1.一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,其特征在于,依次按照以下步驟進(jìn)行:
(1)選用高純度硅粉作為原料,對其表面進(jìn)行活化處理;
(2)由高純硅粉與氮化硅粉混合均勻,壓塊,裝爐;
(3)抽真空達(dá)到(1.0~4.0)×10-2 Pa;
(4)向爐內(nèi)通入氮氣和氫氣;
(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時間脈沖點式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;
(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述高純硅粉的純度為99.99%~99.9999%。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述活化處理方式為粒子高速對撞。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述氮化硅粉的純度為99.99~99.999%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:(5~20)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述硅粉的粒徑≤20um。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述氮化硅粉體的粒徑≤5um。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述氮氣與氫氣的體積比為100:(1~15)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,其特征在于,所述燒結(jié)溫度為1400~1480℃。