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一種原位制備氧化銻薄膜的方法與流程

文檔序號(hào):12775406閱讀:742來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明涉及一種制備氧化銻薄膜的方法,特別是一種原位制備氧化銻薄膜的方法。



背景技術(shù):

氧化銻是一種重要的半導(dǎo)體材料,具有一系列獨(dú)特的物化性質(zhì),已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用于工業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域,如作為橡膠、塑料以及織布產(chǎn)品的阻燃劑、催化劑、氣體傳感器和鋰離子電池的填料、玻璃的澄清劑、電催化材料等。

根據(jù)材料的用途和適用范圍的差異,往往對(duì)合成材料的形貌有所特定要求。過(guò)去的十年中,氧化銻多以粉體的形式生產(chǎn)制備,特別是納米氧化銻材料,已經(jīng)成功合成出納米棒、納米管、納米帶、納米線和空心球等多種形貌的微納材料。合成方法主要包括微乳液法、水熱或溶劑熱法、沉淀法、氣相沉淀法、氣固法、電化學(xué)法、生物合成法等溶液法。

但是,目前針對(duì)于氧化銻薄膜制備的方法及技術(shù)相對(duì)較少,特別是在低溫常壓、不添加任何表面活性劑或催化劑的條件下,在襯底上原位制備氧化銻的技術(shù)幾乎還是空白。

原位制備技術(shù)是一種廣泛采用的在各種材質(zhì)襯底上制備無(wú)機(jī)薄膜的技術(shù),其具有試驗(yàn)設(shè)備簡(jiǎn)單,成本低廉,節(jié)省能源,在平整表面和不規(guī)則表面均能較大面積成膜,其易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。但是,還未有成功采用原位生長(zhǎng)制備技術(shù)在各種不同襯底上制備氧化銻薄膜的報(bào)道。因此,有必要開(kāi)發(fā)一種反應(yīng)溫和的原位生長(zhǎng)制備氧化銻薄膜的方法。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于,提供一種原位制備氧化銻薄膜的方法。本發(fā)明彌補(bǔ)了氯化銻薄膜原位生長(zhǎng)的技術(shù)缺失,實(shí)現(xiàn)了在低溫常壓下制備氯化銻薄膜,且具有所用設(shè)備簡(jiǎn)單,生長(zhǎng)速率快,在平整表面和不規(guī)則表面均能大面積成膜的特點(diǎn),且具有能耗低,成膜均一性好,易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化的特點(diǎn)。

本發(fā)明的技術(shù)方案:一種原位制備氧化銻薄膜的方法,是將基片浸沒(méi)于三氯化銻、三乙醇胺和氫氧化鈉配成的前驅(qū)體溶液中,使基片表面原位生成氧化銻前驅(qū)體薄膜,而后將氧化銻前驅(qū)體薄膜干燥,焙燒,即得。

前述原位制備氧化銻薄膜的方法,包括如下步驟:

(1)將三乙醇胺加入濃度為0.01-10mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至8-12.5,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將基片浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在40-100℃溫度下反應(yīng)0.1-100h,而后取出基片用去離子水清洗干凈,烘干,在100-1000℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒0.5-10h,得到氧化銻薄膜。

前述原位制備氧化銻薄膜的方法,所述步驟(1)中,是將三乙醇胺加入濃度為4-6mol/L的氯化銻溶液中。

前述原位制備氧化銻薄膜的方法,所述調(diào)節(jié)液為氫氧化鈉或氫氧化鉀。

前述原位制備氧化銻薄膜的方法,所述步驟(1)中是將溶液pH值調(diào)節(jié)至9-10。

前述原位制備氧化銻薄膜的方法,所述步驟(2)中,是將基片浸入到前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在65-75℃溫度下反應(yīng)0.5-4h,而后取出基片用去離子水清洗干凈,烘干,在400-550℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒3-5h,得到氧化銻薄膜。

前述的原位制備氧化銻薄膜的方法,步驟(2)所述的焙燒方法是以2-15℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

前述的原位制備氧化銻薄膜的方法,所述基片為FTO導(dǎo)電玻璃、ITO導(dǎo)電玻璃或金屬基片。

前述的原位制備氧化銻薄膜的方法,所述金屬基片為銅、鋁或鋼。

前述的原位制備氧化銻薄膜的方法,所述基片在浸沒(méi)于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過(guò)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

本發(fā)明的有益效果:

1、根據(jù)申請(qǐng)人研發(fā)團(tuán)隊(duì)長(zhǎng)期摸索,原位制備氯化銻薄膜的技術(shù)難點(diǎn)及關(guān)鍵點(diǎn)在于趨于過(guò)飽和度的澄清前驅(qū)體溶液的配制,為避免氧化銻薄膜不是簡(jiǎn)單的由沉淀物堆積而成,實(shí)現(xiàn)其在各種基底表面原位生長(zhǎng),本發(fā)明通過(guò)加入適量的三乙醇胺,并控制反應(yīng)溫度和pH值,讓三乙醇胺先與Sb3+生成絡(luò)合物,讓Sb3+以絡(luò)合物的形式儲(chǔ)存起來(lái),在一定條件下保持溶液中Sb3+濃度的穩(wěn)定,防止Sb3+與OH-直接在溶液中發(fā)生反應(yīng),生成顆粒狀沉淀,通過(guò)調(diào)節(jié)合適的反應(yīng)條件,讓Sb3+逐漸析出參與反應(yīng),在基底上原位生長(zhǎng)納米薄膜;

2、本發(fā)明在低溫常壓、不添加任何表面活性劑或催化劑的條件下,在襯底上原位制備氧化銻,簡(jiǎn)化了氯化銻薄膜制備的工藝,降低了制造成本;

3、本發(fā)明方法具有設(shè)備簡(jiǎn)單,生長(zhǎng)速率快,在平整表面和不規(guī)則表面均能大面積成膜的優(yōu)點(diǎn),因而能耗低,成膜均一性好,易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化,具有良好的應(yīng)用前景。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明,但并不作為對(duì)本發(fā)明限制的依據(jù)。

本發(fā)明的實(shí)施例

實(shí)施例1、一種原位制備氧化銻薄膜的方法,步驟如下:

(1)將三乙醇胺(按常規(guī)用量)加入濃度為5mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至9.5,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將FTO導(dǎo)電玻璃浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在70℃溫度下反應(yīng)3h,而后取出FTO導(dǎo)電玻璃用去離子水清洗干凈,烘干,在450℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒4h,得到氧化銻薄膜。

步驟(2)所述的焙燒方法是以8℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

所述FTO導(dǎo)電玻璃在浸沒(méi)于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過(guò)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

實(shí)施例2、一種原位制備氧化銻薄膜的方法,步驟如下:

(1)將三乙醇胺(按常規(guī)用量)加入濃度為0.01-4mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至8-9,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將ITO導(dǎo)電玻璃浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在40-65℃溫度下反應(yīng)0.1-0.5h,而后取出ITO導(dǎo)電玻璃用去離子水清洗干凈,烘干,在100-400℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒0.5-3h,得到氧化銻薄膜。

步驟(2)所述的焙燒方法是以2-5℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

所述ITO導(dǎo)電玻璃片在浸沒(méi)于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過(guò)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

實(shí)施例3、一種原位制備氧化銻薄膜的方法,步驟如下:

(1)將三乙醇胺(按常規(guī)用量)加入濃度為4-5mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至9-9.5,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將銅片浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在65-70℃溫度下反應(yīng)0.5-3h,而后取出銅片用去離子水清洗干凈,烘干,在400-450℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒3-4h,得到氧化銻薄膜。

步驟(2)所述的焙燒方法是以5-8℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

所述銅片在浸沒(méi)于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過(guò)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

實(shí)施例4、一種原位制備氧化銻薄膜的方法,步驟如下:

(1)將三乙醇胺(按常規(guī)用量)加入濃度為5-6mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至9.8-10,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將鋁片浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在70-75℃溫度下反應(yīng)3-4h,而后取出鋁片用去離子水清洗干凈,烘干,在450-550℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒4-5h,得到氧化銻薄膜。

步驟(2)所述的焙燒方法是以8-12℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

所述鋁片在浸沒(méi)于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過(guò)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

實(shí)施例5、一種原位制備氧化銻薄膜的方法,步驟如下:

(1)將三乙醇胺加入濃度為6-10mol/L的氯化銻溶液中并攪拌充分,最后加入調(diào)節(jié)液調(diào)節(jié)溶液pH至10-12.5,得到澄清透明的氧化銻前驅(qū)體溶液;

(2)將鋼片浸入到步驟(1)配制的前驅(qū)體溶液中,將反應(yīng)容器置于水浴鍋中,在75-100℃溫度下反應(yīng)4-100h,而后取出鋼片用去離子水清洗干凈,烘干,在550-1000℃下空氣氣氛中進(jìn)行焙燒5-10h,得到氧化銻薄膜。

步驟(2)所述的焙燒方法是以12-15℃/min的升溫速度進(jìn)行升溫。

所述鋼片在浸沒(méi)于前驅(qū)體溶液之前需依次經(jīng)過(guò)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水和超聲清洗,然后干燥后待用。

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