技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種銦鎵鋅氧化物粉體的制備方法，其包括如下步驟：首先配置鎵鹽溶液、銦鹽溶液和鋅鹽溶液；然后使用不含堿金屬的堿液作為沉淀劑，并采用三步沉淀法分別使所述鎵鹽溶液、銦鹽溶液以及鋅鹽溶液中的鎵離子、銦離子、鋅離子在不同pH值下先后沉淀，以制備銦鎵鋅氧化物前驅(qū)體粉體；最后將制備的所述銦鎵鋅氧化物前驅(qū)體粉體經(jīng)洗滌、過(guò)濾、干燥、退火后制成獲得高純單相銦鎵鋅氧化物粉體InGaZnO4。本發(fā)明可制備具有高燒結(jié)活性和高純度的單相InGaZnO4粉體，為制備高質(zhì)量IGZO靶材提供了優(yōu)質(zhì)的原料。

技術(shù)研發(fā)人員：李晨輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華中科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.05
技術(shù)公布日：2017.08.18