技術(shù)總結(jié)
一種新型結(jié)構(gòu)多晶鑄錠爐用的坩堝，包括方形的坩堝本體及坩堝本體內(nèi)的多個(gè)豎直的隔板，所述隔板將坩堝本體分隔成多個(gè)區(qū)間，所述隔板與所述坩堝本體可拆卸地連接，所述坩堝本體的內(nèi)表面及所述隔板的表面依次凃敷有氧化硅層、氮化硅層、多晶硅顆粒層，所述多晶硅顆粒層上設(shè)置多個(gè)凹陷。本實(shí)用新型通過設(shè)置隔板將坩堝分隔成多個(gè)結(jié)晶區(qū)間，提高多晶硅的生產(chǎn)速度，坩堝本體的內(nèi)壁和隔板的壁面通過多晶硅顆粒層和凹陷形成凹凸起伏的形貌，引導(dǎo)多晶硅在坩堝本體及隔板的壁面上生長大小均勻的小晶粒，保證多晶硅均勻快速地生長，且該隔板與坩堝本體凃敷保護(hù)涂層，以防止二氧化硅和熔融硅發(fā)生反應(yīng)，進(jìn)而避免硅錠污染和開裂。

技術(shù)研發(fā)人員：裘承;邱小林;彭健飛;薛德均;甘志凱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南昌理工學(xué)院
文檔號(hào)碼：201620523674
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.31
技術(shù)公布日：2016.12.14