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坩堝蓋板的制作方法

文檔序號:12883650閱讀:416來源:國知局
坩堝蓋板的制作方法與工藝
本發(fā)明涉及多晶硅鑄錠技術(shù)鄰域,特別涉及一種坩堝蓋板。
背景技術(shù)
:多晶硅鑄錠技術(shù)是一項制備多硅晶體的成熟技術(shù),其通常依賴多晶硅鑄錠爐來進(jìn)行多硅晶體的制備。多晶硅鑄錠爐通常包括爐體及設(shè)于所述爐體內(nèi)的坩堝、蓋板及若干加熱器,坩堝內(nèi)設(shè)有用于生長多晶硅的硅錠,若干加熱器分別布置于坩堝的側(cè)圍及上方,用于形成熱場,蓋板則蓋設(shè)于坩堝的堝口上,用于防止污染物進(jìn)入坩堝內(nèi)而影響硅錠,同時還具有改善硅錠上部的氣流場的作用。現(xiàn)有技術(shù)當(dāng)中,目前使用的坩堝蓋板通常采用石墨板,且在蓋設(shè)于坩堝頂部時,坩堝蓋板只有外緣與坩堝的堝口邊緣抵靠貼合,相當(dāng)于坩堝蓋板的支撐點(diǎn)位于邊緣處,而坩堝蓋板的中部則處于懸空狀態(tài),導(dǎo)致坩堝蓋板在使用一段時間后,極易出現(xiàn)中心下落邊緣翹起的現(xiàn)象,當(dāng)坩堝蓋板邊緣翹起后,極易與側(cè)圍的加熱器接觸而發(fā)生打火現(xiàn)象,故在出現(xiàn)翹起現(xiàn)象時,坩堝蓋板也不能繼續(xù)使用,大大縮減了坩堝蓋板的使用壽命,且石墨板成本高,增大了多晶硅鑄錠的成本。技術(shù)實現(xiàn)要素:基于此,本發(fā)明的目的是提供一種不容易出現(xiàn)邊緣翹起的坩堝蓋板,以提高坩堝蓋板的使用壽命。一種坩堝蓋板,包括兩個子蓋板,所述子蓋板的至少一表面上設(shè)有加固組件,所述加固組件包括平行間隔排布的若干個縱向加強(qiáng)筋及若干個橫向加強(qiáng)筋,所述子蓋板的一側(cè)表面上設(shè)有一缺槽,當(dāng)兩個所述子蓋板相互拼接時,兩個所述缺槽拼接成一圓形通孔。上述坩堝蓋板,由于其通過可相互拼接的兩個所述子蓋板組成,相當(dāng)于將整個所述坩堝蓋板一分為二,并且整個所述坩堝蓋板的重心也將隨之一分為二,一方面降低了單個重心的重量,另一方面則使得所述坩堝蓋板的重心偏離中心區(qū)域,而靠近所述坩堝蓋板的邊緣,當(dāng)兩個所述子蓋板相互拼接后蓋設(shè)于坩堝堝口上時,由于所述子蓋板的重量及重心距支撐點(diǎn)的距離均得到了降低,所述坩堝蓋板將不容易出現(xiàn)中心下落邊緣翹起的現(xiàn)象,大大提高了所述坩堝蓋板的使用壽命。不僅如此,通過設(shè)置所述加固組件,改善了重力的分布,進(jìn)一步防止了所述坩堝蓋板的邊緣翹起。進(jìn)一步地,所述缺槽設(shè)于對應(yīng)的所述子蓋板與另一個所述子蓋板拼接的拼接面上,且所述圓形通孔位于所述坩堝蓋板的中心。進(jìn)一步地,所述縱向加強(qiáng)筋的厚度及寬度均位于2mm-5mm之間,所述縱向加強(qiáng)筋的長度位于700mm-1000mm之間,所述縱向加強(qiáng)筋由陶瓷材料制作而成。進(jìn)一步地,所述橫向加強(qiáng)筋的厚度及寬度均位于2mm-5mm之間,所述橫向加強(qiáng)筋的長度位于300mm-500mm之間,所述橫向加強(qiáng)筋由陶瓷材料制作而成。進(jìn)一步地,每個所述加固組件的所有所述橫向加強(qiáng)筋排布在對應(yīng)的所述縱向加強(qiáng)筋的兩端,所述橫向加強(qiáng)筋靠近對應(yīng)的所述子蓋板的邊緣。進(jìn)一步地,所述子蓋板的內(nèi)部中心鏤空成一空腔。進(jìn)一步地,所述子蓋板包括層疊連接的上層板及下層板,所述上層板及所述下層板用于層疊的表面上分別設(shè)有一收容槽,所述空腔由對應(yīng)的兩個所述收容槽層疊拼接而成。進(jìn)一步地,所述空腔通過輕質(zhì)填充物填充滿,所述輕質(zhì)填充物的密度小于所述子蓋板的密度。進(jìn)一步地,所述縱向加強(qiáng)筋及所述橫向加強(qiáng)筋均通過螺紋連接結(jié)構(gòu)可拆卸的固設(shè)于對應(yīng)的所述子蓋板上。附圖說明圖1為本發(fā)明第一實施例中的坩堝蓋板的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明第一實施例中的坩堝蓋板蓋設(shè)于坩堝上時的截面結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明第二實施例中的子蓋板的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明第二實施例中的子蓋板的截面結(jié)構(gòu)示意圖。主要元件符號說明:子蓋板10加固組件20缺槽11縱向加強(qiáng)筋21橫向加強(qiáng)筋22上層板12下層板13收容槽121輕質(zhì)填充物14圓形通孔1坩堝200如下具體實施方式將結(jié)合上述附圖進(jìn)一步說明本發(fā)明。具體實施方式為了便于理解本發(fā)明,下面將參照相關(guān)附圖對本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的若干實施例。但是,本發(fā)明可以以許多不同的形式來實現(xiàn),并不限于本文所描述的實施例。相反地,提供這些實施例的目的是使對本發(fā)明的公開內(nèi)容更加透徹全面。需要說明的是,當(dāng)元件被稱為“固設(shè)于”另一個元件,它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個元件被認(rèn)為是“連接”另一個元件,它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。除非另有定義,本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的
技術(shù)領(lǐng)域
的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的,不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。請參閱圖1,所示為本發(fā)明第一實施例中的坩堝蓋板,用于蓋設(shè)于坩堝的堝口上,所述坩堝蓋板包括兩個子蓋板10及兩個加固組件20。兩個所述子蓋板10可相互拼接,且兩個所述子蓋板10完全對稱,所述子蓋板10呈方形。所述子蓋板10采用石墨板,所述子蓋板10的一側(cè)表面上設(shè)有一缺槽11。其中,所述缺槽11設(shè)于對應(yīng)的所述子蓋板10與另一個所述子蓋板10拼接的拼接面上,當(dāng)兩個所述子蓋板10相互拼接時,兩個所述缺槽11將拼接成一圓形通孔1,且所述圓形通孔1位于所述坩堝蓋板的中心處。每個所述子蓋板10的上表面上分別設(shè)有一個所述加固組件20,所述加固組件20包括平行間隔排布的若干個縱向加強(qiáng)筋21及若干個橫向加強(qiáng)筋22。每個所述加固組件20的所有所述橫向加強(qiáng)筋22排布在對應(yīng)的所述縱向加強(qiáng)筋21的兩端,所述橫向加強(qiáng)筋22靠近對應(yīng)的所述子蓋板10的邊緣。在本實施例當(dāng)中,所述加固組件20包括平行間隔排布的四個所述縱向加強(qiáng)筋21及兩個所述橫向加強(qiáng)筋22,每個所述加固組件20的四個所述縱向加強(qiáng)筋21位于對應(yīng)的兩個所述橫向加強(qiáng)筋22之間。其中,所述縱向加強(qiáng)筋21的厚度及寬度均位于2mm-5mm之間,所述縱向加強(qiáng)筋21的長度位于700mm-1000mm之間。所述橫向加強(qiáng)筋22的厚度及寬度均位于2mm-5mm之間,所述橫向加強(qiáng)筋22的長度位于300mm-500mm之間。所述縱向加強(qiáng)筋21及所述橫向加強(qiáng)筋22均由陶瓷材料制作而成,其剛度、硬度及耐熱性好,且質(zhì)量輕。在本實施例當(dāng)中,所述縱向加強(qiáng)筋21的厚度及寬度均為3mm,所述縱向加強(qiáng)筋21的長度為800mm,所述橫向加強(qiáng)筋22的厚度及寬度均為3mm,所述橫向加強(qiáng)筋22的長度為400mm。進(jìn)一步地,所述縱向加強(qiáng)筋21及所述橫向加強(qiáng)筋22均通過螺紋連接結(jié)構(gòu)可拆卸的固設(shè)于對應(yīng)的所述子蓋板10上。所述螺紋連接結(jié)構(gòu)可以為螺釘連接結(jié)構(gòu)或螺栓連接結(jié)構(gòu)當(dāng)中的任意一種??梢岳斫獾?,為了達(dá)到通過加強(qiáng)筋對所述坩堝蓋板進(jìn)行邊緣翹起防護(hù)的目的,在其它實施例當(dāng)中,所述子蓋板10的其它表面上也可以設(shè)置所述加固組件20,例如在所述子蓋板10的下表面上再設(shè)置一個所述加固組件20,以進(jìn)一步提供防護(hù)效果,具體設(shè)置所述加固組件20的數(shù)量可以根據(jù)實際情況(如所述子蓋板的重量)而定。為了進(jìn)一步闡述所述坩堝蓋板的應(yīng)用環(huán)境,請查閱圖2,所示為所述坩堝蓋板蓋設(shè)于一坩堝200上時的截面結(jié)構(gòu)示意圖,兩個所述子蓋板10相互拼接之后即可蓋設(shè)于所述坩堝200上,且拼接后形成的所述圓形通孔1充當(dāng)觀察孔的作用,當(dāng)所述坩堝蓋板蓋設(shè)于所述坩堝200上時,通過所述圓形通孔1便于觀測所述坩堝200內(nèi)部多晶硅生長的情況。綜上,本發(fā)明上述實施例當(dāng)中的坩堝蓋板,由于其通過可相互拼接的兩個所述子蓋板10組成,相當(dāng)于將整個所述坩堝蓋板一分為二,并且整個所述坩堝蓋板的重心也將隨之一分為二,一方面降低了單個重心的重力,且使得所述坩堝蓋板的重心偏離中心區(qū)域,而靠近所述坩堝蓋板的邊緣,當(dāng)兩個所述子蓋板10相互拼接后蓋設(shè)于所述坩堝200的堝口上時,由于所述子蓋板10的重量及重心距支撐點(diǎn)(所述坩堝200邊緣)的距離均得到了降低,所述坩堝蓋板將不容易出現(xiàn)中心下落邊緣翹起的現(xiàn)象,大大提高了所述坩堝蓋板的使用壽命。不僅如此,通過設(shè)置的所述加固組件20,對所述坩堝蓋板進(jìn)行了加固,且改善了重力的分布,進(jìn)一步防止了所述坩堝蓋板的邊緣翹起。請查閱圖3至圖4,所示為本發(fā)明第二實施例當(dāng)中的坩堝蓋板,本實施例當(dāng)中的坩堝蓋板與第一實施例當(dāng)中的坩堝蓋板大抵相同,不同之處在于,本實施例當(dāng)中的坩堝蓋板在第一實施例的基礎(chǔ)上,所述子蓋板10的內(nèi)部中心設(shè)有一個空腔。具體地,所述子蓋板10包括層疊連接的上層板12及下層板13,所述上層板12及所述下層板13用于層疊的表面上分別設(shè)有一收容槽121,所述空腔由對應(yīng)的兩個所述收容槽121層疊拼接而成,即當(dāng)所述上層板12與所述下層板13層疊連接時,所述上層板12上的所述收容槽121將與所述下層板13上的所述收容槽121扣合,以層疊拼接成所述空腔。所述加固組件20設(shè)于所述上層板12遠(yuǎn)離所述下層板13的表面上。其中,所述上層板12及所述下層板13可以通過螺紋連接、焊接或壓合的方式實現(xiàn)層疊后的固定。進(jìn)一步地,所述空腔通過輕質(zhì)填充物14填充滿,所述輕質(zhì)填充物14的密度小于所述子蓋板10的密度。在本實施例當(dāng)中,所述輕質(zhì)填充物14采用玻璃纖維材料制作而成??梢岳斫獾?,由于所述輕質(zhì)填充物14的密度小于所述子蓋板10的密度,所述輕質(zhì)填充物14的重量必然小于相同體積下石墨板的重量。綜上,本實施例當(dāng)中的坩堝蓋板相較于第一實施例當(dāng)中的坩堝蓋板,其由于將所述子蓋板10的內(nèi)部中心掏空,并通過所述輕質(zhì)填充物14填充,進(jìn)一步地降低了所述子蓋板10的重量,從而進(jìn)一步地確保了所述坩堝蓋板不會出現(xiàn)邊緣翹起的現(xiàn)象。以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此,本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。當(dāng)前第1頁12
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