本發(fā)明屬于晶體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，,具體涉及一種有效防止?fàn)t膛冷點的加熱模塊。

背景技術(shù)：

目前，加熱爐的加熱是必須由通電的電極，電極是電源向加熱絲通電實現(xiàn)加熱絲的加熱工作必要傳遞媒介，故加熱爐必須要電極，由于電極為金屬，金屬的導(dǎo)熱系數(shù)大，易導(dǎo)走大量的熱量，通常爐膛內(nèi)的加熱絲的溫度處于1200℃左右，連接加熱絲的電極從保溫塊內(nèi)伸出外部后，形成了大約1100℃左右的溫差，導(dǎo)致電極深入爐膛內(nèi)與加熱絲連接處的溫度形成“冷點”溫區(qū)，該溫區(qū)的溫度比其他正常溫區(qū)的溫度低2℃-4℃，嚴重限制了加熱爐爐膛內(nèi)溫場分布均勻性，而且溫場的“冷點”一直沒有解決的辦法，溫場分布不均勻嚴重影響加熱爐的性能，特別對于單晶生長，由許多加熱模塊組成，每個加熱模塊獨立控溫，形成要求的溫場曲線，但“冷點”的現(xiàn)象，使晶體質(zhì)量成品率低，質(zhì)量較差。

因此，優(yōu)化生長爐溫場、消除生長爐溫場的“冷點”，提高長晶質(zhì)量是目前工藝改進的主要方向。

背景技術(shù)

目前，加熱爐的加熱是必須由通電的電極，電極是電源向加熱絲通電實現(xiàn)加熱絲的加熱工作必要傳遞媒介，故加熱爐必須要電極，由于電極為金屬，金屬的導(dǎo)熱系數(shù)大，易導(dǎo)走大量的熱量，通常爐膛內(nèi)的加熱絲的溫度處于1200℃左右，連接加熱絲的電極從保溫塊內(nèi)伸出外部后，形成了大約1100℃左右的溫差，導(dǎo)致電極深入爐膛內(nèi)與加熱絲連接處的溫度形成“冷點”溫區(qū)，該溫區(qū)的溫度比其他正常溫區(qū)的溫度低2℃-4℃，嚴重限制了加熱爐爐膛內(nèi)溫場分布均勻性，而且溫場的“冷點”一直沒有解決的辦法，溫場分布不均勻嚴重影響加熱爐的性能，特別對于單晶生長，由許多加熱模塊組成，每個加熱模塊獨立控溫，形成要求的溫場曲線，但“冷點”的現(xiàn)象，使晶體質(zhì)量成品率低，質(zhì)量較差。

因此，優(yōu)化生長爐溫場、消除生長爐溫場的“冷點”，提高長晶質(zhì)量是目前工藝改進的主要方向。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在提供一種消除生長爐溫場的“冷點”的加熱模塊，有效防止?fàn)t膛冷點的生長爐加熱單元。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：包括保溫護罩和設(shè)置在保溫護罩內(nèi)壁上的電熱合金絲，所述電熱合金絲的兩端分別連接埋藏在保溫護罩兩端內(nèi)的上電極和下電極，上電極和下電極的自由端分別連接引出電極。

有益效果：本發(fā)明把上電極和下電極設(shè)計成特殊的U形或C形，降低其的熱導(dǎo)性，同時本身也在發(fā)熱，同時被保溫護罩包裹，用于抵抗引出電極的散熱，使“冷點”溫區(qū)的溫度差可控制到在1200℃左右時只有0.1~0.5℃的溫度下降，消除消除生長爐爐膛內(nèi)溫場的“冷點”，保證爐膛溫度更加均勻，電極引出部分的發(fā)熱量與電極的導(dǎo)熱量及其他熱量損失基本相等，理論上可實現(xiàn)平衡，即沒有“冷點”。大大提高了爐膛徑向溫場的溫度均勻性，在單晶生長爐的實驗中，明顯的提高了生長單晶的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的縱向剖視圖；

圖3為本發(fā)明的電極與電熱合金絲的連接結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明的引出電極的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)號：1~保溫護罩，2~電熱合金絲，3~上電極，4~下電極，5~引出電極，6~固定夾組。

具體實施方式

根據(jù)附圖1~4所示的有效防止?fàn)t膛冷點的加熱模塊，包括保溫護罩1和設(shè)置在保溫護罩1內(nèi)壁上的電熱合金絲2，所述電熱合金絲2的兩端分別連接埋藏在保溫護罩1兩端內(nèi)的上電極3和下電極4，上電極3和下電極4的自由端分別連接引出電極5。

所述的引出電極5開槽呈弓字形，引出電極5連接電熱合金絲2的彎曲部一端分別與上電極3和下電極4上一并埋在保溫護罩1內(nèi)，另一端露出保溫護罩，并設(shè)置電源連接孔。

所述的引出電極5伸入保溫護罩1內(nèi)的長度為保溫護罩1的三分之一厚度~二分之一厚度。

所述的上電極3、下電極4均設(shè)置呈U形或C形結(jié)構(gòu)。

所述的上電極3和下電極4錯位對稱或不對稱設(shè)置。

所述的電熱合金絲2至少有一根，且電熱合金絲2繞成螺旋狀，所述的保溫護罩1的材料為致密均勻的保溫纖維材料。

所述的保溫護罩1的內(nèi)壁上沿軸向圓周設(shè)置至少三組固定夾組6，電熱合金絲2固定在固定夾組6內(nèi)。

所述的上電極3、下電極4均與引出電極5焊接。

所述的引出電極5的橫截面為方形或圓形。

本發(fā)明的工作方式：使用時，在電熱合金絲2的上端彎曲形成上電極3，另一端彎曲形成下電極4，并把電熱合金絲2固定在保溫護罩1內(nèi)壁上的固定夾組6上，上電極3、下電極4固定在保溫護罩1中，在上電極3、下電極4的末端分別焊接引出電極5；通電后，上電極3、下電極4在發(fā)熱，引出電極5呈弓字形設(shè)計一方面也在發(fā)熱，另一方面減小導(dǎo)熱的截面積，并再走迷宮，增加導(dǎo)熱長度，降低電極導(dǎo)出的熱量，當(dāng)發(fā)熱量等于導(dǎo)熱量時，就處于平衡狀態(tài)，電極不再出現(xiàn)抽走熱量的問題，使加熱模塊沒有“冷點”出現(xiàn)，非常顯著的解決了問題。