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藍寶石單晶爐的電氣控制系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11482593閱讀:681來源:國知局

本實用新型涉及一種藍寶石單晶爐的電氣控制系統(tǒng),尤其是一種用于藍寶石單晶爐的電氣控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)藍寶石爐的全自動長晶的電氣控制系統(tǒng)。



背景技術:

隨著全球新能源市場的迅速發(fā)展,LED產(chǎn)業(yè)逐漸成為能源工業(yè)新的增長點,已經(jīng)具備了趕超其他節(jié)能產(chǎn)業(yè)的能力,在世界范圍內(nèi)呈現(xiàn)迅猛發(fā)展之勢。

藍寶石單晶爐是LED產(chǎn)業(yè)鏈中重要的晶體生長設備,該設備通過高溫將坩堝中的三氧化二鋁原料熔化,并重新結晶形成單晶體。因此能夠直觀顯示長晶工藝流程的全自動藍寶石電氣控制系統(tǒng)直接決定了晶體生長周期及品質(zhì),同時,該系統(tǒng)也降低了設備對長晶人員的依賴。傳統(tǒng)的藍寶石單晶爐由于采用靠人的直接觀察進行相關的調(diào)節(jié),使得設備對操作人員的依賴很大,同時對長晶人員的大量需求。



技術實現(xiàn)要素:

發(fā)明目的本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有藍寶石長晶爐對操作人員的依賴,效率低等缺點,提供一種新型可靠的能夠直觀顯示長晶工藝流程的全自動藍寶石電氣控制系統(tǒng)。

技術方案:本發(fā)明所述的一種用于藍寶石電氣控制系統(tǒng),包括顯示器、中央處理單元、影像采集系統(tǒng)、輸入/輸出控制模塊和電源系統(tǒng);所述中央處理單元包括通訊模塊、計算機和可編程控制器;所述顯示器、影像采集系統(tǒng)和電源系統(tǒng)通過中央處理單元相連;所述的可編程控制器與輸入/輸出控制模塊相連,輸入/輸出控制模塊包括運動控制模塊、藍寶石晶體生長速度控制模塊。

所述藍寶石晶體生長速度控制模塊與爐內(nèi)溫度模塊、保護氣體模塊和冷卻水模塊相連接。

所述運動控制模塊包括旋轉(zhuǎn)模塊和提拉模塊。

所述運動控制模塊與藍寶石晶體生長速度控制模塊相連接。

所述旋轉(zhuǎn)模塊轉(zhuǎn)速為0.02rmb-30rmb、提拉模塊的速度為0.01mm/h-5400mm/h。

所述顯示器為工業(yè)顯示器。

所述影像采集系統(tǒng)為CCD影像采集系統(tǒng)。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比,其有益效果是:采用上述結構后,操作人員可以通過顯示器設置藍寶石長晶爐生長所需的參數(shù)。在藍寶石晶體引晶過程中,CCD影像采集系統(tǒng)實時監(jiān)測爐內(nèi)的晶體生長狀態(tài),稱重系統(tǒng)時刻記錄晶體重量,并將數(shù)據(jù)通過通訊模塊傳給中央控制系統(tǒng),中央控制系統(tǒng)根據(jù)情況來調(diào)整爐內(nèi)溫度、旋轉(zhuǎn)提拉速度等參數(shù)。整個系統(tǒng)采用模塊化設計,系統(tǒng)結構簡單,運行穩(wěn)定可靠,可以對藍寶石晶體生長過程實現(xiàn)全程監(jiān)控,并自動調(diào)節(jié)藍寶石晶體生長所需要的工藝參數(shù)。

附圖說明

圖1為本實用新型的藍寶石單晶爐電氣控制系統(tǒng)結構示意圖。

具體實施方式

下面對本發(fā)明技術方案進行詳細說明,但是本發(fā)明的保護范圍不局限于所述實施例。

實施例1:

如圖1所示的藍寶石電氣控制系統(tǒng),包括顯示器5、中央處理單元1、影像采集系統(tǒng)6、輸入/輸出控制模塊8和電源系統(tǒng)7,所述中央處理單元1包括通訊模塊3、計算機2和可編程控制器4;所述顯示器5、影像采集系統(tǒng)6和電源系統(tǒng)7通過中央處理單元1相連;所述的可編程控制器4與輸入/輸出控制模塊8相連,輸入/輸出控制模塊8包括運動控制模塊9、藍寶石晶體生長速度控制模塊10。本發(fā)明方案采用模塊化設計,各模塊之間功能分配明了,由中央處理單元1進行總體的協(xié)調(diào)控制。

所述藍寶石晶體生長速度控制模塊10與爐內(nèi)溫度模塊、保護氣體模塊和冷卻水模塊相連接。

所述運動控制模塊9與藍寶石晶體生長速度控制模塊相連接10。

所述影像采集系統(tǒng)6為CCD影像采集系統(tǒng),可以實時監(jiān)測爐內(nèi)的晶體生長狀態(tài)。

在藍寶石晶體引晶過程中,通過CCD影像采集系統(tǒng)實時監(jiān)測爐內(nèi)的晶體生長狀態(tài),通過稱重系統(tǒng)時刻記錄晶體重量,并將數(shù)據(jù)通過通訊模塊3傳給中央處理單元1,中央處理單元1通過輸入輸出控制模塊8根據(jù)情況來調(diào)整爐內(nèi)溫度、旋轉(zhuǎn)提拉速度等參數(shù),并自動調(diào)節(jié)藍寶石晶體生長所需要的工藝參數(shù),從而達到滿足晶體生長所需的各項參數(shù)指標。

當然,藍寶石晶體生長速度控制模塊10所連接的控制器可以更多,可以是其它與藍寶石晶體生長參數(shù)所相關的控制器,這樣的變換均落在本發(fā)明保護的范圍之內(nèi)。

如上所述,盡管參照特定的優(yōu)選實施例已經(jīng)表示和表述了本發(fā)明,但其不得解釋為對本發(fā)明自身的限制。在不脫離所附權利要求定義的本發(fā)明的精神和范圍前提下,可對其在形式上和細節(jié)上作出各種變化。

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