技術(shù)特征：

1.一種復(fù)合材料，其特征在于，所述復(fù)合材料適用于拋光機(jī)夾具的內(nèi)襯材料，基于所述復(fù)合材料的總質(zhì)量，所述復(fù)合材料包括：50％～60％的基體；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述玻璃纖維的纖維長(zhǎng)度為l，且滿足為20*d≤l≤30*d。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述玻璃纖維包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述復(fù)合材料用于拋光第一硅片，所述第一硅片的電阻率為0.1～100ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述第一硅片的電阻率為0.1～10ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述第一硅片的電阻率為10～100ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述復(fù)合材料用于拋光第二硅片，所述第二硅片的電阻率為0.01～0.00001ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述第二硅片的電阻率為0.01～0.001ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述第二硅片的電阻率為0.001～0.0001ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的復(fù)合材料，其特征在于，所述第二硅片的電阻率為0.0001～0.00001ω·cm，基于所述復(fù)合材料中所述玻璃纖維的總重量，所述玻璃纖維包括：

11.一種權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的復(fù)合材料的制備方法，其特征在于，包括：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述加熱熔融的溫度為275℃～325℃。

13.一種利用權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的復(fù)合材料制備拋光機(jī)夾具內(nèi)襯的方法，其特征在于，包括：

14.一種拋光機(jī)夾具的內(nèi)襯，其特征在于，是由權(quán)利要求13所述的方法制備得到。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了復(fù)合材料及其制備方法、內(nèi)襯及其制備方法。復(fù)合材料適用于硅片拋光機(jī)夾具的內(nèi)襯材料，基于復(fù)合材料的總質(zhì)量，復(fù)合材料包括：50％～60％的基體；40％～50％的增強(qiáng)劑；0～2％的添加劑，基體為聚酰胺，增強(qiáng)劑為玻璃纖維，玻璃纖維為絲狀，玻璃纖維的纖維直徑為D，且滿足為5微米≤D≤25微米。聚酰胺為復(fù)合材料提供優(yōu)異的拉伸強(qiáng)度、彎曲強(qiáng)度以及剛性，玻璃纖維進(jìn)一步加強(qiáng)復(fù)合材料的機(jī)械強(qiáng)度，進(jìn)而保證復(fù)合材料良好的機(jī)械性能，以滿足硅片拋光機(jī)夾具對(duì)內(nèi)襯的硬度和耐磨性的要求，有效提高拋光后硅片的幾何參數(shù)控制能力，降低同批次硅片的表面平坦度差異，提高拋光效率，降低成本。

技術(shù)研發(fā)人員：祝斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中環(huán)領(lǐng)先（徐州）半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/17