化合物，光固化性組合物，和通過使用所述光固化性組合物的圖案化膜、光學(xué)組件、電路板 ...的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及化合物，光固化性組合物，和通過使用所述光固化性組合物的圖案化 膜、光學(xué)組件、固化物、電路板和電子組件的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 光（納米）壓印法是用于在例如加工基板等基板上生產(chǎn)圖案化抗蝕膜的技術(shù)之 〇
[0003] 包括長的照射步驟的光（納米）壓印法具有低的生產(chǎn)性的缺點。如果模具與固化 的抗蝕劑分離所需要的力（脫模力）大，則例如圖案的缺陷和由基板從臺架的剝離導(dǎo)致的 對齊精度降低等各種問題會發(fā)生。
[0004] 為了克服這些缺點，日本專利特開No. 2010-114209公開了一種光（納米）壓印 法，其中將供氫體添加至光固化性組合物中，從而改善光固化速度。
[0005] 日本專利特開No. 2007-084625公開了一種技術(shù)：將氟系表面活性劑添加至光固 化性組合物，從而降低脫模力。然而，需要光固化速度的進一步改善以改善生產(chǎn)性，并且需 要可以進一步降低與模具的脫模力的技術(shù)。
[0006] [引用列表]
[0007] [專利文獻]
[0008] [專利文獻1]日本專利特開No. 2010-114209
[0009] [專利文獻2]日本專利特開No. 2007-084625

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 本發(fā)明提供一種由通式（1)表示的化合物。
[0011] [化學(xué)式1]
[0013] 在通式（1)中，Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，R。表示氧化烯基或氧化烯基 的重復(fù)結(jié)構(gòu)，N表不氣原子，1^表不烷基，和R 8表不烷基或氛原子。
[0014] 本發(fā)明可以提供具有高的感光度、能夠形成可以使用較小的力與模具脫離的固化 物的光固化性組合物，實現(xiàn)此類性質(zhì)的化合物，和通過使用所述光固化性組合物的膜、光學(xué) 組件、電路板和電子組件的制造方法。
【附圖說明】
[0015] [圖1A]圖IA是示出根據(jù)一個實施方案的膜的制造方法的實例的示例性截面圖。
[0016] [圖1B]圖IB包括示出根據(jù)一個實施方案的膜的制造方法的實例的示例性截面 圖。
[0017] [圖1C]圖IC包括示出根據(jù)一個實施方案的膜的制造方法的實例的示例性截面 圖。
[0018] [圖1D]圖ID是示出根據(jù)一個實施方案的膜的制造方法的實例的示例性截面圖。
[0019] [圖1E]圖IE是示出根據(jù)一個實施方案的膜的制造方法的實例的示例性截面圖。
[0020] [圖1F]圖IF是示出根據(jù)一個實施方案的膜的制造方法的實例的示例性截面圖。
[0021] [圖2]圖2是示出裝配有照射機構(gòu)的衰減全反射紅外光譜儀的示意圖。
【具體實施方式】
[0022] 現(xiàn)在將參考附圖來詳細地描述本發(fā)明的實施方案。這些實施方案不限制本發(fā)明的 范圍。在本發(fā)明的主旨范圍內(nèi)，基于本領(lǐng)域技術(shù)人員的常識，使下述實施方案進行改造、修 改、改善等，并且此類改造等在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0023] 根據(jù)一個實施方案的光固化性組合物包含組分（A)、組分（B)和組分（C):
[0024] (A)聚合性化合物
[0025] (B)光聚合引發(fā)劑
[0026] (C)由以下通式（1)表示的供氫體。
[0027] [化學(xué)式2]
[0029] 在通式（1)中，Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，R。表示氧化烯基或氧化烯基 的重復(fù)結(jié)構(gòu)，N表不氣原子，1^表不烷基，和R 8表不烷基或氛原子。
[0030] 這些組分的詳細說明如下。
[0031] [組分（A):聚合性化合物]
[0032] 組分（A)是聚合性化合物。在本實施方案和本發(fā)明中，聚合性化合物是與由光聚 合引發(fā)劑（下述組分（B))產(chǎn)生的聚合因子（例如自由基）反應(yīng)并且形成由鏈反應(yīng)（聚合 反應(yīng)）產(chǎn)生的高分子化合物的膜的化合物。
[0033] 聚合性化合物的實例包括自由基聚合性化合物。用作組分（A)的聚合性化合物可 以由一種聚合性化合物或兩種以上的聚合性化合物組成。
[0034] 自由基聚合性化合物可以是具有一個以上的丙烯?；蚣谆；幕衔?。
[0035] 具有一個丙烯酰基或甲基丙烯?；膯喂倌埽谆┍；衔锏膶嵗?括，但不限于，苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、苯氧基-2-甲基乙基（甲基）丙烯酸酯、苯氧 基乙氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、3-苯氧基-2-羥基丙基（甲基）丙烯酸酯、2-苯基苯氧基 乙基（甲基）丙烯酸酯、4-苯基苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、3-(2-苯基苯基）-2-羥基 丙基（甲基）丙烯酸酯、EO改性的對枯基苯酚（甲基）丙烯酸酯、2-溴苯氧基乙基（甲基） 丙烯酸酯、2, 4-二溴苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2, 4, 6-三溴苯氧基乙基（甲基）丙烯 酸酯、EO改性的苯氧基（甲基）丙烯酸酯、PO改性的苯氧基（甲基）丙烯酸酯、聚氧乙烯壬 基苯基醚（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸異冰片基酯、1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、 2-甲基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、2-乙基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基） 丙烯酸冰片基酯、三環(huán)癸烷基（甲基）丙烯酸酯、二環(huán)戊烷基（甲基）丙烯酸酯、二環(huán)戊烯 基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸環(huán)己基酯、4-丁基環(huán)己基（甲基）丙烯酸酯、丙烯酰 基嗎啉、（甲基）丙烯酸2-羥基乙酯、（甲基）丙烯酸2-羥基丙酯、（甲基）丙烯酸2-羥 基丁酯、（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸 異丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸異丁酯、（甲基）丙烯 酸叔丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸異戊酯、（甲基）丙烯酸己酯、（甲基）丙 烯酸庚酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基）丙烯酸異辛酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲 基）丙烯酸壬酯、（甲基）丙烯酸癸酯、（甲基）丙烯酸異癸酯、（甲基）丙烯酸十一烷基 酯、（甲基）丙烯酸十二烷基酯、（甲基）丙烯酸月桂基酯、（甲基）丙烯酸硬脂基酯、（甲 基）丙烯酸異硬脂基酯、（甲基）丙烯酸芐酯、四氫化糠基（甲基）丙烯酸酯、丁氧基乙基 (甲基）丙烯酸酯、乙氧基二甘醇（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇單（甲基）丙烯酸酯、聚丙二 醇單（甲基）丙烯酸酯、甲氧基乙二醇（甲基）丙烯酸酯、乙氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、 甲氧基聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇（甲基）丙烯酸酯、雙丙酮（甲基）丙 烯酰胺、異丁氧基甲基（甲基）丙烯酰胺、N，N-二甲基（甲基）丙烯酰胺、叔辛基（甲基） 丙烯酰胺、二甲基氨基乙基（甲基）丙烯酸酯、二乙基氨基乙基（甲基）丙烯酸酯、7-氨 基-3, 7-二甲基辛基（甲基）丙烯酸酯、N，N-二乙基（甲基）丙烯酰胺和N，N-二甲基氨 基丙基（甲基）丙烯酰胺。
[0036] 單官能（甲基）丙烯?；衔锏纳藤彯a(chǎn)品的實例包括，但不限于，ARONIX M101、 M102、M110、Mill、M113、M117、M5700、T0-1317、M120、M150 和 M156 (Toagosei Co.，Ltd.的 產(chǎn)品）；MED0L 10, MIBDOL 10, CHDOL 10, MMDOL 30, MEDOL 30, MIBDOL 30, CHDOL 30, LA， IBXA，2-MTA，HPA，和 Viscoat#150、#155、#158、#190、#192、#193、#220、#2000、#2100、和 #2150 (Osaka Organic Chemical Industry Ltd.的產(chǎn)品）；LIGHT ACRYLATE B〇-A、EC-A、 DMP-A、THF-A、H0P-A、H0A-MPE、H0A-MPL、P0-A、P-200A、NP-4EA 和 NP-8EA，以及 EPOXY ESTER M-600A(Kyoeisha Chemical Co. ,Ltd.的產(chǎn)品）；KAYARAD TC110S、R-564 和 R-128H(NIPP0N KAYAKU Co. Ltd.的產(chǎn)品）；NK ESTER AMP-10G 和 AMP-20G(Shin-Nakamura Chemical Co.，Ltd.的產(chǎn)品）；FA-511A、512A 和 513A(Hitachi Chemical Co.，Ltd.的產(chǎn)品）；PHE、 CEA、PHE-2、PHE-4、BR-31、BR-31M和BR-32(Dai-IchiKogyoSeiyakuCo·，Ltd·的產(chǎn)品） ；VP(BASF 的產(chǎn)品）；和 ACM0、DMM 和 DMAPAA(K0HJIN Holdings Co.，Ltd.的產(chǎn)品）。
[0037] 具有兩個以上的丙烯?；蚣谆；亩喙倌埽谆┍；衔锏膶?例包括，但不限于，三羥甲基丙烷二（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、 EO改性的三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、PO改性的三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸 酯、E0, PO改性的三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、季戊四 醇四（甲基）丙烯酸酯、乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、四甘醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二 醇二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、1，4-丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、 1，6-己二醇二（甲基）丙烯酸酯、新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、三（2-羥基乙基）異氰脲 酸酯三（甲基）丙烯酸酯、三（丙烯酰氧基）異氰脲酸酯、雙（羥基甲基）三環(huán)癸烷二（甲 基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、EO改性 的2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基）苯基）丙烷、PO改性的2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰 氧基）苯基）丙烷和E0, PO改性的2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基）苯基）丙烷。
[0038] 多官能（甲基）丙烯酰基化合物的商購產(chǎn)品的實例包括：YUP頂ER UV SA1002和 SA2007 (Mitsubishi Chemical Corporation 的產(chǎn)品）；Viscoat#195、#230、#215、#260、 #335HP、#295、#300、#360、#700、GPT 和 3PA (Osaka Organic Chemical Industry Ltd.的 產(chǎn)品）；LIGHT ACRYLATE 4EG-A、9EG-A、NP-A、DCP-A、BP-4EA、BP-4PA、TMP-A、PE-3A、PE-4A 和 DPE-6A(Kyoeisha Chemical Co. ,Ltd.的產(chǎn)品）；KAYARAD PET-30、TMPTA、R-604、DPHA， 0卩〇八-20、-30、-60、-120，取-620,0-310，和0-330(??？卩(^1^￥八1(1](：〇.1^(1.的產(chǎn)品） ；八1?(^1父 M208、M210、M215、M220、M240、M305、M309、M310、M315、M325 和 M400(Toagosei Co.，Ltd.的 產(chǎn)品）；和 Ripoxy VR-77、VR-60 和 VR-90 (Showa Highpolymer Co.，Ltd.的產(chǎn)品）。
[0039] 在上述化合物組中，"（甲基）丙烯酸酯"是指丙烯酸酯和等同的