背景技術(shù)：

微流體設(shè)備以流體輸送通道提供小型化環(huán)境，該流體輸送通道能夠?qū)崿F(xiàn)例如可從幾微升至幾飛升(10^-6-10^-15升)范圍的非常小的流體樣本體積的控制和操作。這種設(shè)備例如可用于醫(yī)療診斷、dna取證、和“芯片實(shí)驗(yàn)室”化學(xué)分析中，并且其可使用諸如光刻的普通的微細(xì)加工技術(shù)來被制造。

流體系統(tǒng)中的閥被用于在特定方向上最小化或消除流體的流動。微流體系統(tǒng)中的閥通常需要特殊的材料，該材料具有有限的材料相容性，并且可能是昂貴的和/或難以制造的。微流體系統(tǒng)中的閥通常包括移動部分，這降低了其可靠性。

附圖說明

現(xiàn)在將參考附圖描述示例，其中：

圖1示出使用慣性泵以控制通過微流體通道的流體流動的微流體閥的示例；

圖2a-2f例示微流體閥的示例性實(shí)施例的示例性運(yùn)轉(zhuǎn)方式，其中慣性泵包括氣泡泵；

圖3例示示出在微流體閥的三個慣性泵之中發(fā)生的慣性泵觸發(fā)的示例的圖表；

圖4示出通過微流體閥的流體流動的示例性進(jìn)程或模式，其與圖3中所示的慣性泵觸發(fā)對應(yīng)；

圖5例示示出在微流體閥的三個慣性泵之中發(fā)生的慣性泵觸發(fā)的另一示例的圖表；

圖6示出通過微流體閥的流體流動的示例性進(jìn)程或模式，其與圖5中所示的慣性泵觸發(fā)對應(yīng)；

圖7和圖8例示微流體閥的另外的示例，其以關(guān)于圖1-6中的三通道微流體閥所描述的相同原理運(yùn)轉(zhuǎn)；

圖9示出能夠以不同的順序和相對于彼此不同的觸發(fā)頻次的可調(diào)節(jié)比率選擇性地致動慣性泵以控制通過微流體閥的流體流動的致動器的示例；

圖10和圖11示出例示使用慣性泵的頻次控制以控制通過微流體通道的流體流動的關(guān)于微流體閥的示例性方法的流程圖。

在全部附圖中，相同的附圖標(biāo)記標(biāo)示類似的、但不一定相同的元件。

具體實(shí)施方式

圖1示出微流體閥100的示例。如在此后將描述的，微流體閥使用慣性泵以控制通過儲液器或腔室之間的微流體通道的流體的流動。在一些示例中，微流體閥通過以關(guān)于彼此不同的頻次觸發(fā)慣性泵而控制流體的流動。因此，慣性泵之間的觸發(fā)頻次比率可被調(diào)整以動態(tài)地控制閥內(nèi)流體的流動。調(diào)整觸發(fā)頻次的比率可導(dǎo)致通過閥內(nèi)通道的多種流體流動模式。一般地，與之前的微流體閥相比，微流體閥100的多種實(shí)施例提供改進(jìn)的流體流動控制，包括閥規(guī)模(scaling)和減少的壓力損失，同時還減少或省去移動部件、增強(qiáng)可靠性并降低成本。

微流體閥100包括三個通道102(例示為通道102-1、102-2、102-3)，具有彼此交匯并且流體聯(lián)接在流體交匯部106處的第一通道端104(以虛線例示為第一通道端104-1、104-2、104-3)。每個通道102朝向第二通道端108(例示為第二通道端108-1、108-2、108-3)以角度“a”延伸遠(yuǎn)離通道交匯部106。微流體閥100在通道102的長度“l(fā)”相等以及通道102延伸遠(yuǎn)離交匯部106的角度“a”相等方面是大體統(tǒng)一的。例如，在圖1中，對于延伸遠(yuǎn)離交匯部106的每個通道102的角度“a”可為120°。值得注意的是，雖然所提供的示例一般涉及統(tǒng)一的(即具有統(tǒng)一的通道長度、角度、寬度)微流體閥100，這里討論的包括使用頻次控制的慣性泵/閥來控制通過通道的流體流動的構(gòu)思等同地適用于具有不相等的通道長度、不相等的角度、不相等的寬度等的非統(tǒng)一的微流體閥。示例中統(tǒng)一的微流體閥100的使用主要是為簡化說明和例示的目的。

在每個通道102的第二通道端108處，微流體閥100可包括儲液器或腔室110(例示為腔室110-1、110-2、110-3)以從相應(yīng)的通道102接收流體，和/或向相應(yīng)的通道102提供流體。盡管圖1中的腔室110被示出為具有比通道102略大的寬度，但是在實(shí)際的微流體閥100中，腔室110可以比通道102的寬度明顯更寬。朝向每個通道102的第二通道端108，微流體閥100包括慣性泵112(分別例示為慣性泵112-1、112-2、112-3，和“a”、“b”、“c”)。每個慣性泵112包括位于相應(yīng)通道102內(nèi)、接近腔室110并遠(yuǎn)離交匯部106的泵送設(shè)備。換言之，慣性泵112與腔室110間隔小于第一通道端104和第二通道端108之間的全部流體路徑長度的一半的距離。慣性泵112利用通道102內(nèi)的慣性和動量引起流體流動。為了本公開的目的，術(shù)語“慣性泵”涉及一種泵送設(shè)備，其在通道102內(nèi)初始地沿兩個方向驅(qū)動流體，但是其中該泵送設(shè)備被不對稱地定位在通道端(104和108)之間，使得泵送事件的最終結(jié)果為流體沿朝向兩個通道端中的距離最遠(yuǎn)的方向被驅(qū)動，在所描述的示例中為朝向第一通道端104被驅(qū)動。

在微流體閥100中，每個慣性泵112可由致動器101選擇性地致動，以引起與由另一慣性泵的致動產(chǎn)生的壓力導(dǎo)致的流體流動或者由來自腔室110內(nèi)、大氣等的壓力梯度導(dǎo)致的流體流動相反的方向的流體流動。在一些示例中，慣性泵112可由致動器101致動至其停止或阻止壓力下的流體流過其的程度。在這種情況下，慣性泵112充當(dāng)通道102內(nèi)的關(guān)閉閥，并且阻止壓力下的流體流入其第二通道端108處的腔室110中。在其它示例中，慣性泵112可由致動器101致動至其減小壓力下的流體流過其的速度的程度。在這種情況下，慣性泵112在通道102內(nèi)充當(dāng)部分打開的閥，并且允許一些壓力下的流體流入其第二通道端108處的腔室110中。一般地，由致動器101控制慣性泵112的致動頻次可在閥100內(nèi)造成通過通道的多種不同的流體流動模式。在下面更詳細(xì)地討論致動器101。

在一個實(shí)施例中，慣性泵112包括氣泡泵。氣泡泵為產(chǎn)生初始膨脹氣泡以移動或驅(qū)動鄰近的流體遠(yuǎn)離該氣泡的泵。氣泡泵的一個示例包括微加熱器，諸如熱噴墨(tij)泵。tij泵利用電流通過的電阻。在一些示例中，tij泵可使用多個電阻。在電流穿過電阻時由電阻產(chǎn)生的熱量使接近或圍繞電阻的流體蒸發(fā)而產(chǎn)生氣泡。隨著氣泡膨脹，其驅(qū)動鄰近的流體遠(yuǎn)離其自身和電阻。

圖2a-2f例示微流體閥100的示例性實(shí)施例的運(yùn)轉(zhuǎn)方式，其中諸如圖1的慣性泵b(112-2)的慣性泵112包括熱氣泡型泵(thermalbubbletypepump)。雖然圖2a-2f中示出的微流體閥100旨在表示圖1的示例性三通道微流體閥100，但是為了本說明書的目的，僅示出三個通道中的一個。圖2a-2f例示微流體閥100的一個通道102內(nèi)的慣性泵112的氣泡泵的單次致動的膨脹-崩塌周期(expansion-collapsecycle)。這種膨脹-崩塌周期可被稱為“泵送事件”，并且在一些示例中，膨脹-崩塌周期可包括“泵送事件”的全部或部分。單個膨脹-崩塌周期導(dǎo)致以遠(yuǎn)離最靠近慣性泵112、b的第二通道端108并且遠(yuǎn)離腔室110的方向施加至流體的力。單個膨脹-崩塌周期(泵送事件)產(chǎn)生朝向交匯部106(即朝向第一通道端104)的流體流動，其將與在來自另一慣性泵的壓力下或者微流體閥100內(nèi)的其它壓力梯度下可從交匯部106流出的流體對抗并控制該流體。

圖2a例示處于起始狀態(tài)的微流體閥100的一個通道102，其中通道102內(nèi)的流體處于休息或靜止?fàn)顟B(tài)。圖2b例示在用作慣性泵112的氣泡泵的單次致動時的通道102。如圖2b所示，氣泡泵生成高壓蒸汽氣泡200。氣泡200提供沿兩個方向推動流體遠(yuǎn)離氣泡200和慣性泵112的正壓力差。如圖2c所示，氣泡200的蒸汽壓力快速下降至大氣壓以下，并且流體在負(fù)壓力差下減速的同時由于慣性而繼續(xù)移動。如圖2d所示，通道102的短臂202(即，至慣性泵b、112的右側(cè))中的流體反轉(zhuǎn)方向或者在到達(dá)在第二通道端108處的腔室110的較大接口時轉(zhuǎn)向。同時，通道102的長臂204(即至慣性泵b、112的左側(cè))中的流體繼續(xù)朝向在第一通道端104處的交匯部106移動。如圖2e所示，朝向交匯部106移動的長臂204中的流體到達(dá)交匯部106(即第一通道端104)并且轉(zhuǎn)向或者反轉(zhuǎn)方向，使得兩個流柱在碰撞點(diǎn)碰撞，該碰撞點(diǎn)為已遠(yuǎn)離慣性泵b、112(即初始?xì)馀菖蛎浀钠鹗键c(diǎn))、朝向交匯部106移位的點(diǎn)。如圖2f所示，因?yàn)榱髯远瘫?02的流體在碰撞的點(diǎn)處具有較大量的動量，所以總的崩塌后動量不為零，并且流體最終沿朝向交匯部106(即第一通道端104)的方向被驅(qū)動，其將對抗(即停止或減小)在來自交匯部106或者來自另一慣性泵或其它壓力梯度的壓力下被驅(qū)動的流體。

流體由慣性泵112驅(qū)動的速度取決于慣性泵112的功率和頻次、慣性泵112與通道102的端部間隔的距離、相對于通道102的橫截面面積或?qū)挾鹊那皇?10的橫截面面積或?qū)挾龋约按盟土黧w的黏度。由慣性泵112由于慣性引起的流體的移動大于由于摩擦而對抗該移動的阻力。在一些示例中，慣性泵112可具有至少1m/s至10m/s并且標(biāo)稱為高達(dá)20m/s的初始速率。在一些示例中，慣性泵112包括熱噴墨電阻，其產(chǎn)生以至少1m/s至10m/s的初始速率推進(jìn)鄰近的流體的蒸汽氣泡。在一些示例中，接近慣性泵112的腔室110可具有至少5倍于、并且標(biāo)稱為至少10倍于通道102的橫截面面積或?qū)挾鹊臋M截面面積或?qū)挾?。在一些示例中，通?02具有大約10至50μm的寬度，而腔室110具有大約200至500μm的寬度(在腔室110的接口處垂直于通道102的軸向方向測量)。在其它示例中，通道102和腔室110的寬度差可具有其它值。

雖然圖2例示其中慣性泵112包括氣泡泵的微流體閥100的示例，但是在其它示例中，慣性泵112可包括在通道內(nèi)初始地沿兩個方向驅(qū)動流體的其它泵送機(jī)構(gòu)或設(shè)備，但是其中泵送設(shè)備非對稱地定位在較大的腔室或儲液器之間，使得最終結(jié)果為流體沿朝向通道的較長臂的方向被驅(qū)動。例如，慣性泵112可包括沿著通道102接近腔室110和遠(yuǎn)離交匯部106的一側(cè)的可彎的或可偏轉(zhuǎn)的薄膜，其中該薄膜可通過電力、磁力、機(jī)械力或其它力偏轉(zhuǎn)，以在相對狹窄的通道102內(nèi)初始地沿兩個方向驅(qū)動流體。在一些示例中，慣性泵112可包括可由(例如由壓電陶瓷(pzt)制造的)壓電元件偏轉(zhuǎn)的薄膜。

如以上提到的，流體由慣性泵112驅(qū)動的速度部分地取決于慣性泵112的頻次。因此，改變通道102中的慣性泵112的觸發(fā)頻次可以控制流體將流動通過通道的程度。例如，進(jìn)入通道102的流體流動可通過調(diào)整通道中的慣性泵112的觸發(fā)頻次而被停止或減小。將此應(yīng)用于如圖1中的微流體閥100，閥的全部三個通道102的流體流動可僅通過控制每個慣性泵112的觸發(fā)頻次來控制。在任何給定的具有三個通道102的微流體閥100中，例如，兩個慣性泵112之間的觸發(fā)頻次的比率可被調(diào)整以造成從一個通道向第二通道的流體流動，同時阻擋進(jìn)入第三通道的流體流動。流向任何通道和從任何通道流出的任何方式可通過調(diào)整慣性泵112之間的觸發(fā)頻次的比率來控制。

圖3例示示出慣性泵觸發(fā)300的示例的圖表，慣性泵觸發(fā)300在諸如圖1的閥100的微流體閥100的三個慣性泵112(慣性泵a、b和c)之中發(fā)生，以控制微流體閥100的三個通道102內(nèi)的流體流動。圖4示出與圖3中所示的慣性泵觸發(fā)對應(yīng)的通過微流體閥100的流體流動的示例性進(jìn)程或模式?，F(xiàn)在參見圖1、圖3和圖4，通道102-1中的慣性泵112-1、a在時間0處被單次觸發(fā)。如圖4a所示，生成流過假想平面“p1”并朝向閥交匯部106的流體流動“q”。對于統(tǒng)一的微流體閥100，流動q在其流動通過交匯部106時在通道102-2和102-3之間被大致均衡地分配。因此，慣性泵112-1、a的單次觸發(fā)沿著每個通道102-2和102-3生成q/2的流體流動。

在慣性泵112-1、a觸發(fā)時，并且在任意后續(xù)的泵觸發(fā)之前，時間延遲302被實(shí)施。一般地，時間延遲302允許在另一泵送事件被發(fā)起之前由慣性泵的觸發(fā)發(fā)起的當(dāng)前泵送事件完成或“安定(settled)”。時間延遲使連續(xù)的泵送事件之間的相互影響和干擾最小化，并且有效地使微流體閥100表現(xiàn)為線性系統(tǒng)，該線性系統(tǒng)中，由泵送事件造成的流體流動響應(yīng)將根據(jù)疊加原理加在一起。時間延遲302使得在下一個泵送事件被發(fā)起之前由慣性泵觸發(fā)造成的驅(qū)動氣泡能夠完全崩塌并且流體流動能夠安定。驅(qū)動氣泡膨脹和崩塌的時間大約為5-20μs。用于流體流動移動以安定在凈流方向的時間可變化，并且在一些示例中可為大約80μs。一般地，泵送事件包括驅(qū)動氣泡的膨脹和崩塌，以及流體在凈流方向上的安定。因此，泵送事件或者慣性泵觸發(fā)之間的時間延遲302通常大約在50-100μs之間，但并不限于此范圍。其它時間延遲是可能的。如圖3的示例中所示，每個泵送事件的觸發(fā)以接近100μs的時間間隔發(fā)生。

在慣性泵112-1、a的第一次慣性泵觸發(fā)的起始處實(shí)施的時間延遲302之后，第二次慣性泵觸發(fā)在接近100μs處發(fā)生，如圖3和圖4b中所示。第二次慣性泵觸發(fā)是泵112-1、a的另一次觸發(fā)。如泵112-1、a的第一次慣性泵觸發(fā)一樣，泵112-1、a的第二次慣性泵觸發(fā)生成流過假想平面“p1”并朝向閥交匯部106的流體流動“q”。如圖4b中所示和如上所提到的，泵112-1、a的第一次和第二次泵觸發(fā)的流體流動通過疊加而合并(通過時間延遲302實(shí)現(xiàn))，導(dǎo)致2q的流體流動流過平面p1，并且分配的q的流體流動分別流入通道102-2和102-3中，并流過平面p2和p3。

在另一時間延遲302之后，第三次慣性泵觸發(fā)在接近200μs處發(fā)生，如圖3中所示。第三次慣性泵觸發(fā)為慣性泵112-2、b的觸發(fā)。因?yàn)槲⒘黧w閥100大體統(tǒng)一，具有相等長度l的通道、通道成相等的角度“a”、慣性泵112使用相同尺寸的加熱電阻，等等，所以慣性泵112-2、b的觸發(fā)生成流動遠(yuǎn)離第二通道端108-2、經(jīng)過假想平面“p2”并朝向閥交匯部106處的第一通道端104-2的流體流動“q”。如圖4c中所示，來自慣性泵112-2、b的單次觸發(fā)的流體流動q在其流動通過交匯部106時在通道102-1和102-3之間被大致均衡地分配。因此，慣性泵112-2、b的單次觸發(fā)生成分別沿每個通道102-1和102-3、經(jīng)過平面p1和p3的q/2的流體流動。

圖4d示出由圖3的前三次慣性泵觸發(fā)生成的結(jié)果流，其中慣性泵112-1、a被觸發(fā)兩次，隨后是慣性泵112-2、b的單次觸發(fā)。如以上所指出的，根據(jù)疊加原理，在每個泵觸發(fā)事件之間引入時間延遲302導(dǎo)致流體流動響應(yīng)被加在一起。因此，慣性泵112-1、a以頻次2相繼觸發(fā)，隨后慣性泵112-2、b以頻次1觸發(fā)，導(dǎo)致3q/2的流體流動從慣性泵112-1、a經(jīng)過平面p1、通過交匯部106、并通過通道102-3經(jīng)過平面p3。對應(yīng)的結(jié)果是慣性泵112-2、b充當(dāng)關(guān)閉閥，其使在來自慣性泵112-1、a的壓力下來自通道102-1的流體的流動停止，并且將該流重新引導(dǎo)返回至通道102-1和102-3。因此，慣性泵112-1、a和慣性泵112-2、b之間的2/1的觸發(fā)頻次的比率為可在微流體閥100中實(shí)施以控制通過閥的流體流動的比率的示例。

如以上所指出的，微流體閥100一般被考慮為統(tǒng)一的閥，其中通道102具有相等的長度l、通道角度“a”相等、慣性泵112使用相同尺寸的加熱電阻等等。微流體閥100的假設(shè)的統(tǒng)一性能夠簡化以上關(guān)于圖3和圖4所討論的流體流動示例。然而，在其它示例中，微流體閥100可以是不統(tǒng)一的。例如，制造異?？蓪?dǎo)致通道的長度不統(tǒng)一，或者通道延伸遠(yuǎn)離交匯部106的角度為不統(tǒng)一的角度。在這種情況下，慣性泵112-1、a和慣性泵112-2、b之間2/1的觸發(fā)頻次的比率很可能將不產(chǎn)生與以上示例中所述相同的流動結(jié)果。例如，這種非統(tǒng)一性可導(dǎo)致一些流體量非預(yù)期地流動通過通道102-2。然而，在這種情況下，慣性泵112-1、a和慣性泵112-2、b之間的觸發(fā)頻次的比率可被調(diào)整以補(bǔ)償閥100中的非統(tǒng)一性，從而保持預(yù)期的流體流動通過閥。

圖5例示示出慣性泵觸發(fā)500的另一示例的圖表，慣性泵觸發(fā)500在諸如圖1的閥100的微流體閥100的三個慣性泵112(慣性泵a、b和c)之中發(fā)生，以控制微流體閥100的三個通道102內(nèi)的流體流動。圖6示出與圖5中所示的慣性泵觸發(fā)對應(yīng)的通過微流體閥100的流體流動的示例性進(jìn)程或模式。總體上，圖5和圖6提供例示通過微流體閥100的流體流動模式的示例，其與之前的圖3和圖4中的示例不同，完全是因?yàn)閼?yīng)用慣性泵112-1、a和慣性泵112-2、b之間的觸發(fā)頻次的不同比率。應(yīng)當(dāng)注意，雖然在示例中使用慣性泵a和b，但是泵的其它組合可不費(fèi)力地被用于論證基于觸發(fā)頻次的比率對通過微流體閥100的流體流動的控制。

現(xiàn)在參見圖1、圖5和圖6，通道102-1中的慣性泵112-1、a被接連三次觸發(fā)500，第一次在時間0處，并且在100μs處和200μs處再次觸發(fā)。每個觸發(fā)500相隔時間間隔502，并且如圖6a中所示，由三次觸發(fā)500產(chǎn)生的流動通過疊加合并，導(dǎo)致經(jīng)過假想平面“p1”并朝向閥交匯部106的3q的流動。流體流動3q在其流動通過交匯部106時在通道102-2和102-3之間被大致均衡地分配。因此，慣性泵112-1、a的三次觸發(fā)生成沿每個通道102-2和102-3的3q/2的流體流動。此后，在另一時間延遲502之后，通道102-2中的慣性泵112-2、b被觸發(fā)一次，導(dǎo)致流動遠(yuǎn)離第二通道端108-2、經(jīng)過假想平面“p2”并朝向閥交匯部106處的第一通道端104-2的流體流動“q”。如圖6b中所示，由慣性泵112-2、b的單次觸發(fā)產(chǎn)生的流體流動q在其流動通過交匯部106時在通道102-1和102-3之間被大致均衡地分配。因此，慣性泵112-2、b的單次觸發(fā)生成分別沿每個通道102-1和102-3、經(jīng)過平面p1和p3的q/2的流體流動。

圖6c示出由圖5的前四次慣性泵觸發(fā)生成的結(jié)果流體流動模式，其中慣性泵112-1、a被觸發(fā)三次，隨后是慣性泵112-2、b的單次觸發(fā)。如以上所指出的，根據(jù)疊加原理，在每個泵觸發(fā)事件之間引入時間延遲302、502導(dǎo)致流體流動響應(yīng)被加在一起。因此，慣性泵112-1、a以頻次3的相繼觸發(fā)、隨后慣性泵112-2、b以頻次1觸發(fā)，導(dǎo)致5q/2的流體流動從慣性泵112-1、a經(jīng)過平面p1并通過交匯部106。泵a和b之間的觸發(fā)頻次的結(jié)果比率進(jìn)一步導(dǎo)致q/2的流動通過通道102-2、經(jīng)過平面p2，并且2q的流動通過通道102-3、經(jīng)過平面p3。因此，雖然之前的圖3和圖4中的示例例示使通過通道102-2的流體流動停止的慣性泵a和b之間的觸發(fā)頻次的比率，但是圖5和圖6中的示例例示使通過通道102-2的流體流動減小的慣性泵a和b之間的觸發(fā)頻次的比率。

圖7和圖8例示微流體閥的另外的示例，其在與以上關(guān)于圖1-6中的三通道微流體閥100描述的相同原理下操作。該原理可應(yīng)用于包括三個或更多個流體通道102的任意類似的合適的微流體閥。因此，圖7和圖8中所示的微流體閥700和800分別包括超出三個通道的不同數(shù)量的通道102。如以上討論的微流體閥100，圖7和圖8中的微流體閥700和800中的通道102具有統(tǒng)一的長度和寬度，通道延伸遠(yuǎn)離交匯部106的角度相等，慣性泵a-e的尺寸統(tǒng)一，等等。

圖9示出致動器101的示例，其能夠以不同的順序和以相對于彼此不同的可調(diào)節(jié)的觸發(fā)頻次的比率選擇性地致動慣性泵112，以控制通過諸如微流體閥100的微流體閥的流體流動。致動器101包括控制器900，從而以變化的順序和頻次選擇性地致動泵112，以生成和/或控制或以閥調(diào)節(jié)微流體閥100的通道102內(nèi)的流體流動?？刂破?00包括處理器(cpu)902和存儲器904，并且可附加地包括用于與微流體閥100的慣性泵112通信并控制微流體閥100的慣性泵112的固件或其它電子器件。處理器902旨在包括執(zhí)行包含在非暫時性存儲器中的指令序列的任何目前開發(fā)的或未來開發(fā)的處理單元。指令序列的執(zhí)行使處理單元實(shí)行諸如生成控制信號的步驟。指令可在隨機(jī)存取存儲器(ram)中從只讀存儲器(rom)、大容量存儲設(shè)備、或一些其它永久存儲器被加載，用于由處理單元執(zhí)行。在其它示例中，硬接線電路可被用于代替軟件指令或者與軟件指令組合以實(shí)現(xiàn)所描述的功能。例如，控制器900可被體現(xiàn)為一個或多個專用集成電路(asic)的一部分。除非另外指明，控制器900不限于硬件電路和軟件的任何具體組合，也不限于用于由處理單元執(zhí)行的指令的任何特定源。

存儲器904可包括易失性存儲部件(即ram)和非易失性存儲部件(例如rom、硬盤、光盤、cd-rom、磁帶、閃存等)。存儲器904的部件包括非暫時性的機(jī)器可讀(例如計(jì)算機(jī)/處理器可讀)介質(zhì)，其提供機(jī)器可讀編碼程序指令、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、程序指令模塊和其它數(shù)據(jù)的存儲，用于通過慣性泵112的選擇性觸發(fā)來控制微流體閥100中的流體流動。例如，慣性泵頻次模塊906包括存儲在存儲器904中并且可在處理器902上執(zhí)行的程序指令，以使致動器900選擇性地啟動或觸發(fā)慣性泵112，從而控制通過微流體閥100的流體流動。另外，存儲器904包括具有可在處理器902上執(zhí)行的指令的時間間隔模塊908，以能夠調(diào)整在微流體閥100上的慣性泵112的每個觸發(fā)之間發(fā)生的時間間隔。存儲在存儲器904中的程序指令、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)和模塊可以是能夠由處理器902執(zhí)行用于實(shí)施多個示例(諸如在此討論的示例)的安裝包的一部分。因此，存儲器904可以是諸如cd、dvd或者閃盤驅(qū)動器的便攜式介質(zhì)，或者是由服務(wù)器維護(hù)的存儲器，可從該服務(wù)器下載和安裝安裝包。在另一示例中，存儲在存儲器904中的程序指令、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)和模塊可以是已經(jīng)安裝的一個或多個應(yīng)用的一部分，在該情況下，存儲器904可包括諸如硬件驅(qū)動的集成存儲器。

圖10和圖11示出例示示例性方法1000和1100的流程圖，涉及使用慣性泵的頻次控制以控制通過微流體通道的流體流動的微流體閥。方法1000和1100與以上關(guān)于圖1-圖9討論的示例相關(guān)聯(lián)，并且方法1000和1100中示出的操作的細(xì)節(jié)可在這些示例的相關(guān)討論中找到。方法1000和1100的操作可被體現(xiàn)為存儲在非暫時性機(jī)器可讀(例如計(jì)算機(jī)/處理器可讀)介質(zhì)上的編程指令，諸如圖9中所示的致動器101的存儲器904。在一些示例中，實(shí)施方法1000和1100的操作可通過處理器(諸如圖9的處理器902)讀取和執(zhí)行存儲在存儲器904中的編程指令而實(shí)現(xiàn)。在一些示例中，實(shí)施方法1000和1100的操作可使用asic(專用集成電路)和/或單獨(dú)的其它硬件部件或者與可由處理器902執(zhí)行的編程指令組合的其它硬件部件。

方法1000和1100可包括多于一種的實(shí)施方式，并且方法1000和1100的不同的實(shí)施方式可不采用呈現(xiàn)在相應(yīng)的流程圖中的每個操作。因此，雖然方法1000和1100的操作在流程圖內(nèi)以特定順序呈現(xiàn)，其呈現(xiàn)的順序不旨在對可實(shí)際實(shí)施操作的順序的限制，或者對是否會實(shí)施所有的操作的限制。例如，方法1000的一個實(shí)施方式可能通過執(zhí)行若干初始操作而不執(zhí)行一個或多個后續(xù)的操作而實(shí)現(xiàn)，而方法1000的另一實(shí)施方式可能通過執(zhí)行全部操作而實(shí)現(xiàn)。

現(xiàn)在參見圖10的流程圖，控制微流體閥100的示例性方法1000在方框1002處開始，以第一頻次觸發(fā)第一慣性泵，并且以第二頻次觸發(fā)第二慣性泵，以在微流體閥內(nèi)造成第一流體流動模式。在方框1004處，方法以調(diào)整第一頻次和第二頻次中的至少一個以將第一流體流動模式改變?yōu)榈诙黧w流動模式繼續(xù)。返回參見方框1002，在一些示例中，以一頻次觸發(fā)慣性泵包括在慣性泵的每個觸發(fā)之間實(shí)施時間延遲，以使由該觸發(fā)產(chǎn)生的泵送事件能夠在如方框1006所示的后續(xù)觸發(fā)被發(fā)起之前完成。如方框1008所示，在一些示例中，觸發(fā)第一慣性泵造成第一流體流動，并且觸發(fā)第二慣性泵造成第二流體流動以對抗第一流體流動。在該情況的一些示例中，如方框1010所示，第二流體流動使第一流體流動停止流動通過第二慣性泵所在的流體通道。在其它示例中，如方框1012所示，第二流體流動使流動通過第二慣性泵所在的流體通道的第一流體流動的量減小。

現(xiàn)在參見圖11的流程圖，有關(guān)控制微流體閥100的示例性方法在方框1102處開始，以第一觸發(fā)頻次觸發(fā)第一慣性泵，從而在第一流體通道中生成第一流體流動，其中第一流體流動在至少第二流體通道和第三流體通道之中被分配。方法1100在方框1104處繼續(xù)，以第二觸發(fā)頻次觸發(fā)第二流體通道中的第二慣性泵，從而生成對抗在第二流體通道內(nèi)流動的第一流體流動的被分配部分的第二流體流動，其中第二流體流動在至少第一流體通道和第三流體通道之中被分配。在一些示例中，如方框1106處所示，第二流體流動阻擋第一流體流動的被分配部分流動通過第二流體通道。如方框1108處所示，在一些示例中，微流體閥內(nèi)的凈流體流動包括流動通過第三流體通道的第一流體流動的被分配部分和第二流體流動的被分配部分的總和。如方框1110處所示，在一些示例中，微流體閥內(nèi)的凈流體流動包括來自第一流體通道并通過第三流體通道的流體流動。