專利名稱：涂膠裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在平板的制造工藝中，在基板上涂敷所希望形狀的膠的涂膠裝置。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有技術(shù)，如在特開2002-346452號公報(bào)中所示的那樣，把玻璃基板放置在固定臺(tái)上，且配置成使得對于玻璃基板的主面，與安裝在能夠沿著X軸方向移動(dòng)的門型框上的、能夠沿著YZ軸方向移動(dòng)的涂敷頭的噴嘴噴射口相對，通過從該噴射口向該基板上噴射充填在膠收容筒中的膠的同時(shí)，使該基板與該噴嘴的相對位置關(guān)系發(fā)生變化，從而在該基板上涂敷所希望形狀的膠圖形。在該特開2002-346452號公報(bào)中，具有玻璃基板尺寸向大型化發(fā)展，涂敷頭的涂敷范圍也在擴(kuò)大，且設(shè)置有多個(gè)涂敷頭的結(jié)構(gòu)。由此，從固定外部控制盤連接到門型框的動(dòng)力線、信號線等電線束、空氣壓式管路增加，跟隨門型框的電纜根數(shù)也增加。
另外，如在特開2001-211501號公報(bào)中所示的那樣，公開了為了令電力布線非接觸地使傳送車移動(dòng)，而把饋電區(qū)間分割成多個(gè)，在把其連接部分搭載在傳送車上的受電線圈移送時(shí)，將鄰接的饋電區(qū)間的饋電相位以相同相位進(jìn)行饋電。
在如上述現(xiàn)有的特開2002-346452號公報(bào)所述那樣，伴隨著基板的大型化，由于從固定外部控制盤連接到門型框的動(dòng)力線、信號線等電線束、空氣壓式管路增加，跟隨門型框的電纜根數(shù)也增加，因此由于電纜的磨損或者電纜之間的摩擦引起的灰塵，因而出現(xiàn)不適合在清潔環(huán)境中使用的狀況。
另外，即使如特開2001-211501號公報(bào)那樣使用非接觸饋電方式，然而關(guān)于在可動(dòng)體上設(shè)置在該可動(dòng)體上移動(dòng)的其它可動(dòng)體，并對該其它可動(dòng)體供電，以及從固定部分向可動(dòng)體以及涂敷頭那樣的多個(gè)可動(dòng)體上傳送控制信號的內(nèi)容卻沒有任何記載。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種具有通過增加涂敷頭個(gè)數(shù)，減少連接外部電源或者外部控制單元和作為可動(dòng)體的門型框的電源以及信號電纜的根數(shù)，減少由電纜的磨損或者電纜之間的摩擦產(chǎn)生的灰塵，而且能夠?qū)Χ鄠€(gè)涂敷頭的驅(qū)動(dòng)單元應(yīng)用光通信技術(shù)，無錯(cuò)誤地收發(fā)控制信號的結(jié)構(gòu)的涂膠機(jī)。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明在具備在一個(gè)方向上在臺(tái)架上往復(fù)移動(dòng)的門型框、以及安裝在門型框上且在門型框上移動(dòng)的多個(gè)涂敷頭的裝置中，由于在涂敷頭內(nèi)部設(shè)置有被設(shè)置在裝置外部的涂敷頭驅(qū)動(dòng)用電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，使向電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的饋電采用基于電磁耦合的非接觸饋電方式，并經(jīng)由光通信單元傳輸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的輸入輸出信號和各種傳感器信號或者來自位置修正圖像診斷用照相機(jī)的圖像信號，因此能夠在地面一側(cè)的光通信單元與設(shè)置在門型框上的光通信單元、以及地面一側(cè)的光通信單元與設(shè)置在涂敷頭上的光通信單元之間，設(shè)置半反射鏡進(jìn)行通信。
依據(jù)本發(fā)明，能夠減少從固定部分到可動(dòng)部分、以及從可動(dòng)部分到可動(dòng)部分的電力布線和信號布線，在基板主面上涂覆描繪膠圖形時(shí)，由于能夠減少跟隨門型框移動(dòng)的電纜根數(shù)，因此能夠提供電纜之間的摩擦或者電纜磨損少的低灰塵的涂膠機(jī)。另外，通過在信號的交換中利用半反射鏡，可不需要設(shè)置多個(gè)光通信單元，在減輕門型框的重量的同時(shí)，由于能夠從固定部分一側(cè)直接向涂敷頭傳送控制信號，因此能夠降低信號錯(cuò)誤，進(jìn)行高精度的涂敷。


圖1是表示本發(fā)明的涂膠機(jī)的一個(gè)實(shí)施方式的側(cè)視圖。
圖2a和圖2b是表示圖1所示的實(shí)施方式中的涂敷頭的構(gòu)造的側(cè)視圖和涂敷頭內(nèi)的系統(tǒng)圖。
圖3是一次側(cè)受電線圈部分的詳細(xì)側(cè)視圖。
圖4是表示圖1所示的實(shí)施方式中的整體動(dòng)作的流程圖。
圖5是光通信的結(jié)構(gòu)的放大圖。
圖6a和圖6b是一次側(cè)受電線圈部分的其它實(shí)施例的圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是節(jié)省向驅(qū)動(dòng)涂敷頭部分的電機(jī)進(jìn)行動(dòng)力供給或者為了傳送傳感器信號而連接到門型框上的饋電線或者信號布線的技術(shù)。即，把電機(jī)驅(qū)動(dòng)器設(shè)置在架臺(tái)(ガントリ)上，使向該驅(qū)動(dòng)器的饋電方式設(shè)為由在門型移動(dòng)方向上敷設(shè)的饋電線和安裝在門型框上的受電拾取器(受電芯子)構(gòu)成的非接觸饋電方式，同樣在各涂敷頭中也設(shè)置饋電拾取頭，使得從布線在門型框上的饋電線受電。進(jìn)而，使從主控制單元向驅(qū)動(dòng)器的信號線為光無線通信方式。由此，減少跟隨門型框的可動(dòng)電纜，從而實(shí)現(xiàn)了低灰塵和降低布線作業(yè)工時(shí)。以下，用實(shí)施例詳細(xì)地說明其結(jié)構(gòu)和動(dòng)作。
以下，使用

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。
圖1是應(yīng)用了本發(fā)明的涂膠機(jī)的斜視圖。把與門型框的延伸方向相垂直的方向作為X軸，把門型框的延伸方向作為Y軸，把上下方向作為Z軸。門型框基本上沿著X軸方向直線地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，涂敷頭沿著Y軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在臺(tái)架1上，設(shè)置有兩個(gè)門型框2A、2B。本圖中，由于在右側(cè)的門型框2A和左側(cè)的門型框2B中，相同數(shù)字的部分表示相同的部件，因此有時(shí)省略腳注進(jìn)行說明。
通過驅(qū)動(dòng)未圖示的X軸線性電機(jī)，使兩個(gè)門型框2A、2B能夠分別沿著X軸方向移動(dòng)。在門型框2A、2B的上部設(shè)置有覆蓋門型框的罩3A、3B。在門型框2A、2B的一側(cè)的底腳部分上設(shè)置有具備2個(gè)貫通孔的一次側(cè)受電芯子6A、6B。以在設(shè)置在該芯子上的貫通孔內(nèi)不接觸芯子的方式，沿著臺(tái)架1朝向X軸方向敷設(shè)一次側(cè)饋電線5。該一次側(cè)饋電線5為了流過高頻電流而使用帶有被覆線的線。另外，一次側(cè)饋電線5與設(shè)置在地面一側(cè)的高頻電源4連接，由該電源提供高頻電壓。另外，在一次側(cè)受電芯子6A、6B中，分別設(shè)置有兼做二次側(cè)繞組和向門型框內(nèi)饋電的饋電線的二次側(cè)饋電線7A、7B。二次側(cè)饋電線7具有纏繞在一次側(cè)受電芯子6A上，在門型框2A的罩3A上沿著Y軸方向敷設(shè)，并且還向安裝在門型框2A上的設(shè)備饋電的結(jié)構(gòu)。同樣，二次側(cè)饋電線7B具有纏繞在一次側(cè)受電芯子6B上，在門型框2B的罩3B上沿著Y軸方向直線形地敷設(shè)，并且還向安裝在門型框2B中的設(shè)備饋電的結(jié)構(gòu)。
在門型框2A上支撐4個(gè)涂敷頭8A～8D，門型框2B上也同樣支撐4個(gè)涂敷頭8E～8H。各涂敷頭將在后面詳細(xì)敘述，通過驅(qū)動(dòng)Y軸線性電機(jī)而沿著Y軸方向移動(dòng)。另外，設(shè)置在涂敷頭上的涂敷噴嘴等的包含膠收容筒在內(nèi)的一部分通過Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)在Z軸方向移動(dòng)。
另外，在各涂敷頭8A～8H中分別設(shè)置有二次側(cè)受電芯子9A～9H，以通過纏繞在該二次側(cè)受電芯子9A～9H上的饋電線受電的電壓來驅(qū)動(dòng)Z軸電機(jī)或者間隙傳感器等。另外，在二次側(cè)受電芯子9A～9H中，沿著Y軸方向以貫通各芯子的方式敷設(shè)前面敘述過的二次側(cè)饋電線7A、7B(二次側(cè)受電芯子9A～9D是對應(yīng)二次側(cè)饋電線7A，二次側(cè)受電芯子9E～9H是對應(yīng)二次側(cè)饋電線7B)。具有從二次側(cè)饋電線7A、7B提供的高頻電壓由分別設(shè)置在各二次側(cè)受電芯子9A～9H上的所纏繞的饋電線來受電的結(jié)構(gòu)。
主控制單元10進(jìn)行各門型框2A、2B和各涂敷頭8A～8H的位置控制，或者各種傳感器信號和圖像信號的處理，以及電源的ON、OFF控制。另外，雖然沒有圖示，但在主控制單元10的內(nèi)部具備微機(jī)和RAM。
在門型框2A、2B的另一側(cè)底腳部分中分別設(shè)置為了在門型框與臺(tái)架1之間發(fā)送和接收控制信號等的在臺(tái)架一側(cè)(固定一側(cè))的光通信單元11A～11J和在門型框一側(cè)的光通信單元12A、12B(在本圖中設(shè)置在門型框2B中的12B沒有圖示)、以及針對每個(gè)涂敷頭的光通信單元14A～14H(在本圖中門型框2B一側(cè)的光通信單元14E～14H沒有圖示)。
圖5表示與光通信單元的一個(gè)涂敷頭8A相對應(yīng)的放大圖。固定一側(cè)的光通信單元11I、11J和可動(dòng)一側(cè)的各門型框上的光通信單元12A、12B具有沿著X軸方向收發(fā)光的結(jié)構(gòu)(具有使用半反射鏡13A、13B的透射光的結(jié)構(gòu))。另外，各涂敷頭的光通信單元114A～14H為了沿Y軸方向收發(fā)光，采取使用在與地面一側(cè)的光通信單元11A～11H之間設(shè)置的半反射鏡13A、13B的反射光的結(jié)構(gòu)。即，在臺(tái)架一側(cè)設(shè)置的光通信單元11I、11J和門型框一側(cè)設(shè)置的光通信單元12A、12B之間，以及在臺(tái)架一側(cè)設(shè)置的光通信單元11A～11H與各涂敷頭一側(cè)的光通信單元14A～14H之間進(jìn)行通信。
另外，如圖1所示，該通信單元以臺(tái)架一側(cè)的光通信單元11E～11H、11J位于下部，以光通信單元11A～11D、11I位于上部的方式進(jìn)行上下進(jìn)行配置。即，通過配置成門型框2B一側(cè)的光通信單元位于下側(cè)，門型框2A一側(cè)光通信單元位于上側(cè)，使得即使沿著相同方向配置也不會(huì)遮擋光。另外，對每組改變調(diào)制頻率，以使得不會(huì)發(fā)生相互干擾。
另外，圖面中示出4組通信機(jī)在相同方向之間進(jìn)行通信，但如果把臺(tái)架一側(cè)的光通信單元11A～11D分割成設(shè)置在臺(tái)架前面一側(cè)的部分和設(shè)置在臺(tái)架背面一側(cè)的部分，并設(shè)置成涂敷頭一側(cè)的光通信單元也與前面一側(cè)、背部一側(cè)進(jìn)行通信，則能夠在同一條直線上設(shè)置兩組光通信單元，從而能夠節(jié)省安裝空間。
另外，如上所述，在臺(tái)架一側(cè)設(shè)置的光通信單元11A～11J與門型框一側(cè)設(shè)置的光通信單元12A、12B以及各涂敷頭一側(cè)的通信單元14A～14H之間設(shè)置了半反射鏡13A、13B。通過該半反射鏡，在來自固定一側(cè)的光通信單元11A～11J的光信號中，光通信單元11I、11J使直進(jìn)光(透射光)入射到光通信單元12A、12B的感光元件上來感光，并使固定一側(cè)的光通信單元11A～11H的出射光通過半反射鏡產(chǎn)生的反射光入射到在每一個(gè)涂敷頭上設(shè)置的光通信單元14A～14H中。或者反之，具有來自設(shè)置在門型框的光通信單元12A、12B的出射光沿著半反射鏡13A、13B直進(jìn)的光入射到固定一側(cè)的光通信單元11I、11J，來自設(shè)置在各涂敷頭上的光通信單元14A～14H的出射光由半反射鏡13A、13B反射，發(fā)送給固定一側(cè)的通信單元11A～11H的結(jié)構(gòu)。
另外，為了可靠地避免光通信單元11A～11D、11I與11E～11H、11J之間、以及光通信單元12A、14A～14D與12B、14E～14H之間的干擾，可以使光通信單元11A～11D、11I位于當(dāng)前的位置，把光通信單元11E～11H、11J設(shè)置在臺(tái)架相反一側(cè)的端部，而設(shè)置在門型框2B上的光通信單元12B與門型框2A的光通信單元12A相反向配置，而且，經(jīng)由半反射鏡13A、13B，向在各個(gè)門型框2A、2B上設(shè)置的涂敷頭的光通信單元14A～14H發(fā)送。
即，在本實(shí)施例中，把臺(tái)架與門型框、門型框與涂敷頭之間的饋電分為兩級，采用非接觸饋電方式，并且信號的交換也采用了在地面一側(cè)的光通信單元和經(jīng)由半反射鏡配置在各個(gè)部位上的光通信單元之間直接傳輸?shù)姆绞?。即，在固定一?cè)的光通信單元11A～11J、與門型框一側(cè)的光通信單元12A、12B和各涂敷頭一側(cè)的光通信單元14A～14H之間設(shè)置了半反射鏡13A、13B。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，不需要在門型框一側(cè)把光通信單元分別設(shè)置成固定一側(cè)用和頭一側(cè)用的2個(gè)光通信單元，從而可以謀求裝置的小型化。
基板16上具有通過設(shè)置在臺(tái)架1上的移動(dòng)臺(tái)(未圖示)上所設(shè)置的基板保持機(jī)構(gòu)15來吸附保持的結(jié)構(gòu)。該基板保持機(jī)構(gòu)15具有通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)未圖示的θ軸伺服電機(jī)，能夠修正在X、Y平面中的傾斜的構(gòu)造。另外，為了把基板16搬入到基板保持機(jī)構(gòu)15上，設(shè)置了未圖示的移動(dòng)臺(tái)，其搬入方向既可以是X軸方向，也可以是Y軸方向。
圖2表示圖1中的涂敷頭的部分的圖。圖2(a)是從Y軸方向觀看的側(cè)面圖，圖2(b)是涂敷頭內(nèi)部系統(tǒng)圖。為了避免繁雜，在(a)中沒有圖示設(shè)備之間的電纜。圖2作為代表性的例子，示出門型框2A的一個(gè)涂敷頭8A，而關(guān)于其它的涂敷頭也是相同的結(jié)構(gòu)。
在圖2(a)中，在門型框2A的上面設(shè)置磁鐵2a1，在門型框2A的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置有線性標(biāo)尺(ニリアスケ一ル)2a2。另外，在門型框2A上設(shè)置有Y軸限制傳感器2a3。進(jìn)而，在門型框2A中，在另一個(gè)側(cè)面的一個(gè)位置、上面的兩個(gè)位置上，以夾住磁鐵2a1的方式設(shè)置了線性導(dǎo)軌2a4。
在涂敷頭8A中，以夾住罩3A的方式，設(shè)置了下面基臺(tái)8a8和上面基臺(tái)8a9，上面基臺(tái)(日文基臺(tái))和下面基臺(tái)用噴嘴支撐構(gòu)件8ab連接。在上面基臺(tái)8a9上設(shè)置有二次側(cè)受電芯子9A。以使貫通該二次側(cè)受電芯子9A的方式，設(shè)置二次側(cè)饋電線7A，在二次側(cè)受電芯子9A上纏繞饋電線9a1。該饋電線9a1被連接到受電單元8a1上。
在下面基臺(tái)8a8的門型框面對的面上設(shè)置能夠沿著線性導(dǎo)軌2a4移動(dòng)的導(dǎo)軌。另外，設(shè)置有與在下面基臺(tái)8a8的門型框上面所設(shè)置的磁鐵2a1相對的Y軸子電線圈8a4。另外，在下面底盤8a8的上部，設(shè)置有把從二次側(cè)受電芯子9A經(jīng)由涂敷頭部分的饋電線9a1提供的高頻電力進(jìn)行整流、并進(jìn)行電壓調(diào)整的受電單元8a1。進(jìn)而，在下面底盤8a8的上面一側(cè)設(shè)置有控制向Y軸子電線圈8a4流動(dòng)的電壓，控制在Y軸方向移動(dòng)的Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2、控制Z軸電機(jī)8a5的Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a3。進(jìn)而，在下面底盤8a8的下面一側(cè)，在與門型框一側(cè)設(shè)置的線性標(biāo)尺2a2相對的位置上，設(shè)置了Y軸位置檢測器8a6。另外，頭一側(cè)的光通信單元14A設(shè)置在下面底盤8a8上能夠接收固定一側(cè)的光通信單元11A的信號光的位置處。
在噴嘴支撐構(gòu)件8ab上設(shè)置有Z軸導(dǎo)軌8a10，在該Z軸導(dǎo)軌8a10上設(shè)置有Z軸臺(tái)8a11，驅(qū)動(dòng)Z軸電機(jī)8a5來移動(dòng)Z軸臺(tái)8a11。該Z軸臺(tái)8a11的移動(dòng)量由Z軸位置檢測器8a7檢測，其檢測結(jié)果被用于在Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a3的控制上。在該Z軸臺(tái)8a11上設(shè)置了具備膠噴射噴嘴8a13的膠收容筒8a12、測定基板與噴嘴的間隔的測距儀8a14、用于檢測基板位置的位置識(shí)別照相機(jī)8a15。
在圖2(b)中，纏繞在二次側(cè)受電芯子9A上的二次側(cè)繞組兼涂敷頭部分的饋電線9a1用于通過二次側(cè)受電芯子9A從二次側(cè)饋電線7A接受高頻電力，并送電給受電單元8a1。從受電單元8a1連接有經(jīng)由Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器動(dòng)力線9a2向Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2送電的線、以及向Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a3送電的Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器動(dòng)力線9a3。從Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2設(shè)置有向Y軸子電線圈8a4連接的Y軸電機(jī)動(dòng)力線9a4、用于接收來自Y軸位置檢測器8a6的信號的Y軸線性編碼器信號線14a5。從Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a3連接有向Z軸電機(jī)8a5供電的Z軸電機(jī)動(dòng)力線9a5、用于接收來自在Z軸電機(jī)8a5上設(shè)置的編碼器的信號的Z軸編碼器信號線14a6。另外，從受電單元8a1連接有向測距儀8a14或者位置識(shí)別照相機(jī)8a15供電的傳感器驅(qū)動(dòng)用動(dòng)力線9a6。另外，從光通信單元14A連接有去往Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2、Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a3以及未說明的各檢測傳感器的Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器信號線14a1、Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器信號線14a2、Y軸位置傳感器信號線14a3、Z軸位置傳感器信號線14a4、測距儀用信號線14a7、位置識(shí)別照相機(jī)用信號線14a8等。通過這樣布線，降低連接線的可動(dòng)部分，防止由布線的摩擦等引起灰塵。另外，信號的交換也通過分別對每一個(gè)相對應(yīng)的設(shè)備中改變調(diào)制頻率，從而能夠無干擾地可靠地傳輸信息。
圖3是一側(cè)的一次側(cè)受電芯子6A部分的詳細(xì)圖。另一側(cè)的一次側(cè)受電芯子6B也是大致相同的結(jié)構(gòu)。一次側(cè)受電芯子6A為在長方體上開設(shè)了兩個(gè)窗口(貫通口)的形狀，沿著其窗口部分貫通一次側(cè)饋電線5。一次側(cè)饋電線5為往復(fù)電線，具有從高頻電源4通過設(shè)置在臺(tái)架端部的第1饋電線支撐構(gòu)件19a，并通過一次側(cè)受電芯子6A的一側(cè)的窗口，然后在臺(tái)架另一端的第2饋電線支撐構(gòu)件19b折回，貫通一次側(cè)受電芯子6A的另一側(cè)窗口，然后通過第1饋電線支撐構(gòu)件19a，返回到高頻電源這樣的構(gòu)造。成為二次側(cè)饋電線7A的二次側(cè)繞組纏繞在一次側(cè)受電芯子6A的窗口上部。如圖所示，通過以沿著一側(cè)的窗口右旋纏繞，沿著另一側(cè)的窗口左旋纏繞的方式，纏繞串聯(lián)地連接，能夠把在2個(gè)窗口的繞組中所感應(yīng)的電壓無抵消地傳遞到二次側(cè)饋電線上。另外，如圖3那樣，通過集中在窗口上部來繞線，能夠廣泛地使用窗口部分的空間，還能夠降低一次側(cè)饋電線5與一次側(cè)受電芯子6A相接觸的危險(xiǎn)性。二次側(cè)受電芯子9A、9B也做成與一次側(cè)受電芯子6A、6B相同的形狀，圖3中，如果把5替換成7A，把7A替換成9a1，則成為表示二次側(cè)受電芯子9A的圖。另外，圖中的箭頭表示電流的流動(dòng)方向。
下面說明涂膠機(jī)的動(dòng)作。圖4中表示本實(shí)施例中的裝置的動(dòng)作流程。圖4中，首先接入電源(步驟100)。接著，執(zhí)行涂敷機(jī)的初始設(shè)定(步驟200)。在該初始設(shè)定過程中，在圖1上，通過來自各電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的指令來驅(qū)動(dòng)各軸移動(dòng)用的電機(jī)以及Z軸電機(jī)，使基板保持機(jī)構(gòu)15沿著θ方向移動(dòng)，定位到規(guī)定的基準(zhǔn)位置處。另外，把噴嘴8a13(圖2)設(shè)定在規(guī)定的原點(diǎn)位置，使得其膠噴射口位于開始涂膠的位置(即，涂膠開始點(diǎn))。進(jìn)而，設(shè)定膠圖形數(shù)據(jù)或者基板位置數(shù)據(jù)、膠噴射結(jié)束位置數(shù)據(jù)等。
這種數(shù)據(jù)輸入從未圖示的鍵盤輸入到主控制單元10中(圖1)，從主控制單元向各電機(jī)驅(qū)動(dòng)器等進(jìn)行指示，這些數(shù)據(jù)被保存在內(nèi)置于主控制單元10內(nèi)的微機(jī)中的RAM中。
如果該初始設(shè)定工序(步驟200)結(jié)束，則接著將基板16搭載在吸附保持的基板保持機(jī)構(gòu)15(圖1)中使其保持(步驟300)。接著，進(jìn)行基板預(yù)備定位處理(步驟400)。在該處理中，用圖像識(shí)別照相機(jī)8a15拍攝搭載在基板保持機(jī)構(gòu)15上的基板中所設(shè)置的定位用標(biāo)記，通過圖像處理求出定位用標(biāo)記的重心位置，然后檢測出基板16在θ方向的傾斜，根據(jù)該傾斜，驅(qū)動(dòng)未圖示的θ軸伺服電機(jī)，修正在該θ方向的傾斜。通過以上動(dòng)作，結(jié)束基板預(yù)備定位處理(步驟400)。
接著，進(jìn)行膠圖形描繪處理(步驟500)。在該處理中，使噴嘴8a13的噴射口位移到基板的涂敷開始位置，進(jìn)行噴嘴位置的比較和調(diào)整移動(dòng)。接著，使Z軸電機(jī)8a5以及Z軸臺(tái)8a11動(dòng)作，把噴嘴8a13的高度設(shè)定為膠圖形描繪高度。根據(jù)噴嘴的初始移動(dòng)距離數(shù)據(jù)，使噴嘴8a13下降初始移動(dòng)距離大小。在后續(xù)的動(dòng)作中，由測距儀8a14測定基板表面高度，確認(rèn)噴嘴8a13的頂端是否設(shè)定成描繪膠圖形的高度。然后，在沒能設(shè)定成描繪高度的情況下，使噴嘴8a13下降微小距離，反復(fù)進(jìn)行上述的基板16表面計(jì)測和噴嘴8a13下降微小距離的動(dòng)作，將噴嘴8a13頂端的高度設(shè)定成涂敷描繪膠圖形的位置。
當(dāng)以上的處理結(jié)束，則接著根據(jù)保存在主控制單元10的微機(jī)的RAM中的膠圖形數(shù)據(jù)，驅(qū)動(dòng)X、Y軸線性電機(jī)。由此，噴嘴8a13的膠噴射口在與基板7相對的狀態(tài)下，根據(jù)該膠圖形數(shù)據(jù)，在X、Y方向上移動(dòng)。同時(shí)，在膠收容筒8a12上施加設(shè)定的氣壓，從噴嘴8a13的膠噴射口開始噴射膠。由此，開始向基板16涂敷膠圖形。
然后，如在前面所述那樣，主控制單元10的微機(jī)輸入來自測距儀8a14的、噴嘴8a13的膠噴射口與基板16表面之間的間隔的實(shí)測數(shù)據(jù)，并測定基板16表面的波紋(日文ぅねり)，根據(jù)該測定值驅(qū)動(dòng)Z軸電機(jī)8a5，把從基板7的表面起至噴嘴8a13的設(shè)定高度維持為恒定。由此，能夠按照所希望的涂敷量涂敷膠圖形。
如以上那樣，進(jìn)行膠圖形描繪，根據(jù)噴嘴8a13的膠噴射口是否是處于由基板16上的上述膠圖形數(shù)據(jù)決定的描繪圖形的末端的判斷，如果不是終端則再次返回到基板表面波紋的測定處理。然后，反復(fù)進(jìn)行上述噴涂描繪，持續(xù)到膠圖形形成到達(dá)描繪圖形的末端為止。如果到達(dá)描繪圖形的末端，則驅(qū)動(dòng)Z軸電機(jī)8a5使噴嘴8a13上升，膠圖形描繪工序結(jié)束(步驟500)。
接著，進(jìn)入到基板排出處置(步驟600)，解除基板16的保持，排出到裝置以外。然后判定是否停止以上的全部工序(步驟700)，在多片基板上以相同的圖形形成膠膜的情況下，從基板搭載處理(步驟300)開始反復(fù)，如果對于所有的基板，這些一系列的處理都結(jié)束了，則作業(yè)將全部結(jié)束(步驟800)。
然后，說明使用了非接觸饋電的動(dòng)力系統(tǒng)的動(dòng)作。在圖1、圖2中，在一次側(cè)饋電線5中流動(dòng)的高頻電流在一次側(cè)饋電線5的周圍產(chǎn)生高頻磁場。該高頻磁場集中在高磁導(dǎo)率的一次側(cè)受電芯子6A中，在芯子內(nèi)產(chǎn)生磁通。該磁通與纏繞在一次側(cè)受電芯子6A上的二次側(cè)饋電線7A交鏈。通過電磁感應(yīng)，在二次側(cè)饋電線7A中感應(yīng)出高頻電壓，從而在二次側(cè)饋電線7A中產(chǎn)生高頻電流。在二次側(cè)受電芯子9A中也同樣在受電芯子內(nèi)產(chǎn)生高頻的磁通，通過電磁感應(yīng)，在二次側(cè)受電芯子9A上纏繞的涂敷頭部分的饋電線9a1中感應(yīng)出高頻電壓，在饋電線9a1中產(chǎn)生高頻電流。由涂敷頭8A上具備的受電單元8a1把所提供的高頻電力整流變換成直流，并將電壓調(diào)整到各電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的額定電壓范圍內(nèi)。從該受電單元8a1向Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2、Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a3，通過Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器動(dòng)力線9a2、Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器動(dòng)力線9a3提供必要的電力。從各電機(jī)驅(qū)動(dòng)器向Y軸子電線圈8a4、Z軸電機(jī)8a5，通過Y軸電機(jī)動(dòng)力線9a4、Z軸電機(jī)動(dòng)力線9a5提供必要的電力。另外，提供給位置識(shí)別用照相機(jī)8a15的電力或者將激光提供給測距儀8a14的電力由于所需要的電壓低，因此由受電單元8a1使電壓比電機(jī)驅(qū)動(dòng)用電壓進(jìn)一步降低，由傳感器驅(qū)動(dòng)用電力線9a6來提供。這樣，能夠節(jié)省在臺(tái)架-門型之間、門型-涂敷頭之間的可動(dòng)部分中動(dòng)力電纜布線。
其次，說明使用了光通信單元的信號系統(tǒng)。首先，把來自主控制單元10的信號經(jīng)由控制信號電纜發(fā)送給臺(tái)架一側(cè)的光通信單元11A～11J。接著，由11I、11J把上述信號變換成光信號進(jìn)行調(diào)制，經(jīng)由半反射鏡14A、14B，向設(shè)置在相對的門型框上的光通信單元12A、12B投射其直進(jìn)光(透射光)。在光通信單元12A、12B中，感光到的光信號被變換成電信號，傳送到用于驅(qū)動(dòng)門型框等Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器等中。另外，由主控制單元10，從臺(tái)架一側(cè)光通信單元11A～11H，向頭一側(cè)的光通信單元13A～D、13E～H傳送由半反射鏡14A、14B反射的光。在頭一側(cè)的光通信單元13A～13H中，解調(diào)感光到的光信號，變換成電信號，通過Y軸以及Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器信號線14a1、14a2，向涂敷頭部分內(nèi)的Y軸以及Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2、8a3通信。在向主控制單元10返回來自Y軸、Z軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8a2、8a3的電機(jī)準(zhǔn)備完畢信號、報(bào)警信號等控制信號、Y軸位置檢測器8a6和Z軸位置檢測器8a7的信號、來自位置識(shí)別照相機(jī)8a15的圖像信號、以及測距儀8a14的距離信號的情況下，通過與上述路徑相反的路徑發(fā)送給主控制單元10。這樣，能夠節(jié)省在臺(tái)架-門型框之間、門型框-涂敷頭之間的通信部分中信號電纜的布線。
如上所述，涂膠裝置的可動(dòng)部分為了沿著X軸方向或者Y軸方向直線移動(dòng)，而具有大致直線地配置饋電線，饋電芯子能夠在其上移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。從而，能夠減少跟隨可動(dòng)部分的電纜根數(shù)。進(jìn)而，具有替換以往使用的信號線，將光通信單元經(jīng)由半反射鏡配置在固定部分一側(cè)以及可動(dòng)部分一側(cè)的結(jié)構(gòu)。由此，能夠有效地傳輸光信號，通過配置半反射鏡，不需要在可動(dòng)框一側(cè)配置固定部分一側(cè)用和涂敷頭一側(cè)用的2個(gè)光通信單元，因而能夠謀求裝置的小型化。從而，由于能夠大幅度減少電源線、信號線，因此能夠防止由電纜之間的摩擦發(fā)生的灰塵擴(kuò)散，并且能夠防止由跟隨可動(dòng)部分的電纜重量引起的位置控制精度的下降。由此，可實(shí)現(xiàn)不會(huì)在基板面上涂敷的膠中混入灰塵、且精度良好的涂敷。進(jìn)而，本發(fā)明是以在多個(gè)可動(dòng)部分中能夠以非接觸方式饋電、通信為特征，但在具有多個(gè)可動(dòng)部分的裝置中，當(dāng)然也能夠應(yīng)用于僅為一個(gè)可動(dòng)部分的情況。
進(jìn)而，另外在至此為止的說明中，具有在來自地面一側(cè)的光通信單元的光中向門型框的光通信單元收發(fā)半反射鏡的透射光，向涂敷頭的光通信單元收發(fā)反射光的結(jié)構(gòu)，當(dāng)然也能夠通過改變地面一側(cè)的光通信單元的配置，向涂敷頭一側(cè)的光通信單元發(fā)送半反射鏡的透射光，向門型框的光通信單元發(fā)送反射光。
圖6中表示使饋電線的支撐方式為其它方式時(shí)的芯子部分的圖。
在圖3中，使貫通芯子的貫通口內(nèi)的饋電線5僅以張力擴(kuò)張成不與芯子接觸。對此，在本實(shí)施例中，設(shè)置直線形剛體支撐構(gòu)件(第3饋電支撐構(gòu)件)17，在其第3饋電線支撐構(gòu)件17上固定(捆綁)支撐饋電線。
圖6(a)是一側(cè)的一次側(cè)受電芯子6B部分的詳細(xì)圖。圖6(b)是表示對于芯子，饋電線以及受電線的配置和第3饋電線支撐構(gòu)件17的形狀的剖面圖。另一側(cè)的一次側(cè)受電芯子6A也是大致相同的結(jié)構(gòu)。另外，設(shè)置在門型框上的饋電線和設(shè)置在每個(gè)頭中的受電芯子也具有同樣的結(jié)構(gòu)。一次側(cè)饋電線5在由絕緣體形成且具有所希望的剛性的棒狀的第3饋電線支撐構(gòu)件17上在多個(gè)位置上以固定用線18進(jìn)行固定。第3饋電線支撐構(gòu)件17具有用螺栓固定在臺(tái)架1上的門型框2A、2B的移動(dòng)方向的兩個(gè)端部上設(shè)置的第1及第2饋電線支撐構(gòu)件19a、19b上的構(gòu)造。該第1以及第2饋電線支撐構(gòu)件19a、19b也由絕緣材料構(gòu)成。這樣，通過在第3饋電線支撐構(gòu)件17上固定一次側(cè)饋電線，使得其貫通設(shè)置在一次側(cè)受電芯子中的窗內(nèi)的空間，即使一次側(cè)受電芯子6A移動(dòng)加入一些振動(dòng)，一次側(cè)饋電線5也不會(huì)與受電芯子6B接觸，不存在一次側(cè)饋電線接觸到一次側(cè)受電芯子從而破壞絕緣導(dǎo)致短路的情況，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的饋電。另外，如圖6(b)所示，第3饋電線支撐構(gòu)件17的形狀不是圓柱形而是具備凹部的四角形，通過形成為使得饋電線能夠收容在凹部中，也能夠穩(wěn)定地支撐饋電線。
另外，一次側(cè)受電芯子6A具有在長方體上打開兩個(gè)窗口的形狀，一次側(cè)饋電線5貫通該窗口部分。一次側(cè)饋電線5成為往復(fù)電線，具有從高頻電源4通過設(shè)置在臺(tái)架端部的第1饋電線支撐構(gòu)件19a，然后通過一次側(cè)受電芯子6A的一側(cè)窗口，在臺(tái)架相反一端的第2饋電線支撐構(gòu)件19b處折返，然后貫通一次側(cè)受電芯子6A的另一個(gè)窗口，再通過第1饋電線支撐構(gòu)件19a，返回到高頻電源的構(gòu)造。成為二次側(cè)饋電線7A的二次側(cè)繞組纏繞在一次側(cè)受電芯子6A的窗口上部。如圖所示，通過在一側(cè)的窗口右旋纏繞，在另一側(cè)的窗戶左旋纏繞方式纏繞串聯(lián)地連接，從而可不抵消在兩個(gè)窗口的繞組中感應(yīng)出的電壓地傳遞給二次側(cè)饋電線。另外，如圖6(b)所示，通過把一次側(cè)饋電線固定在棒狀的支撐構(gòu)件17上，能夠集中到窗口側(cè)面部分進(jìn)行纏繞，能夠使繞組與饋電線不接觸地縮短兩者的距離，能夠提高從一次側(cè)饋電線5向二次側(cè)饋電線的供電效率。二次側(cè)受電芯子9A、9B也做成與一次側(cè)受電芯子6A、6B相同的形狀，圖6中，對于7A，如果把7A替換成9a1，則變成表示二次側(cè)受電芯子9A的圖。另外，圖中的箭頭表示電流流動(dòng)的方向。
權(quán)利要求
1.一種涂膠機(jī)，該涂膠機(jī)設(shè)置多個(gè)在臺(tái)架上能夠沿著一個(gè)方向往復(fù)動(dòng)作的門型框、和能夠沿著上述門型框的長邊方向移動(dòng)的涂敷頭，在以與在上述涂敷頭上設(shè)置的噴嘴的噴射口相對的方式設(shè)置的臺(tái)上放置基板，通過從上述噴射口向上述基板上噴射充填在膠收容筒中的膠的同時(shí)，使上述基板與上述噴嘴的相對位置關(guān)系變化，從而在上述基板上涂敷所希望形狀的膠圖形，其特征在于為了向上述門型框饋電，采取在臺(tái)架一側(cè)直線形地配置的饋電線與門型框一側(cè)設(shè)置的受電芯子之間利用電磁耦合進(jìn)行非接觸饋電，在門型框上設(shè)置的直線形的饋電線與設(shè)置有各頭的受電芯子之間進(jìn)行非接觸饋電的結(jié)構(gòu)，并具有在上述移動(dòng)的門型框上設(shè)置的光通信單元與地面一側(cè)的光通信單元之間、以及在上述多個(gè)涂敷頭上設(shè)置的光通信單元與地面一側(cè)設(shè)置的光通信單元之間直接互換控制信號的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)，其特征在于具有采取在上述門型框上設(shè)置半反射鏡，把來自地面一側(cè)光通信單元的信號光中的半反射鏡的透射光輸入到在門型框上設(shè)置的光通信單元，而把半反射鏡的反射光輸入到在多個(gè)涂敷頭上設(shè)置的光通信單元的結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)，其特征在于具有采取設(shè)置2個(gè)上述可移動(dòng)的門型框，在各個(gè)框上可移動(dòng)地設(shè)置多個(gè)涂敷頭的結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂膠機(jī)，其特征在于以可向各個(gè)門型框通信的方式，上下配置兩組上述地面一側(cè)的光通信單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂膠機(jī)，其特征在于把上述地面一側(cè)的光通信單元以把兩個(gè)門型框夾住的方式，配置在上述臺(tái)架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂膠機(jī)，其特征在于采取把在上述臺(tái)架上設(shè)置的支撐饋電線的直線形的支撐構(gòu)件固定在框移動(dòng)方向的兩個(gè)端部上設(shè)置的立板上，在上述支撐構(gòu)件上固定上述饋電線的結(jié)構(gòu)。
7.一種涂膠機(jī)，該涂膠機(jī)設(shè)置多個(gè)在臺(tái)架上能夠沿著一個(gè)方向往復(fù)動(dòng)作的門型框、和能夠沿著上述門型框的長邊方向移動(dòng)的涂敷頭，在以與在上述涂敷頭上設(shè)置的噴嘴的噴射口相對的方式設(shè)置的臺(tái)上放置基板，通過從上述噴射口向上述基板上噴射充填在膠收容筒中的膠的同時(shí)，使上述基板與上述噴嘴的相對位置關(guān)系變化，從而在上述基板上涂敷所希望形狀的膠圖形，其特征在于為了向上述門型框饋電，采取在臺(tái)架一側(cè)在框移動(dòng)方向的兩個(gè)端部設(shè)置的立板之間固定2條直線形的支撐構(gòu)件，沿著上述支撐構(gòu)件配置饋電線，在多個(gè)位置用固定用線把上述饋電線固定在上述支撐構(gòu)件上，配置成使得在安裝于門型框上的受電芯子中所設(shè)置的貫通孔內(nèi)上述支撐構(gòu)件與由其支撐的饋電線不接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂膠機(jī)，其特征在于采取在上述門型框上設(shè)置半反射鏡，把來自地面一側(cè)光通信單元的信號光中的半反射鏡的透射光輸入到在門型框上設(shè)置的光通信單元，把半反射鏡的反射光輸入到在多個(gè)涂敷頭上設(shè)置的光通信單元的結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂膠機(jī)，其特征在于采取設(shè)置2個(gè)上述可移動(dòng)的門型框，在各個(gè)框上可移動(dòng)地設(shè)置多個(gè)涂敷頭的結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂膠機(jī)，其特征在于以可向各個(gè)門型框通信的方式，上下配置兩組上述地面一側(cè)的光通信單元。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂膠機(jī)，其特征在于把上述地面一側(cè)的光通信單元以把兩個(gè)門型框夾住的方式，配置在上述臺(tái)架上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種涂膠機(jī)，在設(shè)置多個(gè)能沿著一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)的門型框和沿著門型框的長邊方向移動(dòng)的涂敷頭，在設(shè)置成與涂敷頭上設(shè)置的噴嘴的噴射口相對的臺(tái)上放置基板，從噴射口向基板上噴膠的同時(shí)，使基板與噴嘴的相對位置關(guān)系發(fā)生變化，在基板上涂敷所希望形狀的膠圖形的涂膠機(jī)中，具有在臺(tái)架一側(cè)直線形地配置的饋電線與門型框一側(cè)設(shè)置的受電芯子之間利用電磁耦合進(jìn)行非接觸饋電的結(jié)構(gòu)，為了與移動(dòng)的門型框進(jìn)行控制信號的傳輸，在地面一側(cè)的光通信單元與可動(dòng)一側(cè)的光通信單元之間設(shè)置半反射鏡，使得能夠與移動(dòng)方向不同的可動(dòng)部分之間進(jìn)行信號的收發(fā)。
文檔編號B05C13/00GK101024212SQ20071000397
公開日2007年8月29日 申請日期2007年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月17日
發(fā)明者川口洋平, 川隅幸宏, 西內(nèi)章, 石田茂 申請人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)