技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本文公開了一種多晶硅的晶化方法、晶化設(shè)備及多晶硅。所述多晶硅的晶化方法，包括：將沉積有非晶硅層的基板置于液體中；通過準分子鐳射退火ELA裝置對液體中的非晶硅層進行激光照射晶化所述非晶硅。本文的技術(shù)方案能夠提高多晶硅的結(jié)晶質(zhì)量，使得晶化過程中的能量調(diào)節(jié)更加連續(xù)和便捷。

技術(shù)研發(fā)人員：班圣光
受保護的技術(shù)使用者：京東方科技集團股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.26
技術(shù)公布日：2017.09.01