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用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐的石墨坩堝座的制作方法

文檔序號(hào):12920308閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐的石墨坩堝座,石墨坩堝座內(nèi)設(shè)有坩堝安裝面,其特征在于:石墨坩堝座由四瓣結(jié)構(gòu)相同的基本單元組裝拼接后形成周邊閉合的桶形結(jié)構(gòu),相鄰基本單元的結(jié)合部為安裝貼合面,拼裝后的桶形結(jié)構(gòu)的桶底的內(nèi)壁坩堝安裝面,桶底的外壁為承重面,桶底承重面的外緣設(shè)有環(huán)形定位堰,環(huán)形定位堰的內(nèi)壁上設(shè)有止動(dòng)槽,環(huán)形定位堰到桶壁之間通過(guò)倒錐形的輔助支撐面過(guò)渡連接,桶壁的外壁面周邊設(shè)有起吊口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐的石墨坩堝座,其特征在于:每個(gè)基本單元均含有一個(gè)止動(dòng)槽和兩個(gè)起吊口,起吊口對(duì)稱設(shè)在桶壁對(duì)稱線兩側(cè)的外壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐的石墨坩堝座,其特征在于:所述的石墨坩堝座配有與基座,基座的內(nèi)壁與拼裝后桶形結(jié)構(gòu)的桶底承重面和輔助支撐面匹配,基座中設(shè)有與所述止動(dòng)槽對(duì)應(yīng)的止動(dòng)銷。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐的石墨坩堝座,其特征在于:所述的四瓣結(jié)構(gòu)相同的基本單元均采用高強(qiáng)度等靜壓石墨制作,零件加工完成后須經(jīng)高溫純化處理,其純度要求為5 ppm。

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