本實用新型涉及碳化硅長晶爐裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種碳化硅加工用長晶爐。

背景技術(shù)：

碳化硅晶體生長的過程中需要用到長晶爐，現(xiàn)有的長晶爐結(jié)構(gòu)較為復雜，長晶過程中濕度不能控制，為此，我們提出一種更實用的碳化硅加工用長晶爐。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種碳化硅加工用長晶爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的結(jié)構(gòu)較為復雜和長晶過程中濕度不能控制的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種碳化硅加工用長晶爐，包括固定桿、長晶爐主體、緩沖塊和溫度顯示屏，所述固定桿的底側(cè)安裝有爐蓋，且爐蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)置有調(diào)控板，所述調(diào)控板的外壁鑲嵌有濕氣進口，且調(diào)控板的頂端和泄壓管相連接，所述長晶爐主體固定于爐蓋的底側(cè)，且長晶爐主體的內(nèi)壁設(shè)置有隔熱層，所述長晶爐主體的內(nèi)側(cè)安裝有長晶板，且長晶板的兩側(cè)設(shè)置有散熱口，所述緩沖塊設(shè)置于散熱口的內(nèi)側(cè)，且緩沖塊的中部固定有加熱裝置，所述溫度顯示屏鑲嵌于加熱裝置的底端，所述爐蓋的外圈鑲嵌有密封圈，且密封圈的內(nèi)側(cè)設(shè)置有排濕口。

優(yōu)選的，所述濕氣進口的底側(cè)固定有濕度檢測裝置。

優(yōu)選的，所述長晶板呈凹槽狀結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述排濕口的內(nèi)側(cè)設(shè)置有透氣網(wǎng)罩。

優(yōu)選的，所述加熱裝置和溫度顯示屏之間為電性連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該碳化硅加工用長晶爐結(jié)構(gòu)簡單新穎，通過可拆卸的爐蓋使得碳化硅的取放變得更為便捷，其濕度檢測裝置的設(shè)計，可實時檢測長晶爐內(nèi)的濕度，使?jié)穸缺３衷谝粋€最佳的范圍內(nèi)，更利于碳化硅長晶的速度，并且通過濕氣進口和排濕口的配合，使得爐內(nèi)多余的濕氣能夠及時的排出，其長晶板呈凹槽狀結(jié)構(gòu)，使得長出的晶體聚集在一起，避免晶體的散亂，碳化硅生長晶體的過程中，密封圈可保證爐內(nèi)的密閉性，且通過泄壓口調(diào)節(jié)內(nèi)外的氣壓，使得長晶的環(huán)境保持穩(wěn)定的狀態(tài)，大大提高了碳化硅長晶爐的實用性。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型爐蓋俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、固定桿，2、爐蓋，3、調(diào)控板，4、泄壓管，5、濕氣進口，6、濕度檢測裝置，7、長晶爐主體，8、隔熱層，9、長晶板，10、散熱口，11、緩沖塊，12、加熱裝置，13、溫度顯示屏，14、透氣網(wǎng)罩，15、密封圈，16、排濕口。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-2，本實用新型提供一種技術(shù)方案：一種碳化硅加工用長晶爐，包括固定桿1、爐蓋2、調(diào)控板3、泄壓管4、濕氣進口5、濕度檢測裝置6、長晶爐主體7、隔熱層8、長晶板9、散熱口10、緩沖塊11、加熱裝置12、溫度顯示屏13、透氣網(wǎng)罩14、密封圈15和排濕口16，固定桿1的底側(cè)安裝有爐蓋2，且爐蓋2的內(nèi)側(cè)設(shè)置有調(diào)控板3，調(diào)控板3的外壁鑲嵌有濕氣進口5，且調(diào)控板3的頂端和泄壓管4相連接，濕氣進口5的底側(cè)固定有濕度檢測裝置6，長晶爐主體7固定于爐蓋2的底側(cè)，且長晶爐主體7的內(nèi)壁設(shè)置有隔熱層8，長晶爐主體7的內(nèi)側(cè)安裝有長晶板9，且長晶板9的兩側(cè)設(shè)置有散熱口10，長晶板9呈凹槽狀結(jié)構(gòu)，緩沖塊11設(shè)置于散熱口10的內(nèi)側(cè)，且緩沖塊11的中部固定有加熱裝置12，溫度顯示屏13鑲嵌于加熱裝置12的底端，加熱裝置12和溫度顯示屏13之間為電性連接，爐蓋2的外圈鑲嵌有密封圈15，且密封圈15的內(nèi)側(cè)設(shè)置有排濕口16，排濕口16的內(nèi)側(cè)設(shè)置有透氣網(wǎng)罩14，能夠及時通風。

工作原理：在使用碳化硅加工用長晶爐之前，首先需要對整個長晶爐進行簡單的結(jié)構(gòu)的了解，對于這類的長晶爐先將固定桿1拆卸拿起爐蓋2，將碳化硅放置到長晶爐主體7內(nèi)的長晶板9上，此時爐蓋2閉合，密封圈15可保證爐內(nèi)的密閉性，長晶過程中加熱裝置12對爐內(nèi)進行加熱，隔熱層8能夠減少爐內(nèi)熱量的流失，并且濕度檢測裝置6可實時檢測長晶爐內(nèi)的濕度，使?jié)穸缺３衷谝粋€最佳的范圍內(nèi)，更利于碳化硅長晶的速度，當濕度過多時濕氣會從濕氣進口5流到排濕口16處排出，其緩沖塊11可為晶體提供緩沖的空間，避免移動對晶體造成影響，通過透氣網(wǎng)罩14可實現(xiàn)日常爐內(nèi)的通風，使得整個碳化硅長晶的效率得到很好的提高，就這樣完成整個碳化硅加工用長晶爐的使用過程。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。