技術(shù)編號(hào)：12636444
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氧化物單晶真空電阻生長(zhǎng)爐。背景技術(shù)藍(lán)寶石是一種α-Al2O3的單晶，又稱剛玉。藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)異的導(dǎo)熱絕緣性、耐化學(xué)侵蝕性，其表面高度平滑，有高透過率，可在接近2000℃高溫的條件下工作，因而被廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星空間技術(shù)、軍用紅外裝置、高強(qiáng)度激光器的窗口材料以及優(yōu)質(zhì)的光學(xué)材料等等。近年來，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的迅猛發(fā)展，藍(lán)寶石以其獨(dú)特的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學(xué)性能、良好的熱學(xué)性能成為實(shí)際應(yīng)用的半導(dǎo)體GaN/Al2O3發(fā)光二極管(LED)、大規(guī)模集成電路SOI和SOS...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。