1.一種氧化物單晶真空電阻生長爐，包括爐體、上爐腔、下爐腔、進(jìn)料裝置、回收管道、觀察窗、隔離閥、坩堝、電極、加熱器、絕緣層；爐體的上端安裝有上爐腔，爐體的下端安裝有下爐腔；爐體的內(nèi)壁上安裝有絕緣層，絕緣層的內(nèi)部安裝有電極，電極的內(nèi)側(cè)設(shè)置有加熱器，加熱器的上端安裝有坩堝；隔離閥設(shè)置在上爐腔與爐體的連接處；爐體的上端還設(shè)置有觀察窗；其特征在于，該氧化物單晶電阻生長爐還包括：進(jìn)料裝置、籽晶、位移電機(jī)、升降桿、位移檢測器、重力傳感器、溫度傳感器、報(bào)警器、可編程控制器、真空泵、保護(hù)氣進(jìn)氣電磁閥；
爐體的外部安裝有進(jìn)料裝置，進(jìn)料裝置的上端通過進(jìn)料管道與上爐腔相連通；進(jìn)料裝置的下端通過回收管道與下爐腔相連通；坩堝內(nèi)放置有籽晶，所述籽晶連接升降桿，所述升降桿連接位移電機(jī)，所述位移電機(jī)安裝在上爐腔上；所述位移檢測器固定在升降桿上；所述重力傳感器安裝在坩堝上；報(bào)警器、可編程控制器均安裝在爐體外殼上；真空泵、保護(hù)氣進(jìn)氣電磁閥均通過管道連接在爐體上端；所述溫度傳感器安裝在加熱器上；
所述電極、加熱器、進(jìn)料裝置、位移電機(jī)、位移檢測器、重力傳感器、報(bào)警器、真空泵、保護(hù)氣進(jìn)氣電磁閥均通過信號線與可編程控制器電連接；
所述的下爐腔的外壁上設(shè)置有散熱孔；
所述的坩堝的下端設(shè)置有出料口；
進(jìn)料管道和回收管道上均安裝有輸送泵；所述輸送泵上安裝有變頻電機(jī)，所述變頻電機(jī)通過信號線與可編程控制器連接；
所述位移電機(jī)為伺服電機(jī)；所述保護(hù)氣進(jìn)氣電磁閥進(jìn)氣端連接外部保護(hù)氣儲(chǔ)存設(shè)備；
所述溫度傳感器在加熱器上從上到下設(shè)置有多個(gè)。