本發(fā)明涉及一種玻璃襯底的制造方法、及玻璃襯底的制造裝置。
背景技術(shù)：
：有時為制造用于液晶顯示器或等離子體顯示器等平板顯示器的玻璃襯底(以下，稱為「顯示器用玻璃襯底」)，而使用溢流下拉法。溢流下拉法包括如下步驟：通過在成形爐中使熔融玻璃自成形體的上部溢出(overflow)而在成形體的下方成形板狀的平板玻璃、及使平板玻璃在緩冷爐中緩冷的冷卻步驟。在緩冷爐中，將平板玻璃引入成對的輥間，利用輥將平板玻璃一面搬運至下方一邊拉拔成所需的厚度后，將平板玻璃進(jìn)行緩冷。此后，通過將平板玻璃截斷為特定的尺寸而形成玻璃板。沿著成形體的側(cè)面向下流動的熔融玻璃在離開成形體的同時，因表面張力而在平板玻璃的寬度方向上收縮。專利文獻(xiàn)1中，公開有如下方法，即，在成形體與成形體下方的張力輥之間，在平板玻璃的寬度方向的緣部附近，使用與平板玻璃相隔地設(shè)置的冷卻單元，調(diào)整平板玻璃的緣部的溫度，抑制平板玻璃的收縮。此后，收縮被抑制的平板玻璃穿過緩冷空間而成形。在該緩冷空間中，環(huán)境溫度以成為所需的溫度輪廓(玻璃板中不產(chǎn)生應(yīng)變的溫度分布)的方式得到控制，從而抑制玻璃板的板厚偏差、翹曲、應(yīng)變。[
背景技術(shù)：
文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開平5-124827號公報技術(shù)實現(xiàn)要素：[發(fā)明要解決的問題]近年來，在液晶顯示裝置用玻璃襯底中，對規(guī)格(品質(zhì))的要求日益嚴(yán)格。對玻璃襯底的表面要求較高的平坦性，為滿足要求規(guī)格，尤其必須抑制陡峭的凹或凸導(dǎo)致產(chǎn)生條紋(striae)或局部的板厚偏差。該條紋是在特定的寬度中平板玻璃的厚度(高度)變動所致的凹凸，且因離開成形體的同時，因表面張力而在平板玻璃的寬度方向上收縮所致，且在平板玻璃的搬運方向上紋路狀連續(xù)地產(chǎn)生。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種可抑制包含平板玻璃上產(chǎn)生的條紋的局部的板厚偏差的玻璃襯底的制造方法、及玻璃襯底的制造裝置。[解決問題的技術(shù)手段]本發(fā)明的一形態(tài)是一種將熔融玻璃自玻璃供給管供給至具有供給槽的成形體，使用所述成形體通過溢流下拉法成形平板玻璃的玻璃襯底的制造方法。在該制造方法中，所述供給槽具有供給至所述供給槽的熔融玻璃自所述供給槽溢出的量在所述供給槽的延伸方向及與所述延伸方向正交的寬度方向上達(dá)到均一的底面形狀，所述玻璃襯底的制造方法具有：成形步驟，將自所述玻璃供給管供給至所述供給槽的熔融玻璃的最大溫度差為30℃以下且熔融玻璃的粘度為22000dpa·s以上38000dpa·s以下的熔融玻璃供給至所述供給槽，且在所述成形體的下端使所述熔融玻璃匯流，成形平板玻璃；及端部冷卻步驟，以抑制在所述成形步驟中成形所得的所述平板玻璃中局部產(chǎn)生的板厚偏差的方式，將平板玻璃的寬度方向的兩端部冷卻。在所述端部冷卻步驟中，優(yōu)選將所述成形體在所述平板玻璃的寬度方向上未變形時施加的且所述平板玻璃的剖面形狀成為目標(biāo)形狀的張力設(shè)為基準(zhǔn)張力，在所述成形體未變形時，以通過將所述平板玻璃的寬度方向的兩端部冷卻而達(dá)到所述基準(zhǔn)張力的方式進(jìn)行控制，且在所述成形體產(chǎn)生變形時，對于所述平板玻璃施加根據(jù)所述成形體的變形而與所述基準(zhǔn)張力相加的張力。此時，優(yōu)選所述成形體的變形是隨著所述成形體的使用而經(jīng)時變化的蠕變變形，且對所述基準(zhǔn)張力加上與所述蠕變變形造成的所述成形體的特定位置的位移量相應(yīng)的張力。而且，優(yōu)選隨著所述變形變大，而增強所述兩端部的冷卻。優(yōu)選所述板厚偏差為10μm以下。在所述成形步驟中，優(yōu)選以在所述成形體中向下流動的熔融玻璃的溫度比所述熔融玻璃的液相溫度增高10℃～150℃的方式，加熱所述熔融玻璃。本發(fā)明的其他一形態(tài)是一種將熔融玻璃自玻璃供給管供給至具有供給槽的成形體，使用所述成形體通過溢流下拉法成形平板玻璃的玻璃襯底的制造裝置。所述成形體具有接收最大溫度差為30℃以下且粘度為22000dpa·s以上38000dpa·s以下的熔融玻璃供給的供給槽、及用以在所述成形體的下端使所述熔融玻璃匯流而成形平板玻璃的壁面。所述供給槽具有供給至所述供給槽的熔融玻璃自所述供給槽溢出的量在所述供給槽的延伸方向及與所述延伸方向正交的寬度方向上達(dá)到均一的底面形狀。所述制造裝置更具備以抑制利用所述成形體成形所得的所述平板玻璃中局部產(chǎn)生的板厚偏差的方式冷卻平板玻璃的寬度方向的兩端部的端部冷卻裝置。[發(fā)明的效果]根據(jù)所述形態(tài)的玻璃襯底的制造方法及玻璃襯底的制造裝置，可抑制平板玻璃中產(chǎn)生的局部性板厚偏差。附圖說明圖1是表示本實施方式的制造方法的流程的圖。圖2是玻璃襯底的制造裝置的概略圖。圖3是表示可在本實施方式的制造方法中使用的成形體的一例的立體圖。圖4是說明使用圖3所示的裝置的本發(fā)明的制造方法的一例的圖。圖5是表示與成形體的供給槽連接的玻璃供給管的剖面的圖。圖6是表示本實施方式中使用的玻璃供給管的長邊方向上的在玻璃供給管之中流動的熔融玻璃的溫度變化的圖表。圖7是說明利用獲取部所獲取的成形體的形狀變化之例的圖。圖8是表示利用已蠕變變形的成形體所成形的玻璃帶的剖面的一例的圖。圖9是表示成形體的位移量與對玻璃帶施加的張力t的關(guān)系的圖。圖10(a)是將沿著圖4所示的a-a線的平板玻璃的剖面的一例放大所得的圖，(b)是將沿著圖4所示的b-b線的平板玻璃的剖面的一例放大所得的圖。具體實施方式以下，對本實施方式的玻璃襯底的制造方法進(jìn)行說明。(玻璃襯底的制造方法的整體概要)圖1是表示本實施方式的玻璃襯底的制造方法的步驟的一例的圖。玻璃襯底的制造方法主要具有：熔解步驟(st1)、清澄步驟(st2)、均質(zhì)化步驟(st3)、供給步驟(st4)、成形步驟(st5)、緩冷步驟(st6)、及截斷步驟(st7)。其他也可具有研削步驟、研磨步驟、清洗步驟、檢查步驟、包裝步驟等。制造所得的玻璃襯底視需要在包裝步驟中積層后，搬運到訂貨方的業(yè)者。熔解步驟(st1)是通過將玻璃原料加熱而制成熔融玻璃。清澄步驟(st2)是通過使熔融玻璃升溫，而產(chǎn)生包含熔融玻璃中所含的氧、co2或so2的泡。該泡是吸收因熔融玻璃中所含的澄清劑(氧化錫等)的還原反應(yīng)而產(chǎn)生的氧進(jìn)行成長，且漂浮到熔融玻璃的液面而釋放。此后，在清澄步驟中，因使熔融玻璃的溫度下降，故利用澄清劑的還原反應(yīng)所得的還原物質(zhì)進(jìn)行氧化反應(yīng)。由此，熔融玻璃中殘存的泡中的氧等氣體成分被再次吸收到熔融玻璃中，從而泡破滅。澄清劑所進(jìn)行的氧化反應(yīng)及還原反應(yīng)是通過控制熔融玻璃的溫度而進(jìn)行。另外，清澄步驟也可以采用使存在于熔融玻璃中的泡在減壓環(huán)境下成長后消泡的減壓消泡方式。減壓消泡方式在不使用澄清劑方面較為有效。然而，減壓消泡方式導(dǎo)致裝置復(fù)雜化及大型化。因此，優(yōu)選采用使用澄清劑使熔融玻璃溫度上升的清澄方法。均質(zhì)化步驟(st3)是通過使用攪拌器攪拌熔融玻璃，而進(jìn)行玻璃成分的均質(zhì)化。由此，可減少作為條紋等原因的玻璃的組成不均。均質(zhì)化步驟是在下述的攪拌槽中進(jìn)行。供給步驟(st4)是將攪拌所得的熔融玻璃供給至成形裝置。成形步驟(st5)及緩冷步驟(st6)是在成形裝置中進(jìn)行。成形步驟(st5)是將熔融玻璃成形為平板玻璃，制成平板玻璃流。成形中，采用溢流下拉法。緩冷步驟(st6)是將成形后流動的平板玻璃以達(dá)到所需的厚度，且不產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)變的方式，進(jìn)而不產(chǎn)生翹曲的方式進(jìn)行冷卻。截斷步驟(st7)是通過將緩冷后的平板玻璃截斷為特定的長度，而獲得板狀的玻璃襯底。截斷所得的玻璃襯底進(jìn)而被截斷為特定的尺寸，制成目標(biāo)尺寸的玻璃襯底。圖2是進(jìn)行本實施方式中的熔解步驟(st1)～截斷步驟(st8)的玻璃襯底的制造裝置的概略圖。玻璃襯底的制造裝置如圖2所示主要具有熔解裝置100、成形裝置200、及截斷裝置300。熔解裝置100具有熔解槽101、清澄管102、攪拌槽103、輸送管104、105、及玻璃供給管106。在圖2所示的熔解槽101中，設(shè)置有未圖示的燃燒器等加熱機構(gòu)。對熔解槽投入已添加澄清劑的玻璃原料，進(jìn)行熔解步驟(st1)。熔解槽101中已熔融的熔融玻璃是經(jīng)由輸送管104供給至清澄管102。在清澄管102中，調(diào)整熔融玻璃mg的溫度，利用澄清劑的氧化還原反應(yīng)進(jìn)行熔融玻璃的清澄步驟(st2)。具體而言，通過使清澄管102內(nèi)的熔融玻璃升溫，含有熔融玻璃中所含的氧、co2或so2的泡吸收因澄清劑的還原反應(yīng)而產(chǎn)生的氧而成長，且漂浮至熔融玻璃的液面后釋放到氣相空間。此后，通過使熔融玻璃的溫度下降，因澄清劑的還原反應(yīng)所得的還原物質(zhì)進(jìn)行氧化反應(yīng)。由此，熔融玻璃中殘存的泡中的氧等氣體成分被再次吸收到熔融玻璃中，從而泡破滅。清澄后的熔融玻璃是經(jīng)由輸送管105供給至攪拌槽103。在攪拌槽103中，利用攪拌棒103a攪拌熔融玻璃進(jìn)行均質(zhì)化步驟(st3)。攪拌槽103中得以均質(zhì)化的熔融玻璃是經(jīng)由玻璃供給管106供給至成形裝置200(供給步驟st4)。在成形裝置200中，利用溢流下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃sg(成形步驟st5)，且進(jìn)行緩冷(緩冷步驟st6)。在截斷裝置300中，形成自平板玻璃sg切取所得的板狀的玻璃襯底(截斷步驟st7)。供給步驟s4是控制在玻璃供給管106之中流動的熔融玻璃的溫度。具體而言，將玻璃供給管106通電加熱，從而將在玻璃供給管106之中流動的熔融玻璃加熱，且利用耐火材料將玻璃供給管106包圍，由此，抑制在玻璃供給管106之中流動的熔融玻璃的散熱。在供給步驟s4中，以在玻璃供給管106之中流動的熔融玻璃的溫度自上游側(cè)朝向下游側(cè)逐漸降低的方式，控制熔融玻璃的溫度。玻璃供給管106被區(qū)分為多個區(qū)，熔融玻璃的溫度按區(qū)進(jìn)行控制。加熱玻璃供給管106的通電加熱裝置是基于測定裝置的測定數(shù)據(jù)，以熔融玻璃的溫度呈現(xiàn)變化的方式，控制流入玻璃供給管106的各區(qū)的電流及電壓。可通過在玻璃供給管106中控制電流及電壓，而將供給至成形裝置200的熔融玻璃的溫度適當(dāng)?shù)刈兏?。此處，在玻璃供給管106的下游側(cè)的端部，管溫度及熔融玻璃的中心溫度優(yōu)選為1235℃～1265℃，更優(yōu)選為1240℃～1260℃。(成形體的構(gòu)成)接著，參照圖3及圖4，對成形裝置200所具備的成形體1的構(gòu)成進(jìn)行說明。在圖3中，表示可用于本實施方式的制造方法的成形體1的一例，在圖4中，表示使用圖3所示的成形體1的本實施方式的制造方法中的成形步驟的一例。成形體1具備：上表面3，形成有供給熔融玻璃的供給槽2；一對壁面5(圖3、4中僅圖示了一壁面)，引導(dǎo)自供給槽2的兩側(cè)溢出后自上表面3中的供給槽2所延伸的方向的兩端部3a、3b之間向下流動的熔融玻璃，在成形體1的下端4匯合成為平板玻璃sg；及一對導(dǎo)件6a、6b，形成在壁面5的寬度方向上的兩端部5a、5b的位置處。導(dǎo)件6a、6b分別以在端部5a、5b的位置處自壁面5突出的方式相互對向地形成。自供給槽2溢出的熔融玻璃是在一對壁面5各自之上向下流動。壁面5具有自供給槽2溢出的熔融玻璃在鉛垂方向上向下流動的垂直壁面、及將在垂直壁面向下流動的熔融玻璃導(dǎo)向成形體1的下端4且與垂直壁面連接的傾斜壁面。在壁面5向下流動的熔融玻璃的一對流體在成形體1的下端4匯流，從而相互地交匯。此時，利用導(dǎo)件6a、6b，限制沿著壁面5向下流動的熔融玻璃的寬度，從而連續(xù)地形成例如寬度方向的厚度均一性較高的平板玻璃sg。成形體1的下端4形成一對壁面5彼此(傾斜壁面彼此)連接的直線狀棱線。圖3、4所示的符號2a是供給槽2的底面2a，圖3所示的符號7是供給至供給槽2的熔融玻璃的液面7。此處，成形體1的供給槽2具有如下的底面2a的形狀，即，供給至供給槽2的熔融玻璃自供給槽2溢出的量在供給槽2的延伸方向(熔融玻璃的流動方向)、及與該延伸方向正交的供給槽2的寬度方向上達(dá)到均一。在供給槽2中流動的熔融玻璃的流量是根據(jù)基于熔融玻璃的粘度、熔融玻璃的密度、供給槽2中流動的熔融玻璃的液面至底面2a為止的深度、及底面2a的寬度的算式運算。通過對該算式，添加熔融玻璃的流量的線密度在自連接有玻璃供給管106的槽始點側(cè)至槽終點側(cè)為止的流動方向上成為固定、即溢出量達(dá)到均一的條件，而求出供給槽2的底面2a的形狀。而且，成形體1的兩端部3a、3b的位置處的供給槽2具有自熔融玻璃溢出至供給槽2的兩側(cè)且自上表面3的兩端部3a、3b的位置起與其他部分相同地均一溢出的底面2a至上表面3為止的高度。當(dāng)熔融玻璃自上表面3的兩端部3a、3b溢出時，熔融玻璃具有自上表面3至熔融玻璃的液面為止的高度。包含將自溢出時的底面2a至熔融玻璃的液面為止的高度減去自上表面3至熔融玻璃的液面為止的高度所得的底面2a的形狀的槽曲線與上表面3的交點成為供給槽2的槽終點。由此，求出連接有玻璃供給管106的供給槽2的自槽始點至槽終點為止的距離，從而決定成形體1的形狀。冷卻輥8是對平板玻璃sg的寬度方向兩端部進(jìn)行熱處理的單元。冷卻輥8相較成形體1的下端4配置在更下游側(cè)。而且，冷卻輥8配置在平板玻璃sg的厚度方向兩側(cè)，且平板玻璃sg的寬度方向兩側(cè)。即，冷卻輥8在成形體1的正下方對離開成形體1的平板玻璃sg進(jìn)行熱處理。配置在平板玻璃sg的厚度方向兩側(cè)的冷卻輥8是以對進(jìn)行動作。因此，平板玻璃sg的寬度方向兩端部被二對冷卻輥8夾住。冷卻輥8是利用通向內(nèi)部的空氣冷卻管進(jìn)行空氣冷卻。冷卻輥8接觸于平板玻璃sg的端部sga，利用熱傳導(dǎo)將平板玻璃sg的端部sga進(jìn)行淬火(端部冷卻步驟)。冷卻輥8是以平板玻璃sg的端部sga的粘度達(dá)到109.0dpa·s以上的方式，將平板玻璃sg的端部sga進(jìn)行淬火。另外，冷卻輥8優(yōu)選以平板玻璃sg的端部sga的粘度成為109.0～1014.5dpa·s的范圍內(nèi)的方式，將平板玻璃sg的端部sga進(jìn)行淬火。在導(dǎo)件6a、6b各自的附近，以自成形體1的上表面3側(cè)延伸至下端4側(cè)的方式配置有加熱器，利用該加熱器將在一對壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分、及在壁面5上向下流動的熔融玻璃進(jìn)行加熱。該加熱是以在壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分的粘度自成形體1的上表面3至下端4為止(熔融玻璃的該部分自成形體1的上表面3向下流動至下端4為止)，小于構(gòu)成該熔融玻璃的玻璃組合物的液相粘度(以下，也簡稱為「液相粘度」)的方式，沿著導(dǎo)件6a、6b進(jìn)行。在使用具備導(dǎo)件的成形體1的溢流下拉法所進(jìn)行的平板玻璃sg的成形(及將該平板玻璃sg冷卻所得的玻璃襯底的制造)中，容易在導(dǎo)件附近、即成形的平板玻璃sg的端部產(chǎn)生失透。該情況被認(rèn)為因以下原因造成，即，由于以收容成形體1的成形爐在成形體1的下端將熔融玻璃設(shè)為適于成形的粘度為目的，而通常設(shè)定為不僅以平板玻璃sg成形為目的而且也以熔融玻璃冷卻為目的的溫度、即低于熔融玻璃的溫度，故而，熔融玻璃的熱自導(dǎo)件6a、6b中被奪取，導(dǎo)致導(dǎo)件6a、6b附近的熔融玻璃的溫度容易低于熔融玻璃中的其他部分的溫度；以及，因如此的溫度下降及與導(dǎo)件6a、6b的接觸導(dǎo)致的物理性阻力，導(dǎo)件6a、6b附近的熔融玻璃的向下流動速度容易低于熔融玻璃中的其他部分，從而自與導(dǎo)件6a、6b相接觸起直至離開成形體1為止需要長時間等。根據(jù)日本專利特開2010-215428號公報，存在可抑制在導(dǎo)件的下端產(chǎn)生的失透的可能性。然而，在該文獻(xiàn)的技術(shù)中，難以抑制相較導(dǎo)件的下端更上游的區(qū)域、尤其熔融玻璃與導(dǎo)件接觸開始冷卻的初期中產(chǎn)生的失透，從而也無法通過導(dǎo)件下端的加熱將一次產(chǎn)生的失透消除。而且，在成形包含適于用于平板顯示器的玻璃襯底的無堿玻璃及含微量堿玻璃等液相溫度較高且液相粘度較小的玻璃組合物、例如本實施方式的制造方法中使用的液相粘度為80000dpa·s以上100000dpa·s以下且液相溫度為1200℃～1220℃的范圍的玻璃組合物的平板玻璃的情形時，尤其容易產(chǎn)生如此的失透。在本實施方式的制造方法中，以在成形體1的壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分的粘度自成形體1的上表面3至下端4為止保持小于液相粘度的方式(以該部分的溫度自成形體1的上表面3至下端4為止成為液相溫度以上的方式)，沿著導(dǎo)件6a、6b加熱熔融玻璃中的該部分。由此，獲得抑制熔融玻璃的導(dǎo)件附近的部分(熔融玻璃的端部)中的失透的較高效果，從而即便構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物具有80000dpa·s以上100000dpa·s以下的較小的液相粘度，且具有1200℃～1220℃的范圍的液相溫度的情形時，也可以抑制該端部中產(chǎn)生失透。在本說明書中，所謂液相溫度是指熔融體與結(jié)晶的初相之間的平衡溫度，且若超過該溫度則不存在結(jié)晶的溫度，所謂液相粘度是指玻璃成為所述液相溫度的粘度。圖5是表示與成形體1的供給槽2連接的玻璃供給管106的剖面的圖。在玻璃供給管106內(nèi)，若將在玻璃供給管106的中心區(qū)域106a流動的熔融玻璃的溫度與在周邊區(qū)域106b流動的熔融玻璃的溫度進(jìn)行比較，則在中心區(qū)域106a流動的熔融玻璃的溫度升高。若在存在中心區(qū)域106a與周邊區(qū)域106b的溫度差(粘度差)的狀態(tài)下，對成形體1的供給槽2供給熔融玻璃，則在設(shè)置有成形體1的空間內(nèi)，熔融玻璃即便被加熱，自玻璃供給管106至成形體1的上表面3為止，熔融玻璃的溫度差也未被改善，而在殘存熔融玻璃的溫度差的狀態(tài)下自成形體1的上表面3朝向下端4溢出。若在成形體1的上表面3上溢出的時間點，熔融玻璃中存在溫度差，則熔融玻璃的流動局部地產(chǎn)生變化(停滯)，故熔融玻璃未均一地溢出，在成形體1的壁面5上向下流動的熔融玻璃的厚度(量)產(chǎn)生變化，在下端4進(jìn)行成形的平板玻璃sg的厚度局部地產(chǎn)生差異。由此，在平板玻璃sg中，產(chǎn)生包含條紋的局部性板厚偏差。因平板玻璃的兩端部sga被冷卻輥8冷卻，且對平板玻璃sg施加朝向兩端部sga方向的張力，因此，平板玻璃sg中產(chǎn)生的板厚偏差減少。為了利用如此的原理將所產(chǎn)生的平板玻璃sg的板厚偏差抑制為10μm以下，對成形體1的供給槽2供給時的玻璃供給管106內(nèi)的熔融玻璃的最大溫度差、及熔融玻璃的粘度變得較為重要。在本實施方式的制造方法中，自玻璃供給管106對成形裝置200(成形體1的供給槽2)供給時的熔融玻璃的最大溫度差(玻璃供給管106的中心區(qū)域106a與周邊區(qū)域106b的溫度差)優(yōu)選設(shè)為30℃以下，更優(yōu)選設(shè)為20℃以下，且更優(yōu)選設(shè)為10℃以下。而且，將熔融玻璃的最大粘度差(玻璃供給管106的中心區(qū)域106a與周邊區(qū)域106b的粘度差)優(yōu)選設(shè)為19000dpa·s以下，更優(yōu)選設(shè)為12500dpa·s以下，且更優(yōu)選設(shè)為6200dpa·s以下。因?qū)⒐┙o至供給槽2的熔融玻璃在設(shè)置有成形體1的空間內(nèi)進(jìn)行加熱，因此，自成形體1的供給槽2至上表面3為止，熔融玻璃的溫度差變得進(jìn)一步小于供給槽2的供給時的溫度差，例如成為10℃以下。在如此的溫度差的狀態(tài)下，若使熔融玻璃自上表面3溢出，則熔融玻璃均一地溢出，從而在壁面5上向下流動的熔融玻璃的厚度(量)達(dá)到均一。在下端4匯流而成的熔融玻璃被成形為平板玻璃sg。下端4中的平板玻璃sg的板厚偏差大于10μm，但通過以朝向平板玻璃的兩端部sga施加張力的方式，利用冷卻輥8將平板玻璃的兩端部sga冷卻，平板玻璃sg中產(chǎn)生的局部的板厚偏差成為10μm以下?？赏ㄟ^冷卻平板玻璃的兩端部sga而減少的板厚偏差的量對熔融玻璃的粘度產(chǎn)生影響。在本實施方式的制造方法中，經(jīng)由玻璃供給管106將熔融玻璃供給至成形裝置200(成形體1的供給槽2)時的熔融玻璃的粘度優(yōu)選為22000dpa·s以上38000dpa·s以下，更優(yōu)選為25000dpa·s以上38000dpa·s以下，且更優(yōu)選為25000dpa·s以上35000dpa·s以下。若降低對成形體1的供給槽2供給的熔融玻璃的粘度，即，若升高熔融玻璃的溫度，則成形體1的蠕變現(xiàn)象變得顯著，從而也產(chǎn)生隨著自成形開始起時間的經(jīng)過，平板玻璃的中央部下垂等問題。另一方面，若提升對成形體1的供給槽2供給的熔融玻璃的粘度，即，若降低熔融玻璃的溫度，則平板玻璃中容易產(chǎn)生板厚偏差，而且，容易產(chǎn)生失透。因此，必須將可一面防止板厚偏差及失透的產(chǎn)生一面抑制成形體1的蠕變現(xiàn)象的熔融玻璃供給至成形體1。對成形裝置200供給時的熔融玻璃的粘度優(yōu)選為22000dpa·s以上38000dpa·s以下。所述粘度是因熔融玻璃的平均粘度進(jìn)而由玻璃組成決定的粘度。以下，將該粘度稱為基于平均粘度的粘度。在構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物的液相粘度為80000dpa·s以上100000dpa·s以下的情形時，為了在利用成形體1成形的熔融玻璃的粘度變?yōu)樽罡叩某尚误w1的下端防止失透，而以熔融玻璃的粘度變得小于80000dpa·s的方式，控制熔融玻璃的粘度。為抑制成形體1的蠕變現(xiàn)象，而以提升對成形體1的供給槽2供給的熔融玻璃的粘度，同時在成形體1的下端，熔融玻璃的粘度變得小于80000dpa·s的方式，將熔融玻璃供給至成形體1的供給槽2。在本實施方式的制造方法中，對成形體1的供給槽2供給的熔融玻璃的粘度(基于平均粘度的粘度)是下限為自22000dpa·s至25000dpa·s，且上限為自35000dpa·s至38000dpa·s。因供給至供給槽2中的熔融玻璃的粘度變小，故自熔融玻璃供給至供給槽2起至自上表面3溢出為止的時間變短。因此，在該時間之期間，熔融玻璃受到的熱量減少。熔融玻璃是以供給槽2內(nèi)，溫度差變小的方式進(jìn)行加熱，但若自供給至溢出為止的時間較短，則無法消除溫度差，從而在存在溫度差的狀態(tài)下溢出。如此一來，產(chǎn)生向下流動的速度局部出現(xiàn)變化的部位，從而成為板厚偏差的原因。通過將對成形體1的供給槽2供給的熔融玻璃的粘度(基于平均粘度的粘度)設(shè)為22000dpa·s至38000dpa·s，在成形體1的下端4匯流而成形的平板玻璃sg成為低粘度，容易受到冷卻輥8的冷卻效應(yīng)，而被拉拔至寬度方向的端部側(cè)，從而平板玻璃sg的板厚偏差的抑制效果變大。另一方面，若熔融玻璃成為低粘度，則至溢出為止的時間變短，故若存在熔融玻璃的溫度差(粘性差)，則因該溫度差(粘性差)而產(chǎn)生板厚偏差。因此，將供給至供給槽2的熔融玻璃的最大溫度差設(shè)為30℃以下。可通過將滿足該等2個條件的熔融玻璃供給至供給槽2，而使平板玻璃sg的板厚偏差成為10μm以下。為了將供給至供給槽2的熔融玻璃的最大溫度差設(shè)為30℃以下，重要的是玻璃供給管106中流動的熔融玻璃的溫度管理，且在玻璃供給管106的管的長邊方向上，如圖6所示地劃分為多個區(qū)sc1～sc9及多個管區(qū)段pp1～pp3，進(jìn)行溫度調(diào)整。圖6是表示玻璃供給管106的管的長邊方向上的在玻璃供給管106之中流動的熔融玻璃的溫度變化的圖表。在圖6中，實線l1表示作為與玻璃供給管106的內(nèi)周面接觸的熔融玻璃的溫度、即玻璃供給管106的溫度的“管溫度”的變化，虛線l2表示作為玻璃供給管106的剖面中心的熔融玻璃的溫度的“中心溫度”的變化。在圖6中，點劃線l3表示以每一單位剖面面積中的熔融玻璃的質(zhì)量流量進(jìn)行加權(quán)平均所得的玻璃平均溫度。使用該平均溫度，求出熔融玻璃的基于平均溫度的粘度。對于圖6所示的熔融玻璃的溫度變化進(jìn)行說明，流入玻璃供給管106中的熔融玻璃是均質(zhì)化步驟st3中均質(zhì)化所得的熔融玻璃，因此，流入第1管區(qū)段pp1(區(qū)sc1～sc5)中的熔融玻璃的管溫度與中心溫度之差為零。第1管區(qū)段pp1是用以將熔融玻璃冷卻到不低于玻璃的失透溫度的程度的區(qū)域。在第1管區(qū)段pp1中，存在管溫度及中心溫度逐漸地下降，且因來自玻璃供給管106的散熱，管溫度與中心溫度之差逐漸地增加的傾向。在第1管區(qū)段pp1與第2管區(qū)段pp2的交界處，管溫度與中心溫度之差優(yōu)選為100℃以下。在圖6中，在第1管區(qū)段pp1中，玻璃平均溫度自1470℃下降到1260℃。在第2管區(qū)段pp2中，管溫度的下降得到抑制。第2管區(qū)段pp2中流動的電流高于第1管區(qū)段pp1中流動的電流。因此，利用通電加熱賦予給第2管區(qū)段pp2的熱量大于利用通電加熱賦予給第1管區(qū)段pp1的熱量。因此，在第2管區(qū)段pp2中，來自玻璃供給管106的散熱得到抑制，玻璃供給管106的溫度維持大致固定。此時，在第2管區(qū)段pp2內(nèi)，熱自玻璃供給管106的剖面中心的熔融玻璃朝向與玻璃供給管106的內(nèi)周面接觸的熔融玻璃移動，故中心溫度逐漸地下降。其結(jié)果，在第2管區(qū)段pp2中，存在管溫度與中心溫度之差逐漸地減少的傾向。在第2管區(qū)段pp2與第3管區(qū)段pp3的交界處，管溫度與中心溫度之差優(yōu)選為50℃以下。在圖6中，在第2管區(qū)段pp2中，玻璃平均溫度自1260℃下降到1250℃。另外，在第2管區(qū)段pp2的第7區(qū)sc7中，玻璃供給管106的內(nèi)徑減少。因此，在第2管區(qū)段pp2中，玻璃供給管106的外周面的面積逐漸地減少，因此，經(jīng)由玻璃供給管106的熔融玻璃的散熱被抑制。即，在第2管區(qū)段pp2中，因高電流的賦予與內(nèi)徑減少這2個主要因素，管溫度與中心溫度之差逐漸地減少。在第3管區(qū)段pp3中，熔融玻璃的管溫度與中心溫度之最大溫度差達(dá)到30℃以下。將第3管區(qū)段pp3包圍的耐火材料的隔熱性能優(yōu)于將第1管區(qū)段pp1及第2管區(qū)段pp2包圍的耐火材料106。因此，在第3管區(qū)段pp3中，與第1管區(qū)段pp1及第2管區(qū)段pp2相比，經(jīng)由玻璃供給管106的熔融玻璃的散熱進(jìn)一步被抑制。而且，第3管區(qū)段pp3中流動的電流低于第2管區(qū)段pp2中流動的電流，且利用通電加熱賦予給第3管區(qū)段pp3的熱量小于利用通電加熱賦予給第2管區(qū)段pp2的熱量。因此，第3管區(qū)段pp3之中流動的熔融玻璃的溫度上升得到抑制。由此，在第3管區(qū)段pp3中，在玻璃平均溫度成為大致固定的狀態(tài)下，因熔融玻璃內(nèi)的熱傳遞，管溫度與中心溫度之差進(jìn)而減少。在圖6中，在第3管區(qū)段pp3中，玻璃平均溫度維持1250℃。另外，通過玻璃供給管106的熔融玻璃的溫度的優(yōu)選范圍如下所述。在玻璃供給管106的上流側(cè)的端部，優(yōu)選管溫度及中心溫度為1420℃～1470℃。在第1管區(qū)段pp1與第2管區(qū)段pp2的交界處，優(yōu)選管溫度為1210℃～1260℃，且中心溫度為1300℃～1350℃。在第2管區(qū)段pp2與第3管區(qū)段pp3的交界處，優(yōu)選管溫度為1210℃～1260℃，且中心溫度為1250℃～1300℃。在玻璃供給管106的下流側(cè)的端部，優(yōu)選管溫度及中心溫度為1235℃～12665℃。通過利用如此的玻璃供給管106進(jìn)行熔融玻璃的溫度調(diào)整，而將供給至供給槽2的熔融玻璃的最大溫度差設(shè)為30℃以下。另外，熔融玻璃的中心溫度的測定因存在難以使用溫度計的情形，故在該情形時，可使用自玻璃供給管106起的單位時間、單位面積的散熱量的信息、玻璃供給管106的單位時間、單位面積的加熱量的信息、流入至玻璃供給管106時的熔融玻璃的溫度及流量的信息，根據(jù)玻璃供給管106的管溫度的測定結(jié)果，通過計算機模擬而求出。另外，所述管溫度是利用安裝在玻璃供給管106的各位置處的溫度計(未圖示)進(jìn)行測定。粘度是通過安裝在玻璃供給管106與成形體1的供給槽2連接的部分的粘度計(未圖示)進(jìn)行測定。粘度計是使用例如細(xì)管式粘度計或旋轉(zhuǎn)式粘度計。細(xì)管式粘度計是使測定對象的熔融玻璃通過細(xì)管，根據(jù)熔融玻璃通過細(xì)管的時間(流量)及細(xì)管的兩端的壓力差，測定熔融玻璃的粘度。旋轉(zhuǎn)式粘度計是通過根據(jù)旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)矩等讀取熔融玻璃自旋轉(zhuǎn)體受到的阻力即粘性阻力，而測定熔融玻璃的粘度。在本實施方式的制造方法中，優(yōu)選以在成形體1的壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分的溫度成為自成形體1的上表面3至下端4為止比液相溫度高10℃以上的溫度的方式，加熱該部分，更優(yōu)選以成為比液相溫度高15℃以上的溫度的方式加熱該部分。在該等情形時，進(jìn)行成形的平板玻璃的端部中失透的產(chǎn)生被更確實地抑制。具體的液相溫度因玻璃組合物的組成而異。本實施方式的制造方法優(yōu)選在成形步驟中，以在成形體1的壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分的溫度成為自成形體1的上表面3至下端4為止比液相溫度高10℃～150℃的方式(以成為比液相溫度高10℃以上，且將液相溫度加上150℃所得的溫度以下的方式)，沿著導(dǎo)件加熱該部分。由此，可抑制成形體1的變形、及成形后的平板玻璃sg中的寬度方向的收縮。進(jìn)而優(yōu)選以在成形體1的壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分的溫度成為自成形體1的上表面3至下端4為止比液相溫度高15℃～100℃的方式，沿著導(dǎo)件加熱該部分。通過與熔融玻璃離開成形體1后的端部的淬火(平板玻璃sg的端部sga的淬火)進(jìn)行組合，平板玻璃sg的板厚偏差達(dá)到10μm以下。而且，該端部sga中失透的產(chǎn)生進(jìn)而被確實地抑制。即便以在成形體1的壁面5上向下流動的熔融玻璃中的導(dǎo)件6a、6b附近的部分的溫度自成形體1的上表面3至下端4為止充分地高于液相溫度的方式，使在成形體1上向下流動的熔融玻璃整體的溫度相較液相溫度充分地成為高溫，理論上也可抑制失透。然而，在制造液相溫度較高的玻璃的情形時，現(xiàn)實中，溢流下拉法中無法適用如此的方法。其原因在于，存在適合溢流下拉法所進(jìn)行的平板玻璃成形的熔融玻璃的粘度(為避免產(chǎn)生下述平板玻璃的松弛或平板玻璃的寬度收縮的問題，成形體1的下端4中的熔融玻璃的粘度優(yōu)選為40000dpa·s以上，更優(yōu)選為70000dpa·s以上)。若以熔融玻璃中的導(dǎo)件附近的部分的溫度變得充分地高于液相溫度的方式，使在成形體1上向下流動的熔融玻璃整體的溫度相較液相溫度充分地成為高溫，或在成形體1的下端4過度地進(jìn)行加熱，則存在導(dǎo)致成形體1的下端4中的熔融玻璃的粘度變得小于所述適當(dāng)?shù)姆秶目赡苄?。如此一來，產(chǎn)生如下問題，即，離開成形體1后的平板玻璃的粘度未能充分地上升，平板玻璃以配置在成形體1的下游側(cè)的搬運輥的拉伸速度以上的速度落下，導(dǎo)致平板玻璃在該輥上松弛，或平板玻璃的寬度進(jìn)行收縮。而且，成形體的溫度越高，則伴隨成形體使用而經(jīng)時變化的蠕變現(xiàn)象變得越顯著，從而也產(chǎn)生平板玻璃的中央部自成形開始起隨著時間經(jīng)過而下垂等問題。若考慮作為玻璃襯底所需的厚度及成形后的緩冷步驟中實施的平板玻璃的溫度控制，則搬運輥的拉伸速度增加存在極限(若考慮緩冷步驟中實施的平板玻璃的溫度控制，則平板玻璃的搬運速度優(yōu)選50～500m/小時，優(yōu)選100～400m/小時，且優(yōu)選120～300m/小時)。而且，若使熔融玻璃中的導(dǎo)件附近的部分的溫度充分地高于液相溫度，則進(jìn)行成形的平板玻璃的寬度收縮，從而無法確保作為玻璃襯底的產(chǎn)品寬度。而且，若使在成形體1上向下流動的熔融玻璃整體的溫度相較液相溫度充分地成為高溫，則產(chǎn)生成形體1的蠕變現(xiàn)象，且若該蠕變現(xiàn)象變得顯著，則制造的玻璃襯底的板厚均一性下降。自成形體1中熔融玻璃流動的壁面突出的導(dǎo)件的高度優(yōu)選低至成形裝置的下方的位置。優(yōu)選成形體1的下端4為兩側(cè)的傾斜壁面彼此連接而成的直線狀棱線，且一對導(dǎo)件在傾斜的壁面中的高度在該棱線的位置處為0(零)。由此，可進(jìn)一步抑制平板玻璃的端部(耳部)二叉狀打開，從而可更穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)玻璃襯底。冷卻輥8的冷卻量及旋轉(zhuǎn)量是由控制裝置(未圖示)進(jìn)行控制?？刂蒲b置是主要包括cpu、ram、rom及硬盤等的計算機?？刂蒲b置可控制使冷卻輥8驅(qū)動的驅(qū)動電動機，獲取及調(diào)節(jié)夾持平板玻璃sg的寬度方向的端部sga的一對冷卻輥8與平板玻璃sg之間的接觸負(fù)載?？刂蒲b置是分別單獨地控制各冷卻輥8的冷卻量。進(jìn)而，控制裝置為了將下述說明的平板玻璃sg的厚度方向的剖面形狀成為目標(biāo)形狀作為目的，利用冷卻輥8的冷卻控制對平板玻璃sg施加的張力，而至少將作為搬運部、獲取部、判定部及控制部發(fā)揮作用的4個程序存儲執(zhí)行。搬運部是使用設(shè)置在成形體1的下方的搬運輥，將利用成形體1成形所得的平板玻璃sg在緩冷空間中以特定的搬運速度搬運至下方。搬運部控制使搬運輥驅(qū)動的驅(qū)動電動機，調(diào)節(jié)搬運輥的旋轉(zhuǎn)速度，由此，調(diào)節(jié)平板玻璃sg的搬運速度。獲取部通過利用計算機模擬求出成形體1的形狀的時間變化，而獲取與成形體1的當(dāng)前形狀相關(guān)的形狀數(shù)據(jù)。具體而言，獲取部基于蠕變特性參數(shù)獲取形狀數(shù)據(jù)。蠕變特性參數(shù)是用以再現(xiàn)施加至成形體1的應(yīng)力、成形體1的溫度、及因蠕變變形產(chǎn)生的成形體1的應(yīng)變速度之間的關(guān)系的參數(shù)。此處，施加至成形體1的應(yīng)力是沿著成形體1的長邊方向(供給槽2的延伸方向)壓縮成形體1的力。而且，成形體1的應(yīng)變速度假設(shè)為不隨時間變化而固定。最初，獲取部測定施加至成形體1的應(yīng)力固定的條件下成形體1的應(yīng)變速度對于成形體1的溫度依賴性變化。接著，獲取部測定成形體1的溫度固定的條件下成形體1的應(yīng)變速度對于施加至成形體1的應(yīng)力的應(yīng)力依賴性變化。接著，獲取部決定可將成形體1的應(yīng)變速度的溫度依賴性變化及應(yīng)力依賴性變化的測定值再現(xiàn)的蠕變特性參數(shù)。接著，獲取部通過計算機模擬，使用所決定的蠕變特性參數(shù)，運算特定的溫度及應(yīng)力下的成形體1的應(yīng)變速度，求出成形體1的形狀的時間變化，由此，獲取成形體1的形狀數(shù)據(jù)。圖7是利用獲取部獲取的成形體1的形狀數(shù)據(jù)的一例。圖7表示沿著與利用成形體1成形所得的平板玻璃sg的表面垂直的方向觀察所得的成形體1。圖7中，相較實際情況強化地表示成形體1的蠕變變形。在圖7中，以虛線表示未使用的成形體1的形狀、即蠕變變形之前的成形體1的形狀，且以實線表示蠕變變形之后的成形體1的當(dāng)前形狀。獲取部是根據(jù)成形體1的基于蠕變變形的形狀數(shù)據(jù)，至少獲取成形體1的上表面3的鉛垂方向的位移量即上表面位移量。在圖7中，上表面位移量是蠕變變形前的上表面3與蠕變變形后的上表面3之間的鉛垂方向的尺寸。另外，在圖7中，表示成形體1的長邊方向上的上表面位移量的最大值即最大上表面位移量l。而且，獲取部獲取通過玻璃襯底形狀測定裝置(未圖示)測定所得的玻璃襯底的厚度數(shù)據(jù)。厚度數(shù)據(jù)是例如利用成形裝置200制造的玻璃襯底的厚度的寬度方向的輪廓。判定部判定由獲取部獲取的位移量l是否達(dá)到基準(zhǔn)量。此處，所謂基準(zhǔn)量是指當(dāng)對平板玻璃sg施加固定的張力(初始的張力)，將平板玻璃sg(玻璃襯底)成形為成形預(yù)定的厚度(例如0.1mm～0.8mm)時，板厚偏差可滿足±10μm的量。在未使施加至平板玻璃sg的張力自初始值變化的情形時，若位移量l超過基準(zhǔn)量，則平板玻璃sg的板厚偏差超過±10μm。因此，通過使施加至平板玻璃sg的張力相較初始張力增大，而以平板玻璃sg的板厚偏差成為±10μm以內(nèi)的方式控制平板玻璃sg的厚度?；鶞?zhǔn)量可因初始張力、平板玻璃sg的成形預(yù)定的板厚、及板厚偏差等而任意地變更，例如為3mm～30mm?？刂撇渴菍⒊尚误w1未沿著成形所得的平板玻璃sg的寬度方向(成形體1的長邊方向)移位時所施加且平板玻璃sg的厚度方向的剖面形狀成為目標(biāo)形狀的張力設(shè)為基準(zhǔn)張力(初始張力)，且以通過控制冷卻輥8的冷卻量而將平板玻璃sg的寬度方向的兩端部sga冷卻，由此施加至平板玻璃sg的張力成為基準(zhǔn)張力的方式進(jìn)行控制。在成形體1未移位的狀態(tài)下，通過在平板玻璃sg的寬度方向上施加基準(zhǔn)張力，平板玻璃sg成為成形預(yù)定的板厚，從而板厚偏差滿足±10μm。若在成形體1蠕變變形的狀態(tài)下，施加至平板玻璃sg的張力一直為基準(zhǔn)張力，則無法成為目標(biāo)形狀，例如無法成形為成形預(yù)定的板厚，而且，板厚偏差無法滿足±10μm。因此，控制部不僅施加基準(zhǔn)張力，而且對平板玻璃sg施加與成形體1的位移相應(yīng)的張力。此處，成形體1的位移是例如成形體1的長邊方向上的上表面位移。控制部是基于由獲取部獲取的成形體1的形狀數(shù)據(jù)，以平板玻璃sg的厚度成為成形預(yù)定的厚度的方式，而且，以平板玻璃sg的寬度方向的板厚偏差變小的方式，控制冷卻輥8的冷卻量，由此，控制對平板玻璃sg施加的張力。成形體1的形狀數(shù)據(jù)是例如成形體1的長邊方向上的上表面位移量的輪廓即形狀輪廓?？刂撇恳愿鶕?jù)形狀輪廓求得的上表面3的位移量越大，則朝向平板玻璃sg的寬度方向的張力變得越大的方式，控制冷卻輥8的冷卻量。作為根據(jù)形狀輪廓求得的上表面3的位移量，例如使用最大上表面位移量l。在成形體1的下端4成形的平板玻璃sg在離開下端4后，因自身的表面張力，中央?yún)^(qū)域sgb開始朝向?qū)挾确较虻闹醒胧湛s。因此，冷卻輥8將平板玻璃sg的兩端部sga冷卻使兩端部sga的粘度上升，以張力自中央?yún)^(qū)域sgb朝向兩端部sga施加的方式抑制平板玻璃sg在寬度方向上收縮，以使平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb的厚度達(dá)到均一。然而，若成形體1進(jìn)行蠕變變形，則平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb附近的熔融玻璃量增多，中央?yún)^(qū)域sgb的厚度產(chǎn)生變化。即，平板玻璃sg的厚度方向的剖面形狀不再為目標(biāo)形狀。圖8是表示因成形體1的蠕變變形，中央?yún)^(qū)域sgb附近的厚度增加的平板玻璃sg的圖。若成形體1進(jìn)行蠕變變形，則自上表面3的端部3a與端部3b之間溢出的熔融玻璃的量增多，故平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb附近的厚度增加。在圖8中，中央?yún)^(qū)域sgb附近的厚度相比成形預(yù)定的厚度最多變厚d1，從而中央?yún)^(qū)域sgb的厚度成為不均一。因此，控制部根據(jù)成形體1的形狀數(shù)據(jù)，使冷卻輥8的冷卻量變化，以自平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb朝向兩端部sga施加張力的方式抑制平板玻璃sg在寬度方向上收縮，以使平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb的厚度達(dá)到均一。圖9是表示成形體1的最大上表面位移量l與施加至平板玻璃sg的張力t的關(guān)系的圖。在圖9中，將最大上表面位移量l記作位移量l?？刂撇吭O(shè)為在利用判定部判定成形體1的最大上表面位移量l未超過l1的情形時，忽視成形體1的蠕變變形造成的平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb的厚度變化，不使對平板玻璃sg施加的張力t自初始值t1(位移量l的范圍：0以上小于l1)進(jìn)行變化。若成形體1的位移量l小于l1，則控制部不使冷卻輥8的冷卻量產(chǎn)生變化，以初始值t1維持張力t，由此，成形的平板玻璃sg的板厚偏差滿足±10μm。控制部設(shè)為在利用判定部判定成形體1的位移量l超過l1的情形時，如圖9所示，以與最大上表面位移量l對應(yīng)的張力t施加至平板玻璃sg的方式進(jìn)行控制。若最大上表面位移量l達(dá)到l1以上，則如圖8所示，平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb的厚度增加，厚度不再達(dá)到均一。因此，控制部以如下方式進(jìn)行控制：以與位移量l對應(yīng)的方式，將大于初始值t1的張力t＝t1+a×最大上表面位移量l(位移量l的范圍：l1以上小于lm，a：系數(shù))自平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb朝向兩端部sga地施加至平板玻璃sg?？刂撇渴请S著成形體1的變形變大，而增強兩端部sga的冷卻。具體而言，使冷卻輥8的冷卻量增加，從而使兩端部sga的粘度上升。若兩端部sga的粘度變高，則自中央?yún)^(qū)域sgb朝向兩端部sga的張力t變大，將位于平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb的熔融玻璃向兩端部sga拉伸，從而中央?yún)^(qū)域sgb的厚度接近于成形預(yù)定的厚度，厚度達(dá)到均一?？刂撇恳允箖啥瞬縮ga的粘度自例如109.0dpa·s增加至1014.5dpa·s為止，由此張力t變大的方式進(jìn)行控制。另外，在最大上表面位移量l的范圍為l1以上小于lm的情形時，通過將張力t控制為t1至tm，中央?yún)^(qū)域sgb的厚度向成形預(yù)定的厚度靠近，從而厚度達(dá)到均一，但在位移量l超過lm進(jìn)行移位的情形時，僅控制張力t，則難以一面使中央?yún)^(qū)域sgb的厚度向成形預(yù)定的厚度靠近，一面使厚度達(dá)到均一，因此，通過判定部判定已到達(dá)成形體1的定期更換時期。而且，因成形體1的蠕變變形，平板玻璃sg的局部的板厚偏差(表面凹凸差)也產(chǎn)生變化。平板玻璃sg的體積收縮量隨著自平板玻璃sg的端部sga朝向中央?yún)^(qū)域sgb而變大，因此，在平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb，拉伸應(yīng)力進(jìn)行作用。因中央?yún)^(qū)域sgb附近的厚度變厚，自兩端部sga朝向中央?yún)^(qū)域sgb的張力變大，故平板玻璃sg的表面凹凸差變大。圖10(a)是將圖4的a-a線的剖面放大所得的圖，圖10(b)是將圖4的b-b線的剖面放大所得的圖。在利用冷卻輥8對平板玻璃sg施加張力t之前，平板玻璃sg朝向中央?yún)^(qū)域sgb收縮，因此，平板玻璃sg的表面凹凸差成為d2，在利用冷卻輥8對平板玻璃sg施加張力t之后，平板玻璃sg的表面凹凸差成為小于d2的d3。若成形體1進(jìn)行蠕變變形，則平板玻璃sg的表面凹凸差d2、d3也變大。因此，通過以對應(yīng)于最大上表面位移量l的方式，施加自中央?yún)^(qū)域sgb朝向兩端部sga的張力t，而將平板玻璃sg向兩端部sga拉伸，故平板玻璃sg的表面凹凸差d3變小。為使中央?yún)^(qū)域sgb的厚度接近成形預(yù)定的厚度，而通過以對應(yīng)于最大上表面位移量l的方式施加張力t，使得平板玻璃sg的表面凹凸差d3變小，從而平板玻璃sg的中央?yún)^(qū)域sgb的厚度達(dá)到均一。而且，控制部也可以通過對平板玻璃sg施加張力t，而抑制存在產(chǎn)生于平板玻璃sg的搬運方向上的可能性的條紋。條紋是在特定的寬度范圍中平板玻璃sg的厚度(高度)變動所致的應(yīng)變的一種，且在平板玻璃sg的搬運方向上紋路狀地連續(xù)產(chǎn)生。而且，條紋的主要因素中也包括玻璃的粘度差。若通過控制部控制冷卻輥8的冷卻量而在平板玻璃sg的寬度方向上施加張力，則平板玻璃sg的表面凹凸的一種且局部地產(chǎn)生的條紋被拉伸至平板玻璃sg的兩端側(cè)sga，從而成形表面凹凸差變小且局部的板厚偏差滿足±10μm的平板玻璃sg。如以上所說明，可通過在成形體1的下端4，使對平板玻璃sg施加的平板玻璃sg的寬度方向的張力t對應(yīng)于成形體1的蠕變變形引起的位移量進(jìn)行變化，而一面使中央?yún)^(qū)域sgb的厚度接近成形預(yù)定的厚度，一面使厚度達(dá)到均一。在因成形體1的蠕變變形，成形體1的長邊方向的中央部向下方下垂而撓曲的情形時，可通過將冷卻輥8的冷卻量增大，使對平板玻璃sg施加的平板玻璃sg的寬度方向的張力t變大，而降低平板玻璃sg的寬度方向的板厚偏差。其結(jié)果，可降低作為最終產(chǎn)品的玻璃襯底的板厚偏差。而且，在使用液相溫度較高的玻璃及應(yīng)變點較高的玻璃的玻璃襯底的制造步驟中，成形體1的蠕變變形因成形體1的溫度容易增高而尤其容易成為問題。而且，近年來，因玻璃襯底不斷大型化，成形體的長邊方向的尺寸不斷變長，因此，存在蠕變變形造成的成形體1的撓曲變得更顯著的傾向。在本實施方式中，可通過調(diào)節(jié)冷卻輥8的冷卻量，使對平板玻璃sg施加的張力t變化，而有效地降低因成形體1的蠕變變形引起的平板玻璃sg的寬度方向的板厚偏差。根據(jù)本實施方式的制造方法，即便在構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物的液相溫度較高，且液相粘度較小的情形時，例如玻璃組合物為無堿玻璃、含微量堿玻璃等情形時，也可獲得抑制成形的平板玻璃的端部中的失透的效果。即，在構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物的液相溫度較高且液相粘度較小的情形時，通過本實施方式的制造方法獲得的優(yōu)點較大。在本實施方式的制造方法中，構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物的液相粘度為10000dpa·s以下。如此的玻璃組合物以往在溢流下拉法的平板玻璃的成形中容易產(chǎn)生端部中的失透問題。然而，在本實施方式的制造方法中，可獲得抑制失透的效果。本實施方式的制造方法中所用的熔融玻璃的液相粘度為100000dpa·s以下。液相粘度為100000dpa·s以下的玻璃組合物中，所述失透的問題變得更顯著，但本實施方式的制造方法獲得了抑制失透的效果。根據(jù)可穩(wěn)定地實施溢流下拉法的平板玻璃的成形的觀點，液相粘度優(yōu)選為80000dpa·s以上。構(gòu)成本實施方式的制造方法中所用的熔融玻璃的玻璃組合物的液相溫度優(yōu)選為1200℃以上1220℃以下。如此的玻璃組合物以往在溢流下拉法的平板玻璃的成形中容易產(chǎn)生端部中的失透問題。然而，本實施方式的制造方法獲得了抑制失透的效果。在本實施方式的制造方法中，熔融玻璃也可以含有氧化鋯及/或氧化錫。在含有氧化鋯的熔融玻璃中，與不含氧化鋯的情形相比，玻璃組合物的液相溫度上升。如此的熔融玻璃以往在溢流下拉法的平板玻璃的成形中容易產(chǎn)生端部中的失透問題。然而，本實施方式的制造方法獲得了抑制失透的效果。氧化鋯即便在作為玻璃組合物的成分原本包含于熔融玻璃的情形以外，也可以通過采用使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽及成形裝置而在熔融玻璃中熔出。尤其，在使用如此的熔解槽，將玻璃原料電熔解的情形時，存在熔融玻璃中的氧化鋯濃度變高的傾向。即，本實施方式的制造方法更適合于采用使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽將玻璃原料電熔解的情形。另外，使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽與以往廣泛使用的氧化鋁電鑄耐火材料所構(gòu)成的熔解槽相比，不易被玻璃腐蝕，從而作為熔解槽的使用壽命較長。而且，也可以抑制熔融玻璃發(fā)泡。因此，適于形成熔融溫度(玻璃組合物的粘度達(dá)到102.5泊的溫度)較高的玻璃組合物例如無堿玻璃及含微量堿玻璃的熔融玻璃。而且，在利用熔解槽形成的熔融玻璃包含無堿玻璃或含微量堿玻璃的情形時，玻璃組合物的電阻率容易變高，從而存在電流流入高氧化鋯耐火材料中而不流入玻璃原料中的傾向。若電流流入該耐火材料中，則氧化鋯在利用熔解槽形成的熔融玻璃中熔出。即，本實施方式的制造方法進(jìn)而適合于采用使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽，通過電熔解形成無堿玻璃或含微量堿玻璃的熔融玻璃的情形。液晶顯示器、有機el顯示器等的fpd(flatpaneldisplay，平板顯示器)用玻璃襯底中，優(yōu)選包含無堿玻璃或含微量堿玻璃的玻璃襯底。其原因在于，若在面板制造步驟中堿成分自玻璃襯底熔出，則存在薄膜晶體管(tft，thin-filmtransistor)等電子元件的特性劣化之虞。即，本實施方式的制造方法尤其適合于采用使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽將玻璃原料電熔解，且使用所得的熔融玻璃通過溢流下拉法制造平板顯示器用玻璃襯底的情形。另外，所謂無堿玻璃是指實質(zhì)上不含堿金屬氧化物(就含有率而言小于0.05質(zhì)量％)的玻璃組合物。所謂含微量堿玻璃是指含有0.05～2.0質(zhì)量％的堿金屬氧化物的玻璃組合物。含有氧化錫的熔融玻璃中，容易因氧化錫結(jié)晶化而產(chǎn)生失透。而且，在與氧化鋯共存的情形時，氧化錫具有使氧化鋯結(jié)晶化的作用。如此的熔融玻璃在以往利用溢流下拉法成形平板玻璃的過程中尤其容易產(chǎn)生端部中的失透問題。然而，本實施方式的制造方法獲得了抑制失透的效果。在本實施方式的制造方法中，構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物也可以是無堿玻璃或含微量堿玻璃。與含有超過2.0質(zhì)量％的堿金屬氧化物的堿玻璃相比，如此的無堿玻璃或含微量堿玻璃存在液相溫度較高且液相粘度較小的傾向，但本實施方式的制造方法獲得了抑制失透的效果。該效果如上所述在采用使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽通過電熔解形成無堿玻璃或含微量堿玻璃的熔融玻璃的情形時變得尤其顯著。另外，根據(jù)防止tft(thinfilmtransistor)等電子元件的特性劣化的觀點，無堿玻璃適合平板顯示器用玻璃襯底。其中，根據(jù)熔解性及清澄性的觀點，含微量堿玻璃適合平板顯示器用玻璃襯底。通過特意微量地含有堿金屬氧化物制成含微量堿玻璃，使得玻璃組合物的熔解性及清澄性提升。清澄性中因堿金屬氧化物的存在，而玻璃的堿性度上升，從而有助于價數(shù)變動的金屬變得容易氧化。而且，即便在使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽中通過玻璃原料的電熔解而形成熔融玻璃的情形時，也可以使玻璃的電阻率小于無堿玻璃，能夠抑制氧化鋯向熔融玻璃的熔出，從而能夠抑制熔融玻璃的失透性上升。在本實施方式的制造方法中，就構(gòu)成熔融玻璃的玻璃組合物而言，呈現(xiàn)102.5泊的粘度的溫度(熔融溫度)也可以是1500℃～1750℃。如此的玻璃組合物在熔融時需要高溫，因此，在通過使用高氧化鋯系耐火材料所構(gòu)成的熔解槽形成熔融玻璃的情形時，氧化鋯容易熔出。即便對于如此的玻璃組合物，本實施方式的制造方法也獲得了抑制失透的效果。作為利用本實施方式的制造方法制造的玻璃襯底中所含的玻璃成分，例如可列舉sio2、al2o3、b2o3、mgo、cao、sro、bao、li2o、na2o、k2o、zro2、tio2、zno、及p2o5。sio2是玻璃的骨架成分，因此是必須成分。若含量變少，則存在應(yīng)變點降低，熱膨脹系數(shù)增加的傾向。而且，若sio2含量過少，則難以使玻璃襯底實現(xiàn)低密度化。另一方面，若sio2含量過多，則存在熔融玻璃mg的電阻率上升，熔融溫度顯著變高從而難以熔解的傾向。若sio2含量過多，則也存在失透溫度上升，抗失透性降低的傾向。進(jìn)而，若sio2含量過多，則刻蝕速率變慢。根據(jù)如此的觀點，sio2的含量優(yōu)選為例如60～80mol％的范圍。sio2的含量更優(yōu)選為64～73mol％或65～75mol％，進(jìn)一步更優(yōu)選為66～72mol％，進(jìn)而更優(yōu)選為67～71mol％的范圍。al2o3是提高應(yīng)變點的必須成分。若al2o3含量過少，則應(yīng)變點降低。進(jìn)而，若al2o3含量過少，則存在楊氏模量及氧所進(jìn)行的刻蝕速率也降低的傾向。另一方面，若al2o3含量過多，則玻璃的失透溫度上升，抗失透性下降，故存在成形性惡化的傾向。根據(jù)如此的觀點，al2o3的含量為8～20mol％的范圍。al2o3的含量優(yōu)選為10～17mol％，更優(yōu)選為10.5～17mol％，更優(yōu)選為11～15mol％，進(jìn)而優(yōu)選為12～15mol％的范圍。b2o3是使玻璃的高溫粘性降低，改善熔融性的成分。即，因使熔融溫度附近的粘性降低，故改善熔解性。而且，b2o3也是使失透溫度降低的成分。若b2o3含量較少，則存在熔解性及抗失透性下降的傾向。若b2o3含量過多，則應(yīng)變點及楊氏模量下降。而且，因玻璃成形時b2o3的揮發(fā)，導(dǎo)致容易產(chǎn)生失透。尤其，應(yīng)變點較高的玻璃因存在成型溫度變高的傾向，故促進(jìn)所述揮發(fā)，從而失透的產(chǎn)生成為顯著的問題。而且，因玻璃熔解時b2o3的揮發(fā)，玻璃的非均質(zhì)變得顯著，變得容易產(chǎn)生條紋。根據(jù)如此的觀點，b2o3含量為0～15mol％，優(yōu)選為0～8mol％，更優(yōu)選為0～7mol％，進(jìn)而優(yōu)選為0.1～6mol％，更加優(yōu)選為1～5mol％，進(jìn)一步更優(yōu)選為1.5～4.5mol％的范圍。mgo是使熔解性提升的成分。而且，mgo是堿土類金屬之中使密度難以增加的成分，因此，若使該含量相對地增加，則容易實現(xiàn)低密度化?？赏ㄟ^含有mgo，而降低熔融玻璃mg的電阻率及熔融溫度。其中，若mgo的含量過多，則玻璃的失透溫度急劇上升，故尤其在成形步驟中容易出現(xiàn)失透。根據(jù)如此的觀點，mgo含量為0～15mol％，優(yōu)選為1～15mol％，更優(yōu)選為0～6mol％，進(jìn)而優(yōu)選為1～6mol％的范圍?；蛘?，mgo含量優(yōu)選為0～15mol％，更優(yōu)選為0～6mol％，進(jìn)而優(yōu)選為1～6mol％的范圍。cao是對于不使玻璃的失透溫度急劇地上升且提升玻璃的熔解性有效的成分。而且，cao是堿土類金屬氧化物之中使密度難以增加的成分，故若使該含量相對地增加，則容易實現(xiàn)低密度化。若含量過少，則存在產(chǎn)生熔融玻璃mg的電阻率上升及抗失透性下降的傾向。若cao含量過多，則存在熱膨脹系數(shù)增加，密度上升的傾向。根據(jù)如此的觀點，cao含量為0～20mol％，優(yōu)選為1～15mol％，更優(yōu)選為2～11mol％，進(jìn)而優(yōu)選為4～9mol％的范圍。sro是能夠降低玻璃的失透溫度的成分。sro雖非必須，但若含有sro，則抗失透性及熔解性提升。然而，若sro含量過多，則導(dǎo)致密度上升。根據(jù)如此的觀點，sro含量為0～15mol％，優(yōu)選為0～8mol％，更優(yōu)選為0～3mol％，進(jìn)而優(yōu)選為0～1mol％，更加優(yōu)選為0～0.5mol％的范圍，進(jìn)一步更優(yōu)選實質(zhì)上不含有。bao是能夠使玻璃的失透溫度及熔融玻璃mg的電阻率有效地下降的必須成分。若含有bao，則抗失透性及熔解性提升。然而，若bao的含量過多，則導(dǎo)致密度上升。而且，因環(huán)境負(fù)荷的觀點、及存在熱膨脹系數(shù)增大的傾向，故bao含量為0～15mol％或0.1～15mol％，優(yōu)選為1～15mol％，更優(yōu)選為1～10mol％，進(jìn)而優(yōu)選為1.5～6mol％的范圍。li2o及na2o是存在增大玻璃的熱膨脹系數(shù)導(dǎo)致熱處理時使襯底破損之虞的成分。而且，li2o及na2o也是使應(yīng)變點降低的成分。另一方面，因可使熔融玻璃mg的電阻率降低，故可通過含有l(wèi)i2o及na2o而抑制熔解槽被侵蝕。根據(jù)以上的觀點，li2o的含量優(yōu)選為0～0.5mol％，更優(yōu)選實質(zhì)上不含有。na2o的含量優(yōu)選為0～0.5mol％，更優(yōu)選為0～0.2mol％。另外，na2o是與li2o相比使應(yīng)變點更難以降低的成分，故優(yōu)選為na2o＞li2o。另外，根據(jù)防止自玻璃襯底熔出導(dǎo)致tft特性劣化的觀點，li2o及na2o優(yōu)選實質(zhì)上不含有。k2o是提升玻璃的堿性度促進(jìn)清澄性的成分。而且，k2o是使熔融玻璃mg的電阻率降低的成分。若含有k2o，則熔融玻璃mg的電阻率下降，故可防止電流流入至構(gòu)成熔解槽的耐火材料，從而可抑制熔解槽被侵蝕。而且，在構(gòu)成熔解槽的耐火材料含有氧化鋯的情形時，可抑制熔解槽被侵蝕，從而氧化鋯自熔解槽向熔融玻璃mg熔出，因此，也可以抑制氧化鋯引起的失透。而且，因可使熔解溫度附近的玻璃粘性降低，故熔解性與清澄性提升。另一方面，若k2o含量過多，則存在熱膨脹系數(shù)增大及應(yīng)變點降低的傾向。根據(jù)如此的觀點，k2o含量優(yōu)選為0～0.8mol％，更優(yōu)選為0.01～0.5mol％，進(jìn)而優(yōu)選為0.1～0.3mol％的范圍。zro2及tio2是使玻璃的應(yīng)變點提升的成分。然而，若zro2量及tio2量過多，則失透溫度顯著地上升，故存在抗失透性降低的傾向。尤其，zro2因熔點高導(dǎo)致難熔，而引發(fā)原料的一部分沉積在熔解槽的底部之類的問題。若該等未熔解的成分混入至玻璃毛坯，則作為內(nèi)含物而引起玻璃的品質(zhì)惡化。而且，tio2是使玻璃著色的成分，故對于顯示器用襯底較為欠佳。根據(jù)如此的觀點，在本實施方式的玻璃襯底中，zro2及tio2的含量優(yōu)選分別為0～5mol％，更優(yōu)選為0～2mol％的范圍，進(jìn)而優(yōu)選實質(zhì)上不含有。zno是使熔解性提升的成分。但并非必須成分。若zno含量過多，則存在失透溫度上升，應(yīng)變點降低，且密度上升的傾向。根據(jù)如此的觀點，zno含量優(yōu)選為0～5mol％，更優(yōu)選為0～2mol％的范圍，進(jìn)而優(yōu)選實質(zhì)上不含有。p2o5是使高溫粘性降低，使熔解性提升的成分。但并非必須成分。若p2o5含量過多則應(yīng)變點降低。而且，因玻璃熔解時p2o5的揮發(fā)，而導(dǎo)致玻璃的非均質(zhì)變得顯著，容易產(chǎn)生條紋。根據(jù)如此的觀點，p2o5含量優(yōu)選為0～3mol％，更優(yōu)選為0～1mol％，進(jìn)而優(yōu)選為0～0.5mol％的范圍，更加優(yōu)選實質(zhì)上不含有。適用本實施方式的玻璃襯底包含例如含有以下組成的無堿玻璃。sio2：55-80質(zhì)量％al2o3：8-20質(zhì)量％b2o3：0-18質(zhì)量％ro0～17摩爾％(ro為mgo、cao、sro及bao的總量)r,2o0～2摩爾％(r,2o為li2o、na2o及k2o的總量)。根據(jù)減小熱收縮率的觀點，優(yōu)選sio2為60～75質(zhì)量％，進(jìn)而為63～72質(zhì)量％。ro之中，優(yōu)選mgo為0～10質(zhì)量％，cao為0～10質(zhì)量％，sro為0～10質(zhì)量％，bao為0～10質(zhì)量％。而且，也可以是至少包含sio2、al2o3、b2o3、及ro且摩爾比((2×sio2)+al2o3)/((2×b2o3)+ro)為4.5以上的玻璃。而且，優(yōu)選包含mgo、cao、sro、及bao的至少任一個，且摩爾比(bao+sro)/ro為0.1以上。而且，優(yōu)選質(zhì)量％表示的b2o3的含有率的2倍與質(zhì)量％表示的ro的含有率的合計為30質(zhì)量％以下，優(yōu)選為10～30質(zhì)量％。進(jìn)而，熔融玻璃中價數(shù)變動的金屬的氧化物(氧化錫，氧化鉄)優(yōu)選合計含有0.05～1.5質(zhì)量％。優(yōu)選實質(zhì)上不含有as2o3、sb2o3、pbo，但也可以任意地含有該等。而且，玻璃中價數(shù)變動的金屬的氧化物(氧化錫、氧化鉄)合計含有0.05～1.5質(zhì)量％，且實質(zhì)上不含有as2o3、sb2o3及pbo的情況為任意而非必須。本實施方式中制造的玻璃襯底適合包含平板顯示器用玻璃襯底的顯示器用玻璃襯底。本實施方式中制造的玻璃襯底適合使用有igzo(銦、鎵、鋅、氧)等的氧化物半導(dǎo)體的氧化物半導(dǎo)體顯示器用玻璃襯底及使用有l(wèi)tps(低溫多晶硅)半導(dǎo)體的ltps顯示器用玻璃襯底。而且，本實施方式中制造的玻璃襯底適合要求堿金屬氧化物的含量極少的液晶顯示器用玻璃襯底。而且，也適合有機el顯示器用玻璃襯底。換言之，本實施方式的玻璃襯底的制造方法適合制造顯示器用玻璃襯底，尤其適合制造液晶顯示器用玻璃襯底。其他，也可以用作便攜式終端設(shè)備等的顯示器或殼體用的玻璃蓋板、觸控面板、太陽能電池的玻璃襯底或玻璃蓋板。本實施方式中制造的玻璃襯底尤其適合使用多晶硅tft的液晶顯示器用玻璃襯底。而且，本實施方式中制造的玻璃襯底也可以適用于玻璃蓋板、磁盤用玻璃、太陽能電池用玻璃襯底等。以上，對本實施方式的玻璃襯底的制造方法及玻璃襯底的制造裝置詳細(xì)地進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并非限定于所述實施方式，毋庸置疑，在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，可進(jìn)行各種改良或變更。(實施例)利用使用高氧化鋯系耐火材料的熔解槽，將以具有下述組成的方式調(diào)配而成的玻璃原料電熔解，形成熔融玻璃。接著，利用鉑合金制的清澄管將所形成的熔融玻璃清澄之后，利用攪拌槽進(jìn)行攪拌。接著，將熔融玻璃供給至成形裝置200(成形體1)，利用溢流下拉法成形平板玻璃。將平板玻璃的端部利用冷卻輥8以該端部的粘度成為1012.5dpa·s的方式冷卻而成形的平板玻璃進(jìn)行緩冷之后截斷，獲得厚度為0.4mm且尺寸為2200mm×2500mm的平板顯示器用玻璃襯底。另外，該玻璃組合物的液相粘度為50000dpa·s，且應(yīng)變點為715℃。sio2：61.5質(zhì)量％，al2o3：20質(zhì)量％，b2o3：8.4質(zhì)量％，cao：10質(zhì)量％，sno2：0.1質(zhì)量％。使自玻璃供給管106供給至成形體1的供給槽2中的熔融玻璃的最大溫度差、熔融玻璃的粘度(基于平均粘度的粘度)進(jìn)行變化，測定平板玻璃(玻璃襯底)的板厚偏差。其結(jié)果示于表1中。[表1]最大溫度差(℃)粘度(dpa)板厚偏差(μm)實施例120220002.0實施例220320001.6實施例320380003.5比較例1202200011.2比較例2204000012.8實施例430220007.9實施例530320005.2實施例630380006.3比較例3302000014.0比較例4304000013.1比較例5352200017.8比較例6353200015.9比較例7353800018.4如表1所示，在熔融玻璃的最大溫度差為30℃以下且熔融玻璃的粘度(基于平均粘度的粘度)為22000dpa·s以上38000dpa·s以下的實施例1～6中，板厚偏差達(dá)到10μm以下，從而可抑制板厚偏差。另一方面，在熔融玻璃的最大溫度差超過30℃的情形時、熔融玻璃的粘度(基于平均粘度的粘度)小于22000dpa·s的情形時、及熔融玻璃的粘度超過38000dpa·s的情形時的比較例1～7中，板厚偏差變得大于10μm。由此，可確認(rèn)為使平板玻璃的板厚偏差成為10μm以下，將供給至成形體1的供給槽2中的熔融玻璃的最大溫度差設(shè)為30℃以下，且將熔融玻璃的粘度(基于平均粘度的粘度)設(shè)為22000dpa·s以上38000dpa·s以下即可。[符號的說明]100溶熔解裝置101溶熔解槽102清澄管103攪拌槽103a攪拌棒104、105輸送管106玻璃供給管200成形裝置300截斷裝置mg熔融玻璃sg平板玻璃sga(平板玻璃的)端部1成形體2供給槽3上表面3a、3b(上表面的)端部4下端5壁面6a、6b導(dǎo)件7液面8冷卻輥當(dāng)前第1頁12