本實用新型涉及單晶爐領(lǐng)域，特別涉及單晶爐智能監(jiān)控裝置。

背景技術(shù)：

21世紀(jì)，世界能源危機促進(jìn)了光伏市場的發(fā)展，晶體硅太陽能電池是光伏行業(yè)的主導(dǎo)產(chǎn)品。隨著世界各國對太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步重視，特別是發(fā)達(dá)國家制定了一系列的扶持政策，鼓勵開發(fā)利用太陽能，另外，隨著硅太陽能電池應(yīng)用面的不斷擴大，太陽能電池的需求量越來越大，硅單晶材料的需求量也就越來越大。

現(xiàn)有硅單晶主要采用單晶爐生產(chǎn)。單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。

單晶直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉(zhuǎn)速，坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速，保護(hù)氣體的流速等因素的影響。而一但溫度、提拉速度與轉(zhuǎn)速、坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速和保護(hù)氣體的流速發(fā)生變化，就會導(dǎo)致生產(chǎn)出來的產(chǎn)品不合格。而現(xiàn)在卻沒有監(jiān)控上述各項數(shù)據(jù)的監(jiān)控裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提出了單晶爐智能監(jiān)控裝置，解決了現(xiàn)有單晶爐沒有監(jiān)控溫度、提拉速度與轉(zhuǎn)速、坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速及保護(hù)氣體流速裝置的缺陷。

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：

單晶爐智能監(jiān)控裝置，包括控制器、報警器、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器、爐內(nèi)溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護(hù)氣體流量計和保護(hù)氣體流速計，控制器分別與報警器、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器、爐內(nèi)溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護(hù)氣體流量計和保護(hù)氣體流速計電性連接。

進(jìn)一步，還包括出氣流量計，出氣流量計與所述控制器電性連接。

進(jìn)一步，所述報警器包括警報燈和警報喇叭。

本實用新型的有益效果：本實用新型提升軸轉(zhuǎn)速傳感器能監(jiān)測提升軸的轉(zhuǎn)速，并通過控制器換算成提升速度；坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器能監(jiān)測坩堝頂升軸的轉(zhuǎn)速，并通過控制器換算成頂升速度；爐內(nèi)溫度傳感器和爐外溫度傳感器可以監(jiān)測爐內(nèi)和爐外壁的溫度；保護(hù)氣體流量計和保護(hù)氣體流速計分別監(jiān)測保護(hù)氣體流量和流速；出氣流量計能監(jiān)測排出氣體的流量；一旦上述幾個數(shù)據(jù)與控制預(yù)先輸入的數(shù)值不一樣，控制器會通過報警器發(fā)出聲光報警。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型單晶爐智能監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)框圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。

參照圖1，單晶爐智能監(jiān)控裝置，包括控制器1、報警器2、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器3、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器4、爐內(nèi)溫度傳感器5、爐外溫度傳感器6、保護(hù)氣體流量計7和保護(hù)氣體流速計8，控制器1分別與報警器2、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器3、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器4、爐內(nèi)溫度傳感器5、爐外溫度傳感器6、保護(hù)氣體流量計7和保護(hù)氣體流速計8電性連接。

優(yōu)選的，還包括出氣流量計9，出氣流量計9與所述控制器1電性連接。

優(yōu)選的，所述報警器2包括警報燈和警報喇叭。

本實用新型提升軸轉(zhuǎn)速傳感器3能監(jiān)測提升軸的轉(zhuǎn)速，并通過控制器1換算成提升速度；坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器4能監(jiān)測坩堝頂升軸的轉(zhuǎn)速，并通過控制器1換算成頂升速度；爐內(nèi)溫度傳感器5和爐外溫度傳感器6可以監(jiān)測爐內(nèi)和爐外壁的溫度；保護(hù)氣體流量計7和保護(hù)氣體流速計8分別監(jiān)測保護(hù)氣體流量和流速；出氣流量計9能監(jiān)測排出氣體的流量；一旦上述幾個數(shù)據(jù)與控制預(yù)先輸入的數(shù)值不一樣，控制器1會通過報警器2發(fā)出聲光報警。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。