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使用納米柱陣列的低至納米尺度的實體的連續(xù)流式的基于大小的分離的制作方法

文檔序號:11528701閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
技術(shù)涉及分選實體。將實體引入納米柱陣列中。實體包括第一群體和第二群體,并且納米柱陣列包括布置為具有將一個納米柱與另一個納米柱分離的間隙的納米柱。納米柱被排序為相對于流體流動方向具有陣列角。通過在第一方向上輸送小于預定大小的實體的第一群體以及通過在與第一方向不同的第二方向上輸送至少為預定大小的實體的第二群體穿過納米柱陣列,對實體進行分選。納米柱陣列被配置為采用具有小于300納米的間隙大小的間隙以分選具有亞100納米大小的實體。

技術(shù)研發(fā)人員:Y·A·阿斯迪爾;G·A·斯托洛維特斯基;J·T·史密斯;王超;B·H·萬施
受保護的技術(shù)使用者:國際商業(yè)機器公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.11.23
技術(shù)公布日:2017.08.18
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