藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，特別是一種藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]市場上的藍(lán)寶石爐生長提拉機(jī)構(gòu)，都是通過相互垂直的兩套滑軌來實(shí)現(xiàn)籽晶的前后移動(dòng)、左右移動(dòng)，無法實(shí)現(xiàn)前后擺動(dòng)，左右擺動(dòng)。這種結(jié)構(gòu)無法調(diào)整，因提拉軸在豎直方向上傾斜(零件制造、裝配精度或提拉軸受力后變形等因素造成)造成的籽晶位置偏離，而籽晶偏離熱場中心易造成長晶困難或長晶失?。贿@種結(jié)構(gòu)在長晶過程中如發(fā)生粘鍋，也缺乏有效解決辦法，容易長晶失??；這種提拉機(jī)構(gòu)需要兩套滑軌和對角安裝的兩個(gè)稱重計(jì)，機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種滿足晶體生長各種工藝要求的藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)，包括:機(jī)架，在所述機(jī)架內(nèi)穿設(shè)有支撐軸；直線模組，所述直線模組設(shè)置在所述機(jī)架上，在所述直線模組上設(shè)有提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)；提拉基座，所述提拉基座設(shè)置在所述直線模組上，所述提拉基座與所述提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)連接；承重頭，所述承重頭的一端通過轉(zhuǎn)軸與所述提拉基座轉(zhuǎn)動(dòng)連接；承重桿，所述承重桿通過緊固螺栓與所述承重頭固定；提拉軸座，所述提拉軸座套設(shè)在所述承重桿的外側(cè)，在所述提拉軸座上設(shè)有回旋接頭，所述回旋接頭與回旋伺服馬達(dá)連接；提拉軸，所述提拉軸穿設(shè)于所述提拉軸座，所述提拉軸的一端與所述回旋接頭連接；稱重計(jì)，所述稱重計(jì)設(shè)置在所述提拉基座上，所述稱重計(jì)前端的調(diào)節(jié)稱重壓頭與所述承重頭的另一端貼合。
[0005]在所述承重桿的外側(cè)還設(shè)有調(diào)整螺母，所述調(diào)整螺母套設(shè)置在提拉軸座的外側(cè)，在所述提拉軸座的外側(cè)設(shè)有與所述調(diào)整螺母內(nèi)壁上的內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋。
[0006]在所述機(jī)架上設(shè)有鎖緊機(jī)構(gòu)。在所述承重桿的外側(cè)設(shè)有緊定螺釘。
[0007]本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)籽晶能夠升降、旋轉(zhuǎn)、前后移動(dòng)、左右移動(dòng)、前后擺動(dòng)，左右擺動(dòng)，容易調(diào)整籽晶位置，滿足晶體生長各種工藝要求；在晶體生長過程中出現(xiàn)異常情況(粘鍋)，可以通過輕微擺動(dòng)提拉軸，配合提高熱場溫度，有效解決問題；杠桿式機(jī)械機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，剛性穩(wěn)定，成本較低。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)測試圖及局部放大圖。
[0010]本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)附圖中附圖標(biāo)記說明:
[0011]1-支撐軸2-機(jī)架3-鎖緊機(jī)構(gòu)
[0012]4-直線模組5-提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)6-承重頭
[0013]7-調(diào)整螺母8-回旋接頭9-回旋伺服馬達(dá)
[0014]10-稱重計(jì)11-提拉基座12-轉(zhuǎn)軸
[0015]13-籽晶14-承重桿15-緊定螺釘
[0016]16-緊固螺栓17-提拉軸座18-提拉軸
[0017]19-稱重壓頭
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0019]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)的機(jī)架2繞支撐軸I旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)籽晶13前后移動(dòng)。籽晶13到達(dá)合適位置后，可通過鎖緊機(jī)構(gòu)3鎖緊，防止繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)；提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)5驅(qū)動(dòng)緊固在直線模組4滑塊上的提拉基座11上下運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)籽晶13升降運(yùn)動(dòng)。承重頭6以鉸鏈方式安裝在提拉基座11上繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，稱重壓頭19為支撐點(diǎn)，應(yīng)用杠桿平衡原理，稱重計(jì)10可以稱量出晶體生長重量。調(diào)節(jié)稱重壓頭19相對于稱重計(jì)10的長度，則承重頭6通過轉(zhuǎn)軸12繞提拉基座11轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)籽晶13左右擺動(dòng)。承重桿14通過緊固螺栓16緊固在承重頭6上，調(diào)整螺母7相對于承重桿14軸向位置固定，調(diào)整螺母7與提拉軸座17螺紋連接，旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺母7，可帶動(dòng)提拉軸座17前后移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)籽晶13左右移動(dòng)。提拉軸座17繞承重桿14轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)籽晶13前后擺動(dòng)。籽晶13到達(dá)合適位置后，緊固緊定螺釘15，防止繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)；在晶體生長過程中如出現(xiàn)粘鍋，可松開緊定螺釘15，輕微擺動(dòng)提拉軸，配合提高熱場溫度，能有效解決問題。回旋伺服馬達(dá)9驅(qū)動(dòng)回旋接頭8帶動(dòng)提拉軸18旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)籽晶13回旋運(yùn)動(dòng)。
[0020]本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)籽晶能夠升降、旋轉(zhuǎn)、前后移動(dòng)、左右移動(dòng)、前后擺動(dòng)，左右擺動(dòng)，容易調(diào)整籽晶位置，滿足晶體生長各種工藝要求；在晶體生長過程中出現(xiàn)異常情況(粘鍋)，可以通過輕微擺動(dòng)提拉軸，配合提高熱場溫度，有效解決問題；杠桿式機(jī)械機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，剛性穩(wěn)定，成本較低。
[0021]以上已對本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說明，但本實(shí)用新型創(chuàng)造并不限于所述實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 機(jī)架，在所述機(jī)架內(nèi)穿設(shè)有支撐軸； 直線模組，所述直線模組設(shè)置在所述機(jī)架上，在所述直線模組上設(shè)有提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)； 提拉基座，所述提拉基座設(shè)置在所述直線模組上，所述提拉基座與所述提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)連接； 承重頭，所述承重頭的一端通過轉(zhuǎn)軸與所述提拉基座轉(zhuǎn)動(dòng)連接； 承重桿，所述承重桿通過緊固螺栓與所述承重頭固定； 提拉軸座，所述提拉軸座套設(shè)在所述承重桿的外側(cè)，在所述提拉軸座上設(shè)有回旋接頭，所述回旋接頭與回旋伺服馬達(dá)連接； 提拉軸，所述提拉軸穿設(shè)于所述提拉軸座，所述提拉軸的一端與所述回旋接頭連接；稱重計(jì)，所述稱重計(jì)設(shè)置在所述提拉基座上，所述稱重計(jì)前端的調(diào)節(jié)稱重壓頭與所述承重頭的另一端貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述承重桿的外側(cè)還設(shè)有調(diào)整螺母，所述調(diào)整螺母套設(shè)置在提拉軸座的外側(cè)，在所述提拉軸座的外側(cè)設(shè)有與所述調(diào)整螺母內(nèi)壁上的內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述機(jī)架上設(shè)有鎖緊機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述承重桿的外側(cè)設(shè)有緊定螺釘。
【專利摘要】本實(shí)用新型藍(lán)寶石爐晶體生長提拉機(jī)構(gòu)，包括：機(jī)架，在機(jī)架內(nèi)穿設(shè)有支撐軸；直線模組，直線模組設(shè)置在機(jī)架上，在直線模組上設(shè)有提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)；提拉基座，提拉基座設(shè)置在直線模組上，提拉基座與提拉伺服馬達(dá)機(jī)構(gòu)連接；承重頭，承重頭的一端通過轉(zhuǎn)軸與提拉基座轉(zhuǎn)動(dòng)連接；承重桿，承重桿通過緊固螺栓與承重頭固定；提拉軸座，提拉軸座套設(shè)在承重桿的外側(cè)，在提拉軸座上設(shè)有回旋接頭，回旋接頭與回旋伺服馬達(dá)連接；提拉軸，提拉軸穿設(shè)于提拉軸座，提拉軸的一端與回旋接頭連接；稱重計(jì)，稱重計(jì)設(shè)置在提拉基座上，稱重計(jì)前端的調(diào)節(jié)稱重壓頭與承重頭的另一端貼合。本實(shí)用新型籽晶容易調(diào)整籽晶位置，滿足晶體生長各種工藝要求。
【IPC分類】C30B15-30, C30B29-20
【公開號】CN204385322
【申請?zhí)枴緾N201420787166
【發(fā)明人】劉海, 賀賢漢, 和野貴之, 陸春生, 葉國卿
【申請人】上海漢虹精密機(jī)械有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月12日