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半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物和使用該組合物的半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號(hào):12041023閱讀:677來(lái)源:國(guó)知局
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,該環(huán)氧樹(shù)脂組合物具有優(yōu)異的連續(xù)成型性與在高溫高濕度條件下的優(yōu)異可靠性,該發(fā)明還涉及使用該環(huán)氧樹(shù)脂組合物的半導(dǎo)體裝置。

背景技術(shù):
迄今為止,從保護(hù)半導(dǎo)體元件免受外部環(huán)境因素影響并可操作半導(dǎo)體元件的角度,已通過(guò)應(yīng)用塑料包裝如可熱固化的環(huán)氧樹(shù)脂組合物來(lái)封裝各種半導(dǎo)體元件以制造半導(dǎo)體裝置如晶體管、IC和LSI。對(duì)半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物的重要要求之一是在高溫高濕度條件下的可靠性。也就是說(shuō),高溫或高濕度為環(huán)氧樹(shù)脂組合物中所含的離子雜質(zhì)如氯離子易于起作用提供了良好的環(huán)境。由于該原因,半導(dǎo)體元件上的布線易于被腐蝕,半導(dǎo)體封裝用的常規(guī)環(huán)氧樹(shù)脂組合物在高溫高濕度條件下的可靠性差。該環(huán)氧樹(shù)脂組合物中所含的、引起在高溫高濕度條件下可靠性差的離子雜質(zhì)如氯離子,是在環(huán)氧樹(shù)脂生產(chǎn)過(guò)程中因表鹵代醇而導(dǎo)致酚類的縮水甘油基醚化而形成的。例如,常規(guī)的甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂在溶劑中的溶解度高,因此可通過(guò)水洗進(jìn)行純化。這使得可獲得具有更低氯含量(即更高的純度)的環(huán)氧樹(shù)脂。相反,用于無(wú)機(jī)填料的高度填充的低粘度結(jié)晶環(huán)氧樹(shù)脂在溶劑中的溶解度低,因此難以獲得高純度的環(huán)氧樹(shù)脂(見(jiàn)專利文獻(xiàn)1)。因此,為了捕獲引起高溫高濕度條件下可靠性差的、含于環(huán)氧樹(shù)脂組合物中的該離子雜質(zhì),已建議采用離子清除劑如水滑石化合物、氧化鉍和氧化釔(例如,見(jiàn)專利文獻(xiàn)2、3和4)。專利文獻(xiàn)1:JP-A-2-187420專利文獻(xiàn)2:JP-A-11-240937專利文獻(xiàn)3:JP-A-9-157497專利文獻(xiàn)4:JP-A-9-169830

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
然而,在使用上述離子清除劑的情況下,該離子清除劑的使用引起了新的問(wèn)題,即對(duì)連續(xù)成型性具有不利影響,例如發(fā)生作為封裝材料的該環(huán)氧樹(shù)脂組合物粘連至模具或者在形成的包裝的表面上出現(xiàn)玷污。鑒于該情況作出了本發(fā)明,本發(fā)明的目的是提供半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物以及使用該環(huán)氧樹(shù)脂組合物的半導(dǎo)體裝置,該環(huán)氧樹(shù)脂組合物不僅具有在高溫高濕度條件下的優(yōu)異可靠性,而且也具有優(yōu)異的連續(xù)成型性。也就是說(shuō),本發(fā)明涉及如下的項(xiàng)1至項(xiàng)7。1.一種半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,包含如下成分(A)至(F):(A)環(huán)氧樹(shù)脂;(B)酚醛樹(shù)脂;(C)固化促進(jìn)劑;(D)無(wú)機(jī)填料;(E)水滑石化合物;和(F)含羧基的蠟,該蠟具有10至100mgKOH/g的酸值。2.根據(jù)項(xiàng)1所述的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,其中作為成分(A)的該環(huán)氧樹(shù)脂是具有聯(lián)苯基的環(huán)氧樹(shù)脂。3.根據(jù)項(xiàng)1或項(xiàng)2所述的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,其中作為成分(E)的所述水滑石化合物是以如下通式(1)表示的化合物:[L2+1-xQ3+x(OH)2]x+[(An-)x/n·mH2O]x-(1)其中L是二價(jià)金屬離子,Q是三價(jià)金屬離子,An-是n價(jià)陰離子,x滿足0.2≤x≤0.33,且m滿足0≤m≤3.5。4.根據(jù)項(xiàng)1至項(xiàng)3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,其中作為成分(F)的該蠟是氧化聚乙烯和長(zhǎng)鏈脂族酸的混合物。5.根據(jù)項(xiàng)1至項(xiàng)4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,其中成分(E)的含量是全體環(huán)氧樹(shù)脂組合物的0.02至2.0重量%。6.根據(jù)項(xiàng)1至項(xiàng)5中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,其中成分(F)的含量是全體環(huán)氧樹(shù)脂組合物的0.02至2.0重量%。7.一種半導(dǎo)體裝置,包含利用根據(jù)項(xiàng)1至項(xiàng)6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物封裝的半導(dǎo)體元件。為獲得具有在高溫高濕度條件下的優(yōu)異可靠性之外還具有優(yōu)異連續(xù)成型性的半導(dǎo)體封裝用材料,本發(fā)明人已進(jìn)行了深入研究。在研究過(guò)程中,本發(fā)明人就連續(xù)成型性下降的原因進(jìn)行了深入研究。其結(jié)果,本發(fā)明人已確認(rèn),用作離子清除劑的水滑石化合物與作為脫模劑摻入的蠟發(fā)生反應(yīng)從而形成反應(yīng)產(chǎn)物,該反應(yīng)產(chǎn)物導(dǎo)致發(fā)生封裝材料對(duì)模具的粘連或者在包裝的表面上出現(xiàn)玷污?;谠摪l(fā)現(xiàn),開(kāi)展了進(jìn)一步研究。結(jié)果發(fā)現(xiàn),當(dāng)將水滑石化合物(成分(E))用作離子清除劑,并且組合使用具有特定范圍內(nèi)酸值的含羧基蠟作為脫模劑,則由于該蠟的酸值在該特定范圍內(nèi),上述蠟不與所述水滑石化合物反應(yīng),結(jié)果不僅實(shí)現(xiàn)了在高溫高濕度條件下的優(yōu)異可靠性,而且減少了封裝材料對(duì)模具的粘連或者減少了在包裝表面上出現(xiàn)的玷污,從而在連續(xù)成型性方面也表現(xiàn)出優(yōu)異的性能,由此完成了本發(fā)明。如上所述,本發(fā)明提供半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物以及使用該組合物封裝的半導(dǎo)體裝置,該環(huán)氧樹(shù)脂組合物含有與環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))、酚醛樹(shù)脂(成分(B))、固化促進(jìn)劑(成分(C))和無(wú)機(jī)填料(成分(D))組合使用的水滑石化合物(成分(E))和特定的蠟(成分(F))。為此,該環(huán)氧樹(shù)脂組合物不僅具有在高溫高濕度條件下的優(yōu)異可靠性,也具有優(yōu)異的連續(xù)成型性。因此,使用本發(fā)明的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物,可以以高生產(chǎn)率生產(chǎn)具有高可靠性的半導(dǎo)體裝置。此外,當(dāng)將具有聯(lián)苯基的環(huán)氧樹(shù)脂用作該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))時(shí),獲得提高成型性和可靠性的更優(yōu)異效果。而且,當(dāng)將氧化聚乙烯和長(zhǎng)鏈脂族酸的混合物用作該特定的蠟(成分(F))時(shí),對(duì)封裝用樹(shù)脂(固化體)外觀的劣化的抑制作用、即對(duì)包裝表面上出現(xiàn)玷污的抑制作用變得更加有效。具體實(shí)施方式下面將描述用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物(在下文中也縮寫為“環(huán)氧樹(shù)脂組合物”)包含環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))、酚醛樹(shù)脂(成分(B))、固化促進(jìn)劑(成分(C))、無(wú)機(jī)填料(成分(D))、水滑石化合物(成分(E))和特定的蠟(成分(F)),且一般具有粉末形態(tài)、顆粒形態(tài)或通過(guò)粉末壓片獲得的片狀形態(tài)。<A:環(huán)氧樹(shù)脂>可將各種環(huán)氧樹(shù)脂用作該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))。該環(huán)氧樹(shù)脂的例子包括雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂和三苯基甲烷型環(huán)氧樹(shù)脂。這些環(huán)氧樹(shù)脂可單獨(dú)使用,或者以兩種以上組合使用。其中,從可靠性和成型性的觀點(diǎn)來(lái)看,優(yōu)選使用聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂或者其中將低級(jí)烷基加成至苯基環(huán)所得的低吸濕型環(huán)氧樹(shù)脂。作為這樣的環(huán)氧樹(shù)脂,優(yōu)選具有150至250的環(huán)氧當(dāng)量和50至130℃的軟化點(diǎn)或熔點(diǎn)的環(huán)氧樹(shù)脂。<B:酚醛樹(shù)脂>與環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))組合使用的該酚醛樹(shù)脂(成分(B))起到該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))的固化劑的作用,并且是指一個(gè)分子中具有兩個(gè)以上酚類羥基的所有單體、低聚物和聚合物。該酚醛樹(shù)脂的例子包括苯酚酚醛清漆樹(shù)脂、甲酚酚醛清漆樹(shù)脂、聯(lián)苯型酚醛清漆樹(shù)脂、三苯基甲烷型酚醛樹(shù)脂、萘酚酚醛清漆樹(shù)脂、苯酚芳烷基樹(shù)脂(phenolaralkylresins)和聯(lián)苯芳烷基樹(shù)脂(biphenylaralkylresins)。這些酚醛樹(shù)脂可單獨(dú)使用,或者以兩種以上組合使用。優(yōu)選以足以固化該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))的比例將該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))與該酚醛樹(shù)脂(成分(B))共混。具體地,所述比例使得相對(duì)于該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))中1當(dāng)量的環(huán)氧基團(tuán),該酚醛樹(shù)脂(成分(B))中全部羥基的當(dāng)量為0.6至1.2、更優(yōu)選為0.7至1.0。<C:固化促進(jìn)劑>可將具有固化促進(jìn)作用的各種化合物用作與該環(huán)氧樹(shù)脂(成分(A))和該酚醛樹(shù)脂(成分(B))組合使用的該固化促進(jìn)劑(成分(C)),該固化促進(jìn)劑的例子包括磷化合物、基于胺的固化促進(jìn)劑、季銨鹽、咪唑類和硼化合物。這些固化促進(jìn)劑可單獨(dú)使用,或者以兩種以上的組合使用。該磷化合物的具體例子包括膦化合物,例如有機(jī)膦如三苯基膦、二苯基(對(duì)甲苯基)膦、三(烷基苯基)膦、三(烷氧基苯基)膦、三(烷基烷氧基苯基)膦、三(二烷基苯基)膦、三(三烷基苯基)膦、三(四烷基苯基)膦、三(二烷氧基苯基)膦、三(三烷氧基苯基)膦、三(四烷氧基苯基)膦、三烷基膦、二烷基芳基膦和烷基二芳基膦;這些膦化合物和有機(jī)硼的絡(luò)合物;通過(guò)向這些膦化合物中加成馬來(lái)酸酐,醌化合物如1,4-苯醌、2,5-甲苯醌、1,4-萘醌、2,3-二甲基苯醌、2,6-二甲基苯醌、2,3-二甲氧基-5-甲基-1,4-苯醌、2,3-二甲氧基-1,4-苯醌和苯基-1,4-苯醌,或者具有一個(gè)以上π鍵的化合物如重氮苯基甲烷,從而得到的具有分子內(nèi)極化的化合物;通過(guò)使這些膦化合物與鹵代酚化合物反應(yīng)、然后進(jìn)行脫氫鹵化而得到的具有分子內(nèi)極化的化合物,其中該鹵代酚化合物例如4-溴苯酚、3-溴苯酚、2-溴苯酚、4-氯苯酚、3-氯苯酚、2-氯苯酚、4-碘苯酚、3-碘苯酚、2-碘苯酚、4-溴-2-甲基苯酚、4-溴-3-甲基苯酚、4-溴-2,6-二甲基苯酚、4-溴-3,5-二甲基苯酚、4-溴-2,6-二叔丁基苯酚、4-氯-1-萘酚、1-溴-2-萘酚、6-溴-2-萘酚和4-溴-4'-羥基聯(lián)苯;和四取代的鏻鹽,例如四苯基硼酸四苯基鏻、四對(duì)甲苯基硼酸四苯基鏻、硫氰酸四苯基鏻、四苯基鏻二氰胺、乙酸四苯基鏻、四氟硼酸四苯基鏻、六氟銻酸四苯基鏻、四對(duì)甲苯基硼酸對(duì)甲苯基三苯基鏻、四苯基硼酸四對(duì)甲苯基鏻、四苯基硼酸四對(duì)叔丁基苯基鏻和四苯基硼酸四對(duì)甲氧基苯基鏻。基于胺的固化促進(jìn)劑的具體例子包括二氮雜雙環(huán)烯烴如1,5-二氮雜雙環(huán)[4.3.0]壬-5-烷和1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳-7-烯的環(huán)脒化合物;其衍生物;其環(huán)脒鹽、例如其苯酚酚醛清漆鹽;通過(guò)向這些胺化合物中加成馬來(lái)酸酐,醌化合物如1,4-苯醌、2,5-甲苯醌、1,4-萘醌、2,3-二甲基苯醌、2,6-二甲基苯醌、2,3-二甲氧基-5-甲基-1,4-苯醌、2,3-二甲氧基-1,4-苯醌和苯基-1,4-苯醌,或具有一個(gè)以上π鍵的化合物如重氮苯基甲烷,從而得到的具有分子內(nèi)極化的化合物;叔胺,例如吡啶、三乙胺、三亞乙基二胺、芐基甲胺、三乙醇胺、二甲氨基乙醇和三(二甲基氨基甲基)苯酚;及其衍生物。該咪唑類的例子包括2-甲基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、2-苯基-4-甲基-5-羥甲基咪唑和2-十七烷基咪唑。這些各種固化促進(jìn)劑可單獨(dú)使用,或者以兩種以上的組合使用?;谠摲尤?shù)脂(成分(B))的重量,該固化促進(jìn)劑(成分(C))的含量?jī)?yōu)選設(shè)定為1.0至12.0重量%,更優(yōu)選設(shè)定為3.0至10.0重量%。<D:無(wú)機(jī)填料>作為與成分(A)至(C)組合使用的無(wú)機(jī)填料(成分(D)),可使用各種填料。該無(wú)機(jī)填料的例子包括二氧化硅粉末如熔融二氧化硅粉末和結(jié)晶二氧化硅粉末,氧化鋁粉末,和滑石粉末。這些無(wú)機(jī)填料可以以任意形式如壓碎形式、球形式和磨碎形式使用。這些無(wú)機(jī)填料可單獨(dú)使用,或者以兩種以上的組合使用。尤其是,優(yōu)選使用二氧化硅粉末,原因在于可降低所獲得固化產(chǎn)物的線性膨脹系數(shù)。在二氧化硅粉末中,考慮到球形熔融二氧化硅粉末的高填充能力和高流動(dòng)性,特別優(yōu)選使用球形熔融二氧化硅粉末。而且,考慮到提高的流動(dòng)性,優(yōu)選使用具有5至40μm的平均粒徑的無(wú)機(jī)填料(成分(D))。該無(wú)機(jī)填料(成分(D))的平均粒徑可通過(guò)例如從總體中隨機(jī)取出測(cè)量樣品并采用市售的激光衍射/散射粒度分布分析儀來(lái)測(cè)得。此外,該無(wú)機(jī)填料(成分(D))的含量?jī)?yōu)選設(shè)定為全體環(huán)氧樹(shù)脂組合物的70至95重量%并特別優(yōu)選為85至92重量%。也就是說(shuō),當(dāng)無(wú)機(jī)填料(成分(D))的含量過(guò)小時(shí),該環(huán)氧樹(shù)脂組合物的粘度過(guò)度降低,從而傾向于引起成型中的外觀不良(出現(xiàn)空隙)。同時(shí),當(dāng)無(wú)機(jī)填料(成分(D))的含量過(guò)大時(shí),該環(huán)氧樹(shù)脂組合物的流動(dòng)性下降,從而傾向于引起布線流動(dòng)(flowofwires)和不完全填充。<E:水滑石化合物>與成分(A)至(D)組合使用的水滑石化合物(成分(E))具有離子清除器的作用。該水滑石化合物包含例如以如下通式(1)表示的水滑石化合物:[L2+1-xQ3+x(OH)2]x+[(An-)x/n·mH2O]x-(1)其中L是二價(jià)金屬離子,Q是三價(jià)金屬離子,An-是n價(jià)陰離子,x滿足0.2≤x≤0.33,且m滿足0≤m≤3.5。在上述通式(1)中,L是二價(jià)金屬離子,其具體例子包括Mg2+、Fe2+、Zn2+、Ca2+、Ni2+、Co2+和Cu2+。此外,Q是三價(jià)金屬離子,其具體例子包括Al3+、Fe3+和Mn3+。此外,An-是n價(jià)陰離子,其具體例子包括OH-、SO42-、CO32-和NO3-。以上述通式(1)表示的該水滑石化合物表現(xiàn)出高的吸附能力,并對(duì)在高溫高濕度條件下降低可靠性的氯離子具有高吸附能力。因此,水滑石化合物有助于與其共混量成比例地提高在高溫高濕度條件下的可靠性。然而,當(dāng)該水滑石化合物的共混量過(guò)度增加時(shí),連續(xù)成型性降低。鑒于這一特性,該水滑石化合物的共混量?jī)?yōu)選被設(shè)定為全體環(huán)氧樹(shù)脂組合物的0.02至2.0重量%、更優(yōu)選被設(shè)定為0.05至0.5重量%。而且,為減少被吸附的水并提高離子交換能力,可使用通過(guò)在高溫下(例如在約500℃)灼燒以上述通式(1)表示的水滑石化合物而獲得的產(chǎn)物。從經(jīng)濟(jì)效率和易獲得性的觀點(diǎn)來(lái)看,該水滑石化合物優(yōu)選為其中通式(1)中的L是Mg2+、Q是Al3+且An-為CO32-的化合物。滿足該通式(1)的水滑石化合物的具體例子包括日本協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(KyowaChemicalIndustryCo.,Ltd.)生產(chǎn)的DHT-4A、DHT-4A-2、DHT-4C和DHT-4H與東亞合成株式會(huì)社(ToagoseiCo.,Ltd.)生產(chǎn)的IXE-700F。<F:特定的蠟>與成分(A)至(E)組合使用的該特定的蠟(成分(F))是含羧基的蠟,該蠟具有10至100mgKOH/g的酸值,可使用例如具有上述特定酸值的基于氧化聚乙烯的蠟或長(zhǎng)鏈脂族酸。該蠟可單獨(dú)使用,或者以兩種以上組合使用。用于本發(fā)明的含羧基的蠟一般具有含羧基的極性基團(tuán)和含長(zhǎng)碳鏈的非極性基團(tuán),從而所述極性基團(tuán)被定向在樹(shù)脂固化產(chǎn)物側(cè),相反所述非極性基團(tuán)被定向在成型模具側(cè),由此發(fā)揮脫模劑的作用。用于本發(fā)明的具有特定酸值的基于氧化聚乙烯的蠟,可以是任何基于氧化聚乙烯的蠟、只要滿足上述酸值即可,其例子包括通過(guò)低壓聚合法生產(chǎn)的氧化聚乙烯、通過(guò)高壓聚合法生產(chǎn)的氧化聚乙烯、和氧化的高密度聚乙烯聚合物。這些基于氧化聚乙烯的蠟可單獨(dú)使用,或者以兩種以上的組合使用。尤其是,考慮到脫模性,優(yōu)選使用高密度聚乙烯聚合物的氧化物。其具體例子包括日本科萊恩株式會(huì)社(Clariant(Japan)K.K.)生產(chǎn)的LicowaxPED136、153和521。用于本發(fā)明的長(zhǎng)鏈脂族酸的例子包括具有16個(gè)碳原子的十六烷酸(即棕櫚酸)、具有17個(gè)碳原子的十七烷酸(即珍珠酸)、具有18個(gè)碳原子的十八烷酸(即硬脂酸)、具有20個(gè)碳原子的二十烷酸(即花生酸)、具有22個(gè)碳原子的廿二烷酸(即山崳酸)、具有24個(gè)碳原子的二十四烷酸(即廿四酸)、具有26個(gè)碳原子的二十六烷酸(即蠟酸)、具有27個(gè)碳原子的二十七酸(即廿七酸)、具有28個(gè)碳原子的二十八酸(即廿八酸)、具有30個(gè)碳原子的三十烷酸(即蜂花酸)、具有32個(gè)碳原子的三十二烷酸(即萊斯瑞酸(laceroicacid))、具有33個(gè)碳原子的三十三烷酸(即醋蜜酸或普銳斯酸(pricinicacid))、具有34個(gè)碳原子的三十四烷酸(即格地酸)和具有35個(gè)碳原子的三十五烷酸(即蠟塑酸)。這些脂族酸可單獨(dú)使用,或者以兩種以上的組合使用。尤其是,就滲出性的觀點(diǎn)來(lái)看,優(yōu)選使用具有30個(gè)以上碳原子的羧酸。其具體例子包括貝克休斯公司(BakerHughesIncorporated)生產(chǎn)的Unicid700和550。用于本發(fā)明的具有特定酸值的含羧基的蠟(成分(F))的滴點(diǎn)(droppoint)優(yōu)選為100至140℃,更優(yōu)選為110至130℃??刹捎酶鶕?jù)ASTMD127(2004)的方法測(cè)定該滴點(diǎn)。具體地,滴點(diǎn)被測(cè)量為在熔化的蠟從金屬嘴(metallicnipple)第一次滴落時(shí)的溫度。在下文中,可通過(guò)同樣的方法測(cè)量所述滴點(diǎn)。并且,當(dāng)該蠟(成分(F))的滴點(diǎn)在上述范圍以內(nèi)時(shí),該具有特定酸值的含羧基的蠟(成分(F))具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和優(yōu)異的連續(xù)成型性。并且,當(dāng)該滴點(diǎn)在上述范圍以內(nèi)時(shí),在將該環(huán)氧樹(shù)脂組合物固化的情況下,該基于聚乙烯的蠟完全熔化,由此使得該具有特定酸值的含羧基的蠟(成分(F))幾乎均勻地分散在樹(shù)脂固化產(chǎn)物中。由此,抑制了該具有特定酸值的含羧基的蠟(成分(F))在該樹(shù)脂固化產(chǎn)物表面上的偏析,從而可減少模具上的玷污或者對(duì)模具的粘連。用于本發(fā)明中的具有特定酸值的含羧基的蠟(成分(F))的酸值需要為10至100mgKOH/g,更優(yōu)選為15至80mgKOH/g。該酸值對(duì)于與樹(shù)脂固化產(chǎn)物的相容性具有影響。在該酸值太小的情況下,由于玷污從而降低了連續(xù)成型性,然而在該酸值太大的情況下,不僅出現(xiàn)玷污,而且該蠟與上述水滑石化合物(成分(E))發(fā)生反應(yīng)從而導(dǎo)致可靠性降低。順便提及,該酸值被測(cè)定并表示為中和在1g蠟中所含游離脂族酸所需要的氫氧化鉀(KOH)的毫克(mg)數(shù)。從抑制樹(shù)脂固化產(chǎn)物外觀劣化(形成玷污)的觀點(diǎn)來(lái)看,在用于本發(fā)明的該特定的蠟(成分(F))中,優(yōu)選組合使用基于氧化聚乙烯的蠟和長(zhǎng)鏈脂族酸。在該情況下,該組合使用的基于氧化聚乙烯的蠟和長(zhǎng)鏈脂族酸的比例(基于氧化聚乙烯的蠟/長(zhǎng)鏈脂族酸)被設(shè)定為以重量比計(jì)優(yōu)選1/9至9/1、更優(yōu)選3/7至7/3。該特定的蠟(成分(F))的含量?jī)?yōu)選為全體環(huán)氧樹(shù)脂組合物的0.02至2.0重量%,更優(yōu)選為0.1至1.0重量%,并特別優(yōu)選為0.1至0.5重量%。<其它的各種添加劑>在根據(jù)本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物中,除了成分(A)至(F)外,如果需要可合適地引入各種添加劑,例如硅烷偶聯(lián)劑、阻燃劑、阻燃助劑、應(yīng)力降低劑、顏料如炭黑、著色劑和增粘劑。在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi),合適地設(shè)定這些各種添加劑的引入量。作為硅烷偶聯(lián)劑,可合適地使用例如具有兩個(gè)以上烷氧基的硅烷偶聯(lián)劑。其具體例子包括3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、γ-縮水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-巰基丙基三甲氧基硅烷、γ-(2-氨乙基)氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-巰基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-苯氨基丙基三甲氧基硅烷和六甲基二硅氮烷。這些硅烷偶合劑可單獨(dú)使用,或者以兩種以上的組合使用。阻燃劑的例子包括酚醛清漆型溴化環(huán)氧樹(shù)脂和金屬氫氧化物如氫氧化鎂。作為阻燃劑助劑,可使用例如三氧化二銻或五氧化二銻。這些阻燃劑助劑可單獨(dú)使用,或者以兩種以上組合使用。應(yīng)力降低劑的例子包括丁二烯橡膠如丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物和(甲基)丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物,以及聚硅氧烷化合物。這些應(yīng)力降低劑可單獨(dú)使用,或者以兩種以上組合使用。可例如通過(guò)以下的工序來(lái)生產(chǎn)根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物。也就是說(shuō),通過(guò)常規(guī)方法合適地共混上述成分(A)至(F)和任選的一種以上其它添加劑,并利用捏合機(jī)如混合輥在加熱狀態(tài)進(jìn)行熔融捏合。隨后,通過(guò)在室溫下冷卻將該捏合的混合物固化,之后通過(guò)已知手段粉碎,然后根據(jù)需要壓片。通過(guò)這一系列步驟,可生產(chǎn)出期望的環(huán)氧樹(shù)脂組合物。<半導(dǎo)體裝置>對(duì)利用由此得到的環(huán)氧樹(shù)脂組合物封裝半導(dǎo)體元件的方法沒(méi)有特別限制,可通過(guò)已知的成型方法如普通的傳遞成型來(lái)實(shí)施以獲得半導(dǎo)體裝置。也可將未經(jīng)歷壓片工序、而是被粉碎成顆粒狀態(tài)的粉末應(yīng)用于壓縮成型方法。由此獲得的半導(dǎo)體裝置包括諸如IC和LSI的半導(dǎo)體裝置。實(shí)施例下面將結(jié)合比較例來(lái)描述實(shí)施例。然而,本發(fā)明不應(yīng)受限于這些實(shí)施例。首先,準(zhǔn)備如下的各成分。[環(huán)氧樹(shù)脂]聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂(日本環(huán)氧樹(shù)脂株式會(huì)社(JapanEpoxyResinCo.,Ltd.)生產(chǎn),YX-4000,環(huán)氧當(dāng)量:192,熔點(diǎn):105℃)[酚醛樹(shù)脂]聯(lián)苯芳烷基型酚醛樹(shù)脂(明和化成株式會(huì)社(MeiwaPlasticIndustries,Ltd.)生產(chǎn),MH7851SS,羥基當(dāng)量:203,軟化點(diǎn):65℃)[固化促進(jìn)劑]四國(guó)化成株式會(huì)社(ShikokuChemicalsCorporation)生產(chǎn)的2-苯基-4-甲基-5-羥基甲基咪唑[無(wú)機(jī)填料]球形熔融二氧化硅粉末(平均粒徑:13μm)[顏料]炭黑[阻燃劑]氫氧化鎂[硅烷偶聯(lián)劑]3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷[水滑石化合物e1]DHT-4A(協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(KyowaChemicalIndustryCo.,Ltd.)生產(chǎn))[水滑石化合物e2]DHT-4A-2(協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(KyowaChemicalIndustryCo.,Ltd.)生產(chǎn))[水滑石化合物e3]DHT-4C(協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(KyowaChemicalIndustryCo.,Ltd.)生產(chǎn))[水滑石化合物e4]DHT-4H(協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(KyowaChemicalIndustryCo.,Ltd.)生產(chǎn))[水滑石化合物e5]IXE-700F(東亞合成株式會(huì)社(ToagoseiCo.,Ltd.)生產(chǎn))[蠟f1](實(shí)施例)長(zhǎng)鏈脂族酸(貝克休斯公司(BakerHughesIncorporated.)生產(chǎn),Unicid700(滴點(diǎn):110℃,酸值:63mgKOH/g))[蠟f2](實(shí)施例)長(zhǎng)鏈脂族酸(貝克休斯公司(BakerHughesIncorporated.)生產(chǎn),Unicid550(滴點(diǎn):101℃,酸值:79mgKOH/g))[蠟f3](實(shí)施例)氧化聚乙烯蠟(日本科萊恩株式會(huì)社(Clariant(Japan)K.K.)生產(chǎn),LicowaxPED136,(滴點(diǎn):111℃,酸值:60mgKOH/g))[蠟f4](實(shí)施例)氧化聚乙烯蠟(日本科萊恩株式會(huì)社(Clariant(Japan)K.K.)生產(chǎn),LicowaxPED153,(滴點(diǎn):120℃,酸值:25mgKOH/g))[蠟f5](實(shí)施例)氧化聚乙烯蠟(日本科萊恩株式會(huì)社(Clariant(Japan)K.K.)生產(chǎn),LicowaxPED521,(滴點(diǎn):105℃,酸值:17mgKOH/g))[蠟f6](比較例)長(zhǎng)鏈脂族酸(貝克休斯公司(BakerHughesIncorporated.)生產(chǎn),Unicid350(滴點(diǎn):92℃,酸值:120mgKOH/g))[蠟f7](比較例)氧化聚乙烯蠟(東洋石油株式會(huì)社(ToyoPetroliteCo.,Ltd.)生產(chǎn),PetroliteC-8500(滴點(diǎn):95℃,酸值:9mgKOH/g))[蠟f8](比較例)飽和醇(貝克休斯公司(BakerHughesIncorporated.)生產(chǎn),Unilin700(滴點(diǎn):105℃,酸值:0mgKOH/g))[蠟f9](比較例)聚乙烯蠟(日本科萊恩株式會(huì)社(Clariant(Japan)K.K.)生產(chǎn),LicowaxPE520,(滴點(diǎn):120℃,酸值:0mgKOH/g))[實(shí)施例1至15和比較例1至4]將下文表1至3中所示的各成分以顯示于同一表格中的比例進(jìn)行共混,并采用雙螺桿捏合機(jī)在100℃下熔融捏合兩分鐘。然后,將熔融物冷卻,其后粉碎而獲得期望的粉末狀環(huán)氧樹(shù)脂組合物。采用由此獲得的實(shí)施例和比較例的各環(huán)氧樹(shù)脂組合物,通過(guò)如下方法測(cè)量該組合物的膠凝時(shí)間。另外,采用各環(huán)氧樹(shù)脂組合物,根據(jù)如下方法評(píng)價(jià)該組合物的連續(xù)成型性。此外,通過(guò)如下方法評(píng)價(jià)各環(huán)氧樹(shù)脂組合物在高溫高濕度條件下的可靠性。此外,還評(píng)價(jià)了在上述連續(xù)成型性評(píng)價(jià)中的包裝玷污。該結(jié)果示于下文表1至3中。<膠凝時(shí)間>將約0.1至0.5g環(huán)氧樹(shù)脂組合物放置于175℃的熱平板上,在用具有1.5mm直徑的玻璃棒進(jìn)行攪拌的同時(shí)熔化該組合物。將直到觀察不到樹(shù)脂拉絲(resincobwebbing)的時(shí)間作為膠凝時(shí)間(秒)??紤]到可固化性,60秒以下的膠凝時(shí)間通常是適宜的。[連續(xù)成型性]預(yù)先清洗成型模具。通過(guò)傳遞成型(成型溫度:175℃,成型時(shí)間:90秒),采用在實(shí)施例和比較例中獲得的各環(huán)氧樹(shù)脂組合物對(duì)包裝進(jìn)行封裝,并重復(fù)該工序。計(jì)算直到環(huán)氧樹(shù)脂組合物粘連至成型模具(粘連)時(shí)的成型次數(shù)(moldingshotnumber)。然后,將其中發(fā)生粘連時(shí)的成型次數(shù)定義為停止時(shí)的次數(shù)(stopshot),記載該停止時(shí)的次數(shù)。順便提及,上述包裝包括球柵陣列(BGA)襯底(35mm×35mm×厚度0.5mm)和安裝在該襯底上的半導(dǎo)體元件(10mm×10mm×厚度0.3mm)。[高溫高濕度條件下的可靠性]在如上述制造的半導(dǎo)體裝置上,在130℃和85%RH的環(huán)境下進(jìn)行HAST試驗(yàn)(不飽和加壓蒸汽試驗(yàn):無(wú)偏壓)。測(cè)量該HAST試驗(yàn)后的電阻值。當(dāng)該電阻值增加10%以上時(shí),將該半導(dǎo)體裝置判定為不良(斷線(disconnected))。在HAST試驗(yàn)期間發(fā)生斷線的時(shí)間被描述為在高溫高濕度條件下的可靠性的使用期限(小時(shí))。[包裝玷污]在上述連續(xù)成型性評(píng)價(jià)中,對(duì)直至在包裝表面上目視確認(rèn)玷污時(shí)的成型次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)并記載。[表1](重量份)[表2](重量份)[表3](重量份)上述結(jié)果顯示,實(shí)施例的所有環(huán)氧樹(shù)脂組合物的膠凝時(shí)間都是適宜的,且還獲得了對(duì)連續(xù)成型性和在高溫高濕度條件下的可靠性的優(yōu)異評(píng)價(jià)結(jié)果,這顯示出獲得了在實(shí)用上也優(yōu)異的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物。特別是,在其中組合使用氧化聚乙烯蠟和長(zhǎng)鏈脂族酸作為蠟成分的實(shí)施例6和7中,不僅環(huán)氧樹(shù)脂組合物在高溫高濕度條件下的可靠性優(yōu)異,而且對(duì)連續(xù)成型性和包裝玷污評(píng)價(jià)也獲得了極其優(yōu)異的結(jié)果。相反,使用具有偏離特定范圍的過(guò)小或過(guò)大酸值的蠟的比較例環(huán)氧樹(shù)脂組合物,在連續(xù)成型性和包裝玷污評(píng)價(jià)中明顯不佳。因此很顯然,沒(méi)有獲得具有優(yōu)異連續(xù)成型性和在高溫高濕度條件下優(yōu)異可靠性的環(huán)氧樹(shù)脂組合物。雖然已經(jīng)參考具體實(shí)施方式詳細(xì)描述了本發(fā)明,但對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言很顯然的是,在不離開(kāi)本發(fā)明的思想和范圍的情況下能夠?qū)Ρ景l(fā)明做出各種改變和修正。順便提及,本申請(qǐng)基于2011年11月18日提交的2011-252847號(hào)日本專利申請(qǐng),該申請(qǐng)的內(nèi)容作為參考引入本申請(qǐng)中。本申請(qǐng)引用的所有文獻(xiàn)作為參考整體引入本申請(qǐng)中。根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹(shù)脂組合物表現(xiàn)出優(yōu)異的連續(xù)成型性和在高溫高濕度條件下的優(yōu)異可靠性,可用作各種半導(dǎo)體裝置中的封裝用材料。
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