一種液體噴涂裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種液體噴涂裝置，包括：用于承載待噴涂部件的承載臺(tái)，以及液體噴頭裝置；還包括：用于在噴涂過(guò)程中與待噴涂部件的邊緣相連接、以擴(kuò)大噴涂面積的拼接部件。本實(shí)用新型的有益效果是：將待噴涂部件邊緣液體不均勻的現(xiàn)象轉(zhuǎn)移到拼接部件上，實(shí)現(xiàn)部件利用的最大化，提高液晶產(chǎn)品的整體性能。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種液體噴涂裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及TFT-1XD (薄膜晶體管型液晶顯示屏)制造工藝，尤其涉及TFT (薄膜晶體管)器件的工藝制造中的用于對(duì)待噴涂部件進(jìn)行液體噴涂的液體噴涂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前大尺寸TFT面板工藝制作過(guò)程中，在部件的表面進(jìn)行液體噴涂，存在部件邊緣液體不均勻的現(xiàn)象，特別是現(xiàn)在越來(lái)越多窄邊設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，例如在TFT AA (有效)區(qū)外設(shè)計(jì)GOA (陣列基板行驅(qū)動(dòng))，為了提高TFT特性對(duì)邊緣顯影的技術(shù)要求越來(lái)越高。
[0003]例如:在涂膠曝光后的部件的表面進(jìn)行液體顯影，面板邊緣區(qū)域會(huì)出現(xiàn)液坑，邊緣顯影液分布不均勻，容易導(dǎo)致邊緣處⑶uniformity (關(guān)鍵尺寸均勻)變差，嚴(yán)重時(shí)候，曝光后顯影不充分的地方容易在刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生殘留物。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種液體噴涂裝置，避免待噴涂部件邊緣的不均勻現(xiàn)象。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種液體噴涂裝置，包括:用于承載待噴涂部件的承載臺(tái)，以及液體噴頭裝置；還包括:
[0006]用于在噴涂過(guò)程中與待噴涂部件的邊緣相連接、以擴(kuò)大噴涂面積的拼接部件。
[0007]進(jìn)一步的，所述承載臺(tái)相對(duì)的兩側(cè)分別設(shè)有支架，所述拼接部件可移動(dòng)的設(shè)置在所述支架上。
[0008]進(jìn)一步的，所述支架上設(shè)有導(dǎo)軌，以及用于控制所述拼接部件在所述導(dǎo)軌上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件，所述拼接部件設(shè)置在所述導(dǎo)軌上。
[0009]進(jìn)一步的，還包括用于感應(yīng)所述拼接部件與待噴涂部件之間的距離、并向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送信號(hào)的感應(yīng)部件，所述感應(yīng)部件設(shè)置在所述承載臺(tái)上、并與所述驅(qū)動(dòng)部件連接。
[0010]進(jìn)一步的，所述支架與所述承載臺(tái)樞接，所述支架具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，所述第一狀態(tài)為噴涂過(guò)程中所述支架與所述承載臺(tái)平行，所述第二狀態(tài)為噴涂前和噴涂后所述支架向下翻折與所述承載臺(tái)垂直。
[0011]進(jìn)一步的，在所述支架位于所述第一狀態(tài)時(shí)，所述拼接部件的噴涂表面與待噴涂部件的噴涂表面位于同一水平面。
[0012]進(jìn)一步的，所述拼接部件為矩形結(jié)構(gòu)，該矩形結(jié)構(gòu)具有與待噴涂部件的邊緣相連接的第一側(cè)，所述第一側(cè)的長(zhǎng)度不小于待噴涂部件的邊緣的長(zhǎng)度。
[0013]進(jìn)一步的，所述拼接部件的厚度與待噴涂部件的厚度相同。
[0014]進(jìn)一步的，還包括用于將承載待噴涂部件的所述承載臺(tái)運(yùn)送到所述液體噴頭裝置的下方的傳送裝置。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果是:將待噴涂部件邊緣液體不均勻的現(xiàn)象轉(zhuǎn)移到拼接部件上，實(shí)現(xiàn)部件利用的最大化，提高液晶產(chǎn)品的整體性能?！緦?zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1表示待噴涂部件放置在承載臺(tái)上的狀態(tài)示意圖；
[0017]圖2表示支架向上翻著至于承載臺(tái)平行的狀態(tài)示意圖；
[0018]圖3表示拼接部件與待噴涂部件緊密接觸的狀態(tài)示意圖；
[0019]圖4表不待噴涂部件進(jìn)行液體噴涂的狀態(tài)不意圖；
[0020]圖5表示液體噴涂結(jié)束、拼接部件遠(yuǎn)離部件狀態(tài)示意圖；
[0021]圖6表示支架向下翻折至垂直承載臺(tái)；
[0022]圖7表示液體噴涂裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)和原理進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但僅僅是解釋本實(shí)用新型，并非以此限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0024]為了解決TFT制作工藝中部件邊緣液體不均勻的現(xiàn)象，本實(shí)施例中提供一種液體噴涂裝置，包括:
[0025]用于承載待噴涂部件的承載臺(tái)；
[0026]液體噴頭裝置；
[0027]用于將承載待噴涂部件的所述承載臺(tái)運(yùn)送到所述液體噴頭裝置的下方的傳送裝置；
[0028]還包括:
[0029]用于在噴涂過(guò)程中與待噴涂部件的邊緣相連接、以擴(kuò)大噴涂面積的拼接部件。
[0030]將待噴涂部件邊緣液體不均勻的現(xiàn)象轉(zhuǎn)移到拼接部件上，實(shí)現(xiàn)部件利用的最大化，提聞液晶廣品的整體性能。
[0031]本實(shí)施例中，所述承載臺(tái)相對(duì)的兩側(cè)分別設(shè)有支架，所述拼接部件可移動(dòng)的設(shè)置在所述支架上。
[0032]在承載臺(tái)上放直待嗔涂部件后，所述拼接部件可向罪近待嗔涂部件的方向移動(dòng)，以使得所述拼接部件與待噴涂部件的邊緣相連接；噴涂結(jié)束后，所述拼接部件可遠(yuǎn)離待噴涂部件，方便經(jīng)過(guò)噴涂的待噴涂部件取下、以及下一個(gè)待噴涂部件的放置。
[0033]本實(shí)施例中，所述支架上設(shè)有導(dǎo)軌，以及用于控制所述拼接部件在所述導(dǎo)軌上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件，所述拼接部件設(shè)置在所述導(dǎo)軌上。
[0034]液體噴涂裝置還包括用于控制所述拼接部件在所述導(dǎo)軌上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件。驅(qū)動(dòng)部件的設(shè)置使得拼接部件可自動(dòng)移動(dòng)，節(jié)省人力資源。
[0035]液體噴涂裝置還包括用于感應(yīng)所述拼接部件與待噴涂部件之間的距離、并向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送信號(hào)的感應(yīng)部件，所述感應(yīng)部件設(shè)置在所述承載臺(tái)上、并與所述驅(qū)動(dòng)部件連接。
[0036]在所述感應(yīng)部件監(jiān)測(cè)所述拼接部件與待噴涂部件之間的距離，在感應(yīng)到所述拼接部件與待噴涂部件之間的距離為O時(shí)，向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送信號(hào)，所述驅(qū)動(dòng)部件根據(jù)所述感應(yīng)部件發(fā)送的信號(hào)控制所述拼接部件停止移動(dòng)，防止所述拼接部件移動(dòng)距離過(guò)大而損壞待噴涂部件。[0037]為了防止所述拼接部件與待噴涂部件之間產(chǎn)生縫隙，本實(shí)施例中所述拼接部件與待噴涂部件緊密接觸，所述感應(yīng)部件在感應(yīng)到所述拼接部件與待噴涂部件之間的距離為O時(shí)向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送信號(hào)，所述驅(qū)動(dòng)部件根據(jù)感應(yīng)部件發(fā)送的信號(hào)控制所述拼接部件繼續(xù)向待噴涂部件移動(dòng)一預(yù)設(shè)距離，使得所述拼接部件與待噴涂部件緊密接觸，該預(yù)設(shè)距離的設(shè)置在保證所述拼接部件與待噴涂部件緊密接觸的同時(shí)、避免所述拼接部件對(duì)待噴涂部件的損傷。
[0038]本實(shí)施例中，所述支架與所述承載臺(tái)樞接，所述支架具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，所述第一狀態(tài)為噴涂過(guò)程中所述支架與所述承載臺(tái)平行，所述第二狀態(tài)為噴涂前和噴涂后所述支架向下翻折與所述承載臺(tái)垂直。
[0039]設(shè)置在所述支架上、并在噴涂時(shí)與待噴涂部件緊密接觸的拼接部件，在所述支架位于所述第一狀態(tài)時(shí)，所述拼接部件的噴涂表面與待噴涂部件的噴涂表面位于同一水平面。
[0040]本實(shí)施例中，所述拼接部件為矩形結(jié)構(gòu)，該矩形結(jié)構(gòu)具有與待噴涂部件的邊緣相連接的第一側(cè)，所述第一側(cè)的長(zhǎng)度不小于所述待噴涂部件邊緣的長(zhǎng)度。
[0041]所述拼接部件的待噴涂的表面與所述待噴涂部件的待噴涂的表面的光滑度一致。
[0042]本實(shí)施例中，所述拼接部件的厚度與待噴涂部件的厚度相同。所述支架的厚度與所述承載臺(tái)的厚度相同，避免支架對(duì)待噴涂部件的損傷。
[0043]本實(shí)施例中，所述支架與承載臺(tái)的連接方式可以有多種，只要可以實(shí)現(xiàn)所述支架具有所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)即可，例如:所述支架與所述承載臺(tái)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸連接，所述承載臺(tái)的底部設(shè)有可旋轉(zhuǎn)的支撐桿，當(dāng)支架向上翻折位于第一狀態(tài)時(shí)，所述支撐桿的一端旋轉(zhuǎn)至所述支架的下方用以支撐所述支架；旋轉(zhuǎn)所述支撐桿至所述支撐桿的整體位于所述承載臺(tái)的下方(即支撐桿不再支撐所述支架)，所述支架向下翻折位于所述第二狀態(tài)。
[0044]本實(shí)施例中，拼接部件需要與待噴涂部件緊密接觸，以免拼接部件與待噴涂部件之間的縫隙造成待噴涂部件邊緣仍然存在液體不均勻的現(xiàn)象。待噴涂部件放置在承載臺(tái)上后，拼接部件移動(dòng)至待噴涂部件、與待噴涂部件緊密接觸，方便待噴涂部件的放置，且避免由于待噴涂部件的尺寸不同而造成待噴涂部件不能放置、或者待噴涂部件與拼接部件之間有縫隙等現(xiàn)象，而使得待噴涂部件的邊緣經(jīng)過(guò)噴涂后仍然存在不均勻的現(xiàn)象。
[0045]以下以顯影為例具體介紹本實(shí)施例液體噴涂裝置的使用過(guò)程。顯影的對(duì)象一般是Array (陣列)基板，以下將以Array基板代替待顯影部件(即待噴涂部件)進(jìn)行描述。
[0046]首先將Array基板I放置在承載臺(tái)2上，如圖1所示；
[0047]將支架3向上翻折至與承載臺(tái)2平行，即支架3位于第一狀態(tài)，如圖2所示；
[0048]在驅(qū)動(dòng)部件(圖中未示)的控制下，拼接部件4向靠近Array基板I的方向移動(dòng)，當(dāng)感應(yīng)部件(圖中未示)感應(yīng)到拼接部件4與Array基板I之間的距離為O時(shí)，驅(qū)動(dòng)部件控制拼接部件4繼續(xù)向靠近Array基板I的方向移動(dòng)一預(yù)設(shè)距離，使得拼接部件4與Array基板I之間緊密接觸，且拼接部件4不會(huì)對(duì)Array基板I施力過(guò)大以致?lián)p壞Array基板I,如圖3所示；
[0049]顯影液噴頭裝置(即液體噴頭裝置)5，噴涂液體，(噴涂液體的過(guò)程，是由承載臺(tái)帶動(dòng)陣列基板向靠近顯影液噴頭的方向持續(xù)移動(dòng)、直至陣列基板全部移出顯影液噴頭裝置的噴涂范圍)如圖4所示；[0050]顯影結(jié)束，拼接部件4在驅(qū)動(dòng)部件的控制下遠(yuǎn)離Array基板1，如圖5所示，圖中箭頭方向表示相對(duì)應(yīng)的拼接部件4的運(yùn)動(dòng)方向；
[0051]支架3向下翻折至支架3與承載臺(tái)2垂直(即支架3位于第二狀態(tài))，如圖6所示，即可將Array基板I取下。
[0052]圖7表示液體噴涂裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖，液體不均勻的現(xiàn)象，即液坑11轉(zhuǎn)移到拼接部件4上。
[0053]本實(shí)用新型液體噴涂裝置是利用拼接部件，把邊緣不均勻的地方轉(zhuǎn)移到拼接部件上，適用于所有制造過(guò)程中邊緣液體分布不均勻的設(shè)備。
[0054]以上所述為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種液體噴涂裝置，包括:用于承載待噴涂部件的承載臺(tái)，以及液體噴頭裝置；其特征在于，還包括: 用于在噴涂過(guò)程中與待噴涂部件的邊緣相連接、以擴(kuò)大噴涂面積的拼接部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴涂裝置，其特征在于，所述承載臺(tái)相對(duì)的兩側(cè)分別設(shè)有支架，所述拼接部件可移動(dòng)的設(shè)置在所述支架上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體噴涂裝置，其特征在于，所述支架上設(shè)有導(dǎo)軌，以及用于控制所述拼接部件在所述導(dǎo)軌上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件，所述拼接部件設(shè)置在所述導(dǎo)軌上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴涂裝置，其特征在于，還包括用于感應(yīng)所述拼接部件與待噴涂部件之間的距離、并向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送信號(hào)的感應(yīng)部件，所述感應(yīng)部件設(shè)置在所述承載臺(tái)上、并與所述驅(qū)動(dòng)部件連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體噴涂裝置，其特征在于，所述支架與所述承載臺(tái)樞接，所述支架具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，所述第一狀態(tài)為噴涂過(guò)程中所述支架與所述承載臺(tái)平行，所述第二狀態(tài)為噴涂前和噴涂后所述支架向下翻折與所述承載臺(tái)垂直。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體噴涂裝置，其特征在于，在所述支架位于所述第一狀態(tài)時(shí)，所述拼接部件的噴涂表面與待噴涂部件的噴涂表面位于同一水平面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴涂裝置，其特征在于，所述拼接部件為矩形結(jié)構(gòu)，該矩形結(jié)構(gòu)具有與待噴涂部件的邊緣相連接的第一側(cè)，所述第一側(cè)的長(zhǎng)度不小于待噴涂部件的邊緣的長(zhǎng)度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴涂裝置，其特征在于，所述拼接部件的厚度與待噴涂部件的厚度相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴涂裝置，其特征在于，還包括用于將承載待噴涂部件的所述承載臺(tái)運(yùn)送到所述液體噴頭裝置的下方的傳送裝置。
【文檔編號(hào)】B05C13/02GK203470243SQ201320604220
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月27日
【發(fā)明者】張小祥, 郭總杰, 劉正, 張治超, 趙亮 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司