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單晶爐智能監(jiān)控裝置的制作方法

文檔序號:11542477閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.單晶爐智能監(jiān)控裝置,其特征在于:包括控制器、報警器、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器、爐內(nèi)溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護氣體流量計和保護氣體流速計,控制器分別與報警器、提升軸轉(zhuǎn)速傳感器、坩堝頂升軸轉(zhuǎn)速傳感器、爐內(nèi)溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護氣體流量計和保護氣體流速計電性連接。

2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐智能監(jiān)控裝置,其特征在于:還包括出氣流量計,出氣流量計與所述控制器電性連接。

3.如權(quán)利要求1所述的單晶爐智能監(jiān)控裝置,其特征在于:所述報警器包括警報燈和警報喇叭。

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