技術(shù)編號(hào)：40321023
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及材料，具體的，涉及復(fù)合材料及其制備方法、拋光機(jī)夾具的內(nèi)襯及其制備方法。背景技術(shù)、雙面拋光技術(shù)巧妙地融合機(jī)械與化學(xué)的雙重作用，實(shí)現(xiàn)高度協(xié)調(diào)與平衡的過程。在機(jī)械作用方面，通過精密設(shè)計(jì)的拋光機(jī)與特定材質(zhì)的拋光墊，施加適度地壓力與旋轉(zhuǎn)速度，對(duì)硅片表面進(jìn)行物理性的研磨與拋光，逐步削平不平整處。而化學(xué)作用則體現(xiàn)在拋光液中，該拋光液中含有與硅片表面發(fā)生輕微化學(xué)反應(yīng)的成分，這些反應(yīng)有助于進(jìn)一步軟化或溶解表面微小顆粒，加速表面的平滑化進(jìn)程。兩者相輔相成，既保證拋光的高效性，又確保對(duì)硅片表面的精細(xì)控制，...
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