技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐的石墨坩堝座，石墨坩堝座內(nèi)設(shè)有坩堝安裝面，其特征在于：石墨坩堝座由四瓣結(jié)構(gòu)相同的基本單元組裝拼接后形成周邊閉合的桶形結(jié)構(gòu)，相鄰基本單元的結(jié)合部為安裝貼合面，拼裝后的桶形結(jié)構(gòu)的桶底的內(nèi)壁坩堝安裝面，桶底的外壁為承重面，桶底承重面的外緣設(shè)有環(huán)形定位堰，環(huán)形定位堰的內(nèi)壁上設(shè)有止動(dòng)槽，環(huán)形定位堰到桶壁之間通過倒錐形的輔助支撐面過渡連接，桶壁的外壁面周邊設(shè)有起吊口。

技術(shù)研發(fā)人員：潘清躍;姜宏偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京晶能半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號(hào)碼：201720396622
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.14
技術(shù)公布日：2017.11.14