技術(shù)總結(jié)
本實用新型提出了單晶爐智能監(jiān)控裝置，包括控制器、報警器、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器、爐內(nèi)溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護氣體流量計和保護氣體流速計，控制器分別與報警器、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器、爐內(nèi)溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護氣體流量計和保護氣體流速計電性連接。本實用新型能監(jiān)測提升軸的轉(zhuǎn)速和提升速度，監(jiān)測坩堝頂升軸的轉(zhuǎn)速和提升速度，監(jiān)測爐內(nèi)和爐外壁的溫度，監(jiān)測保護氣體流量和流速。

技術(shù)研發(fā)人員：林志高
受保護的技術(shù)使用者：福建鑫磊晶體有限公司
文檔號碼：201720061246
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.18
技術(shù)公布日：2017.08.15