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一種碳化硅加工用長(zhǎng)晶爐的制作方法

文檔序號(hào):11614778閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種碳化硅加工用長(zhǎng)晶爐,包括固定桿(1)、長(zhǎng)晶爐主體(7)、緩沖塊(11)和溫度顯示屏(13),其特征在于:所述固定桿(1)的底側(cè)安裝有爐蓋(2),且爐蓋(2)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有調(diào)控板(3),所述調(diào)控板(3)的外壁鑲嵌有濕氣進(jìn)口(5),且調(diào)控板(3)的頂端和泄壓管(4)相連接,所述長(zhǎng)晶爐主體(7)固定于爐蓋(2)的底側(cè),且長(zhǎng)晶爐主體(7)的內(nèi)壁設(shè)置有隔熱層(8),所述長(zhǎng)晶爐主體(7)的內(nèi)側(cè)安裝有長(zhǎng)晶板(9),且長(zhǎng)晶板(9)的兩側(cè)設(shè)置有散熱口(10),所述緩沖塊(11)設(shè)置于散熱口(10)的內(nèi)側(cè),且緩沖塊(11)的中部固定有加熱裝置(12),所述溫度顯示屏(13)鑲嵌于加熱裝置(12)的底端,所述爐蓋(2)的外圈鑲嵌有密封圈(15),且密封圈(15)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有排濕口(16)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅加工用長(zhǎng)晶爐,其特征在于:所述濕氣進(jìn)口(5)的底側(cè)固定有濕度檢測(cè)裝置(6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅加工用長(zhǎng)晶爐,其特征在于:所述長(zhǎng)晶板(9)呈凹槽狀結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅加工用長(zhǎng)晶爐,其特征在于:所述排濕口(16)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有透氣網(wǎng)罩(14)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅加工用長(zhǎng)晶爐,其特征在于:所述加熱裝置(12)和溫度顯示屏(13)之間為電性連接。

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