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一種原位制備氧化銻薄膜的方法與流程

文檔序號(hào):12775406閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:是將基片浸沒于三氯化銻、三乙醇胺和氫氧化鈉配成的前驅(qū)體溶液中,使基片表面原位生成氧化銻前驅(qū)體薄膜,而后將氧化銻前驅(qū)體薄膜干燥,焙燒,即得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于,包括如下步驟:

(1)將三乙醇胺加入濃度為0.01-10mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至8-12.5,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將基片浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在40-100℃溫度下反應(yīng)0.1-100h,而后取出基片用去離子水清洗干凈,烘干,在100-1000℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒0.5-10h,得到氧化銻薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述步驟(1)中,是將三乙醇胺加入濃度為4-6mol/L的氯化銻溶液中。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述調(diào)節(jié)液為氫氧化鈉或氫氧化鉀。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述步驟(1)中是將溶液pH值調(diào)節(jié)至9-10。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述步驟(2)中,是將基片浸入到前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在65-75℃溫度下反應(yīng)0.5-4h,而后取出基片用去離子水清洗干凈,烘干,在400-550℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒3-5h,得到氧化銻薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:步驟(2)所述的焙燒方法是以2-15℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述基片為FTO導(dǎo)電玻璃、ITO導(dǎo)電玻璃或金屬基片。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述金屬基片為銅、鋁或鋼。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原位制備氧化銻薄膜的方法,其特征在于:所述基片在浸沒于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過丙酮、無水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

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