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正交相二維層狀SiP單晶及薄膜的制備方法及其應(yīng)用與流程

文檔序號(hào):11841519閱讀:998來源:國知局
正交相二維層狀SiP單晶及薄膜的制備方法及其應(yīng)用與流程

本發(fā)明涉及一種利用金屬助熔劑法生長正交相二維層狀SiP單晶及薄膜的方法,及其光電器件應(yīng)用,屬于二維層狀材料及其光電功能器件應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

二維層狀材料層內(nèi)以強(qiáng)的共價(jià)鍵或離子鍵結(jié)合,而層與層之間依靠弱的范德華力形成的一類材料。由于層間弱的相互作用力,層與層很容易相互剝離,從而可以形成單層或多層二維材料。石墨烯、過渡金屬硫?qū)倩衔?MoS2、MoSe2、WS2等)以及黑磷等是近年來研究較為廣泛的二維層狀材料,由于其具有優(yōu)異電、光、磁、力等性能,在顯示器件、場效應(yīng)晶體管、光電傳感器以及激光技術(shù)等新一代電子和光電子器件領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用潛力。石墨烯有超高的載流子遷移率和極低的電阻率,是目前研究最為成熟的二維層狀材料,制備工藝較為成熟,基于石墨烯這些優(yōu)異性質(zhì)開展了大量基礎(chǔ)研究和器件應(yīng)用相關(guān)工作,并且取得了很多有重要應(yīng)用價(jià)值的成果,但是,由于石墨烯的零帶隙能帶結(jié)構(gòu),其在電子以及光電子方面的應(yīng)用受到了很大的限制。過渡金屬二硫族化合物(TMDs)研究較為廣泛的非石墨烯類二維層狀材料,其化學(xué)式為MX2(M為過渡金屬元素如Mo、W等,X為S、Se和Te等),單層的二硫化鉬是由S-Mo-S的共價(jià)鍵組成的,厚度為0.65nm,層與層之間是由范德華力相結(jié)合的,MoS2是一種具有可調(diào)帶隙的半導(dǎo)體材料,當(dāng)厚度減小到單層時(shí),帶隙變?yōu)橹苯訋哆_(dá)到1.9eV,在光電子領(lǐng)域具有更廣闊的應(yīng)用前景。此外,可以根據(jù)不同的應(yīng)用需求和材料的性能特點(diǎn)進(jìn)行調(diào)控和設(shè)計(jì),通過二維層狀材料復(fù)合制備異質(zhì)結(jié),這些異質(zhì)結(jié)材料具有非常強(qiáng)的載流子分離能力、強(qiáng)的柵極響應(yīng)能力,因而具有很好的光整流特性、光伏特性和光探測能力,這類材料與器件的研究具有重要的應(yīng)用價(jià)值。黑磷是由位于兩個(gè)位面的波浪形磷原子組成,納米厚度的二維層狀黑磷具有非常高的電子遷移率(~1000cm2/Vs),以及非常高的漏電流調(diào)制率(是石墨烯的10000倍)。黑磷屬于直接帶隙半導(dǎo)體,通過改變層數(shù)可以調(diào)控帶隙,在可見光到近紅外區(qū)域均可實(shí)現(xiàn)光的吸收,因此在晶體管、傳感器、太陽能電池光電傳感器方面具有非常重要的優(yōu)勢。但是二維黑磷單晶在空氣中不穩(wěn)定,因此制備的器件性能穩(wěn)定性較差,研究人員也在探索通過封裝或修飾等手段提高黑磷的穩(wěn)定性。

SiP具有立方相和正交相兩種結(jié)構(gòu),其中正交相的SiP(o-SiP)具有二維層狀結(jié)構(gòu),[Si2P6]結(jié)構(gòu)單元通過共頂連接形成二維[SiP]網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),二維[SiP]層間通過范德華力沿著C軸方向堆積形成o-SiP二維層狀材料。二維層狀o-SiP是一種直接帶隙半導(dǎo)體材料,且相比于黑磷其在空氣中能夠穩(wěn)定存在,此其在光電子領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。o-SiP化合物最早在重?fù)搅讍尉Ч璧谋砻姘l(fā)現(xiàn)的一種化合物,研究人員通過氣相法在單晶硅的表面也能夠制備出o-SiP,近來由于其二維層狀結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而引起人們的研究興趣,采用高壓熔體法和化學(xué)氣相傳輸法(CVT)成功獲得了o-SiP,但是獲得的晶體尺寸較小,質(zhì)量較差。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對現(xiàn)有正交相o-SiP二維層狀制備技術(shù)存在的不足,提供一種能夠獲得較大尺寸及高質(zhì)量正交相二維層狀o-SiP單晶及薄膜的的制備方法。

本發(fā)明的正交相二維層狀o-SiP單晶及薄膜的的制備方法,包括以下步驟:

(1)按照摩爾比Si:P:Sn=1:1~1.2:4~10的比例稱取Si、P和Sn,Sn作為金屬助熔劑,然后將三種原料裝入石英管中,抽真空后燒結(jié)封管;

(2)將石英管放入加熱爐中,采用階段性升溫程序,首先10小時(shí)~15小時(shí)升溫至400~600℃,恒溫30小時(shí)~50小時(shí);然后20小時(shí)~30小時(shí)升溫至1100~1200℃,恒溫20小時(shí)~30小時(shí),使得Si和P充分化合反應(yīng);

(3)以0.1~7℃/小時(shí)的速率緩慢降溫,在此過程中o-SiP成核并逐漸長大;當(dāng)爐體溫度降至600~700℃時(shí),迅速將石英管從爐膛取出并倒置,使生長得到的o-SiP單晶與金屬助熔劑Sn分離,得到體塊o-SiP單晶;

(4)打開石英管取出料塊,置于鹽酸中溶解除去附著在o-SiP表面的Sn助熔劑,然后用去離子水清洗干凈,得到黑色片狀o-SiP晶體;

(5)將o-SiP晶體浸沒于濃度為2mol/L~5mol/L的NaOH溶液中,在頻率40Hz下超聲20小時(shí)~40小時(shí),然后分離出沉淀物,用去離子水清洗,得到正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,納米片厚度為0.5~10nm。

上述方法制備的正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,具有以下用途:

1.用于飽和吸收體對激光產(chǎn)生調(diào)制。

2.用于超短脈沖激光器的被動(dòng)鎖模。

3.用于制作光電子器件、輻射探測器及太陽能電池。

本發(fā)明采用金屬助熔劑方法生長了高質(zhì)量o-SiP單晶,并通過超聲機(jī)械剝離制備了o-SiP單晶納米片薄膜,制備的o-SiP單晶納米薄膜具有類黑磷結(jié)構(gòu),屬于直接帶隙半導(dǎo)體層狀化合物材料,帶隙約1.7eV,通過改變o-SiP納米薄膜層數(shù),調(diào)控其帶隙大小,從而實(shí)現(xiàn)寬帶的可飽和吸收調(diào)制,可用于調(diào)Q和鎖模激光,以獲得更高的脈沖峰值功率和脈沖能量,可用于制作光電子器件、輻射探測器及太陽能電池等。

附圖說明

圖1是本發(fā)明生長的體塊o-SiP單晶照片。

圖2是本發(fā)明生長的二維層狀o-SiP單晶的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明通過堿液超聲剝離得到的o-SiP單晶薄膜的AFM照片。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

(1)按照摩爾比Si:P:Sn=1:1:4的比例稱取Si、P和Sn,Sn作為金屬助熔劑,然后將三種原料裝入石英管中,抽真空后燒結(jié)封管;

(2)將石英管放入加熱爐中,采用階段性升溫程序,首先10小時(shí)升溫至400,恒溫50小時(shí);然后20小時(shí)升溫至1100,恒溫30小時(shí),使得Si和P充分化合反應(yīng);

(3)通過精密控溫儀控制生長爐以0.1℃/小時(shí)的速率緩慢降溫,在此過程中o-SiP成核并逐漸長大;當(dāng)爐體溫度降至600℃時(shí),迅速將石英管從爐膛取出并倒置,使生長得到的o-SiP單晶與金屬助熔劑Sn分離,得到體塊o-SiP單晶;

(4)打開石英管取出料塊,置于鹽酸中溶解除去附著在o-SiP表面的Sn助熔劑,然后用去離子水清洗干凈,得到閃亮的黑色片狀SiP晶體;

(5)將o-SiP晶體浸沒于濃度為3mol/L的NaOH溶液中,在頻率40Hz下超聲25小時(shí),然后通過離心機(jī)分離出沉淀物,采用去離子水多次清洗,得到正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,納米片厚度為10nm。

本實(shí)施例生長的體塊o-SiP單晶如圖1所示,生長的二維層狀o-SiP單晶如圖2所示,通過堿液超聲剝離得到的o-SiP單晶薄膜的AFM如圖3所示。

實(shí)施例2

(1)按照摩爾比Si:P:Sn=1:1.1:6的比例稱取Si、P和Sn,Sn作為金屬助熔劑,然后將三種原料裝入石英管中,抽真空后燒結(jié)封管;

(2)將石英管放入加熱爐中,采用階段性升溫程序,首先15小時(shí)升溫至600℃,恒溫30小時(shí);然后30小時(shí)升溫至1200℃,恒溫20,使得Si和P充分化合反應(yīng);

(3)通過精密控溫儀控制生長爐以1℃/小時(shí)的速率緩慢降溫,在此過程中o-SiP成核并逐漸長大;當(dāng)爐體溫度降至700℃時(shí),迅速將石英管從爐膛取出并倒置,使生長得到的o-SiP單晶與金屬助熔劑Sn分離,得到體塊o-SiP單晶;

(4)打開石英管取出料塊,置于鹽酸中溶解除去附著在o-SiP表面的Sn助熔劑,然后用去離子水清洗干凈,得到閃亮的黑色片狀SiP晶體;

(5)將o-SiP晶體浸沒于濃度為2mol/L的NaOH溶液中,在頻率40Hz下超聲40小時(shí),然后通過離心機(jī)分離出沉淀物,采用去離子水多次清洗,得到正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,納米片厚度為3nm。

實(shí)施例3

(1)按照摩爾比Si:P:Sn=1:1.1:8的比例稱取Si、P和Sn,Sn作為金屬助熔劑,然后將三種原料裝入石英管中,抽真空后燒結(jié)封管;

(2)將石英管放入加熱爐中,采用階段性升溫程序,首先12小時(shí)升溫至500℃,恒溫40小時(shí);然后25小時(shí)升溫至1150℃,恒溫25小時(shí),使得Si和P充分化合反應(yīng);

(3)通過精密控溫儀控制生長爐以7℃/小時(shí)的速率緩慢降溫,在此過程中o-SiP成核并逐漸長大;當(dāng)爐體溫度降至640℃時(shí),迅速將石英管從爐膛取出并倒置,使生長得到的o-SiP單晶與金屬助熔劑Sn分離,得到體塊o-SiP單晶;

(4)打開石英管取出料塊,置于鹽酸中溶解除去附著在o-SiP表面的Sn助熔劑,然后用去離子水清洗干凈,得到閃亮的黑色片狀SiP晶體;

(5)將o-SiP晶體浸沒于濃度為4mol/L的NaOH溶液中,在頻率40Hz下超聲30小時(shí),然后通過離心機(jī)分離出沉淀物,采用去離子水多次清洗,得到正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,納米片厚度為0.5nm。

實(shí)施例4

(1)按照摩爾比Si:P:Sn=1:1.2:10的比例稱取Si、P和Sn,Sn作為金屬助熔劑,然后將三種原料裝入石英管中,抽真空后燒結(jié)封管;

(2)將石英管放入加熱爐中,采用階段性升溫程序,首先13小時(shí)升溫至450℃,恒溫45小時(shí);然后28小時(shí)升溫至1200℃,恒溫20小時(shí),使得Si和P充分化合反應(yīng);

(3)通過精密控溫儀控制生長爐以3℃/小時(shí)的速率緩慢降溫,在此過程中o-SiP成核并逐漸長大;當(dāng)爐體溫度降至660℃時(shí),迅速將石英管從爐膛取出并倒置,使生長得到的o-SiP單晶與金屬助熔劑Sn分離,得到體塊o-SiP單晶;

(4)打開石英管取出料塊,置于鹽酸中溶解除去附著在o-SiP表面的Sn助熔劑,然后用去離子水清洗干凈,得到閃亮的黑色片狀SiP晶體;

(5)將o-SiP晶體浸沒于濃度為5mol/L的NaOH溶液中,在頻率40Hz下超聲20小時(shí)小時(shí),然后通過離心機(jī)分離出沉淀物,采用去離子水多次清洗,得到正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,納米片厚度為7nm。

上述實(shí)施例制備的正交相二維層狀SiP單晶納米薄膜,均具有以下用途:

1.用于飽和吸收體對激光產(chǎn)生調(diào)制。

2.用于超短脈沖激光器的被動(dòng)鎖模。

3.用于制作光電子器件、輻射探測器及太陽能電池。

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