技術(shù)編號：11658364
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種硅片提拉裝置。背景技術(shù)硅是一種非金屬，原子序數(shù)14，相對原子質(zhì)量28.0855g/mol，在半導(dǎo)體領(lǐng)域以及光伏領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有成熟技術(shù)中，通常使用直拉法(CZ法)以及區(qū)熔法(HZ法)生產(chǎn)單晶硅。在半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)多使用單晶硅，光伏產(chǎn)業(yè)中單晶硅以及多晶硅都有應(yīng)用。在傳統(tǒng)垂直提拉法生長單晶硅工藝中，由于需要獲得超薄的硅片，需要進行大量后處理(線切割、打磨拋光等)，在后處理的過程中大量的原料被浪費，從而導(dǎo)致生產(chǎn)成本的大大增加，為了減少材料的損耗，開發(fā)了多種直接硅片制造工藝，如導(dǎo)模法...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。