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一種制備電子級二氯二氫硅的方法與流程

文檔序號:11502388閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種制備電子級二氯二氫硅的方法。其中,該方法包括以下步驟:S1,將芳香醛或芳香醛的衍生物與原料二氯二氫硅進(jìn)行反應(yīng),得到的反應(yīng)產(chǎn)物;S2,將反應(yīng)產(chǎn)物先脫除部分重組分,再脫除輕組分和剩余的重組分得到提純產(chǎn)品;S3,將提純產(chǎn)品送入吸附提純單元,進(jìn)一步去除雜質(zhì),得到電子級二氯二氫硅。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案,本工藝極大地的縮短流程,降低了設(shè)備投資和運行能耗,產(chǎn)品品質(zhì)達(dá)到電子級。

技術(shù)研發(fā)人員:劉見華;趙雄;萬燁;郭樹虎;姜麗霞;王芳;楊永亮;杜俊平;湯傳斌;嚴(yán)大洲
受保護(hù)的技術(shù)使用者:洛陽中硅高科技有限公司;中國恩菲工程技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.06
技術(shù)公布日:2017.08.18
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