技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種硅片提拉裝置，包括加熱爐以及控制系統(tǒng)，加熱爐內(nèi)設(shè)置有鉗鍋，熔化區(qū)上方固定設(shè)置加熱器，加熱爐設(shè)置有進(jìn)料管以及進(jìn)氣嘴，主區(qū)上方固定設(shè)置有換熱器；籽晶棒與艙門(mén)外設(shè)置的提拉機(jī)構(gòu)連接；加熱爐上還設(shè)置有第一高溫計(jì)和第二高溫計(jì)。一種控制方法，a、向鉗鍋的溶化區(qū)中加入硅料，對(duì)熔化區(qū)內(nèi)的硅料進(jìn)行加熱融化；b、籽晶進(jìn)入腔體后，接觸熔體，保持3?5min，然后開(kāi)啟換熱器，反轉(zhuǎn)電機(jī)，使籽晶棒向外移動(dòng)；當(dāng)提拉機(jī)構(gòu)觸發(fā)限位開(kāi)關(guān)后，提拉機(jī)構(gòu)向上運(yùn)動(dòng)截?cái)喙杵?。采用此方法獲得的硅片由于結(jié)晶時(shí)不會(huì)被坩堝污染，所以雜質(zhì)含量少，材料損耗預(yù)期減少50%。

技術(shù)研發(fā)人員：丁建寧;許嘉偉;袁寧一;張新偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州大學(xué)
文檔號(hào)碼：201621461826
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.07.28