電機驅(qū)動渦輪組件2轉(zhuǎn)動時，與渦輪組件2嚙合的蝸桿組件3隨之 轉(zhuǎn)動，且渦輪組件2與蝸桿組件3的旋轉(zhuǎn)面垂直，所述的蝸桿組件3包括中空的蝸桿31，蝸 桿31的一端密封連接具有進水口 41的旋轉(zhuǎn)軸組件4,另一端可拆卸的連接噴桿5,所述的 噴桿5的端部密封且噴桿5的側(cè)壁設(shè)有若干噴嘴51，當然也可以不設(shè)噴嘴51而直接在噴 桿5上開設(shè)若干小孔，優(yōu)選的，噴嘴51設(shè)置在噴桿5的側(cè)壁上且噴嘴51不在同一直線上， 這樣，當噴嘴51噴出高壓水時，具有較大的覆蓋面。
[0018] 在工作時，電機驅(qū)動機構(gòu)1驅(qū)動渦輪組件2轉(zhuǎn)動，并驅(qū)動蝸桿組件3轉(zhuǎn)動，由于蝸 桿組件3與噴桿5連接，因此噴桿5也開始轉(zhuǎn)動，將進水口 41連接高壓水發(fā)生器，高壓水依 次通過旋轉(zhuǎn)軸組件4、蝸桿組件3和噴桿5,并從噴嘴51噴出高壓水，由于噴桿5是轉(zhuǎn)動的， 因此可以對多晶硅反應(yīng)釜的各個角度進行清洗，從而將多晶硅反應(yīng)釜徹底清洗干凈。在上 述過程中，旋轉(zhuǎn)軸組件4是靜止的，蝸桿組件3與旋轉(zhuǎn)軸組件4密封連接，因此高壓水不會 從旋轉(zhuǎn)軸組件4與蝸桿組件3的連接處溢出。
[0019] 電機驅(qū)動機構(gòu)1通過減速機6連接渦輪組件2，減速機6將電機驅(qū)動機構(gòu)1的轉(zhuǎn)速 變慢，防止轉(zhuǎn)動過快導(dǎo)致漏水或燒壞電機驅(qū)動機構(gòu)1，所述的渦輪組件2包括與減速機6的 輸出軸固接的渦輪21，渦輪21與蝸桿31嚙合。
[0020] 旋轉(zhuǎn)軸組件4包括中空的旋轉(zhuǎn)軸40,旋轉(zhuǎn)軸40的一端設(shè)有進水口 41，旋轉(zhuǎn)軸40 遠離進水口 41的另一端與蝸桿31緊密接觸且旋轉(zhuǎn)軸40與蝸桿31的接觸部外面套設(shè)有密 封函組件7,密封函組件7可以采用夾套加密封圈的方式進行密封，而作為優(yōu)選的，旋轉(zhuǎn)軸 40與密封函組件7的接觸面采用搪塑工藝進行處理，從而進一步提高密封效果，當然，也可 以采用四氟乙烯材料進行密封。
[0021] 旋轉(zhuǎn)軸40和蝸桿31外還套設(shè)有機座套8,機座套8起到固定作用，從而可以將整 個裝置固定在某個位置，便于更好的進行清洗作業(yè)，且旋轉(zhuǎn)軸40的進水口 41和蝸桿31的 一端延伸出機座套8外，蝸桿31延伸出機座套8外的一端通過法蘭組件9連接噴桿5。減 速機6通過連接件10與機座套8固定連接，且減速機6的輸出軸與連接件10活動連接，所 述的噴桿5與連接件10活動連接，連接件10可采用法蘭件，便于采購和替換。
[0022] 如前所述，噴桿5的端部是密封的，作為一種優(yōu)選的方案，噴桿5的端部用堵頭52 密封，堵頭52與噴桿5可拆卸的連接，便于拆卸清洗噴桿5內(nèi)部。
[0023] 本實用新型在清洗作業(yè)時，通常將噴桿5伸入到多晶硅反應(yīng)釜內(nèi)部，通過噴桿5的 轉(zhuǎn)動，噴嘴51沿噴桿5的周向轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)噴嘴51的出水面的360°覆蓋，當然，也可以通過 噴桿5的上下或左右移動，對反應(yīng)釜內(nèi)部的死角進行重點清洗。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，但在 清洗時噴桿能進行360°旋轉(zhuǎn)，從而完成對多晶硅反應(yīng)釜的徹底清洗，清洗作業(yè)效率高、效 果好，清洗成本低。
[0024] 本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型精神作舉例說明。本實用新型所 屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似 的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
[0025] 盡管本文較多地使用了電機驅(qū)動機構(gòu)1、渦輪組件2、渦輪21、蝸桿組件3、蝸桿31、 旋轉(zhuǎn)軸組件4、旋轉(zhuǎn)軸40、進水口 41、噴桿5、噴嘴51、堵頭52、減速機6、密封函組件7、機座 套8、法蘭組件9、連接件10等術(shù)語，但并不排除使用其它術(shù)語的可能性。使用這些術(shù)語僅 僅是為了更方便地描述和解釋本實用新型的本質(zhì)；把它們解釋成任何一種附加的限制都是 與本實用新型精神相違背的。
【權(quán)利要求】
1. 一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，包括電機驅(qū)動機構(gòu)（1)，所述的電機 驅(qū)動機構(gòu)（1)的輸出端連接渦輪組件（2)，所述的渦輪組件（2)嚙合蝸桿組件（3)，其特征 在于，所述的蝸桿組件（3)包括中空的蝸桿（31)，蝸桿（31)的一端密封連接具有進水口 (41)的旋轉(zhuǎn)軸組件（4)，另一端可拆卸的連接噴桿（5)，所述的噴桿（5)的端部密封且噴桿 (5) 的側(cè)壁設(shè)有若干噴嘴（51)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在于，所述 的電機驅(qū)動機構(gòu)（1)通過減速機（6)連接渦輪組件（2)，所述的渦輪組件（2)包括與減速機 (6) 的輸出軸固接的渦輪（21)，渦輪（21)與蝸桿（31)嚙合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在于，所述 的旋轉(zhuǎn)軸組件（4)包括中空的旋轉(zhuǎn)軸（40)，旋轉(zhuǎn)軸（40)的一端設(shè)有進水口（41)，旋轉(zhuǎn)軸 (40)遠離進水口（41)的另一端與蝸桿（31)緊密接觸且旋轉(zhuǎn)軸（40)與蝸桿（31)的接觸部 外面套設(shè)有密封函組件（7)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在于，所述 的旋轉(zhuǎn)軸（40)和蝸桿（31)外還套設(shè)有機座套（8)，且旋轉(zhuǎn)軸（40)的進水口（41)和蝸桿 (31)的一端延伸出機座套（8)外，蝸桿（31)延伸出機座套（8)外的一端通過法蘭組件（9) 連接噴桿（5)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特 征在于，所述的噴桿（5)的端部用堵頭（52)密封。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2或3或4所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在 于，所述的減速機（6)通過連接件（10)與機座套（8)固定連接，且減速機（6)的輸出軸與 連接件（10)活動連接，所述的噴桿（5)與連接件（10)活動連接。
【文檔編號】B05B3/10GK203899791SQ201420275392
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】繩欽國 申請人:浙江德清寶豐射流系統(tǒng)工程有限公司