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一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法與流程

文檔序號:11122500閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,其特征在于,依次按照以下步驟進(jìn)行:

(1)選用高純度硅粉作為原料,對其表面進(jìn)行活化處理;

(2)由高純硅粉與氮化硅粉混合均勻,壓塊,裝爐;

(3)抽真空達(dá)到(1.0~4.0)×10-2 Pa;

(4)向爐內(nèi)通入氮氣和氫氣;

(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時間脈沖點式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;

(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述高純硅粉的純度為99.99%~99.9999%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述活化處理方式為粒子高速對撞。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述氮化硅粉的純度為99.99~99.999%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:(5~20)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述硅粉的粒徑≤20um。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述氮化硅粉體的粒徑≤5um。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述氮氣與氫氣的體積比為100:(1~15)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述燒結(jié)溫度為1400~1480℃。

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