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一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11841494閱讀:247來源:國知局

本發(fā)明涉及一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng)。



背景技術(shù):

在太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,利用定向凝固的方法生產(chǎn)多晶硅錠是普遍采用的方法,其基本原理是:將多晶硅原料放置在石英陶瓷坩堝中,采用特定的熱場系統(tǒng),將硅料加熱至完全融化;然后從坩堝的底部開始冷卻,硅溶液在坩堝底部開始結(jié)晶,逐漸向上生長(凝固);完成生長過程后,通常會(huì)將熱場重新閉合,并將多晶鑄錠保溫一段時(shí)候后開始冷卻。將所產(chǎn)晶錠經(jīng)過開方、倒角磨面、線切割,線切割主要采用一定間距排列的鋼線,配合砂漿進(jìn)行磨削切割,切割成100~300μm厚度的硅片,砂漿的主要成分為碳化硅和聚乙二醇。從鑄錠到切割硅片的整個(gè)過程涉及數(shù)道工序,各工序的過程中都有可能引進(jìn)雜質(zhì)的污染,如鑄錠的裝料過程,鑄錠的生長過程與坩堝接觸,坩堝的純度遠(yuǎn)低于硅料,鑄錠用熱場也會(huì)有雜質(zhì)的揮發(fā)等,切割的砂漿和切割剛線的磨損,都是引入雜質(zhì)的途徑。而且經(jīng)過數(shù)道工序,成本較高。

有鑒于上述的缺陷,本設(shè)計(jì)人,積極加以研究創(chuàng)新,以期創(chuàng)設(shè)一種新型硅片生產(chǎn)系統(tǒng),使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的目的是提供一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng)。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下:

一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng),其特征在于:包括金屬腔體(1),所述金屬腔體(1)設(shè)置有進(jìn)氣口(2)和出氣口(3),所述進(jìn)氣口(2)位于所述金屬腔體(1)內(nèi)部設(shè)置有一進(jìn)氣口控制閥門(21),所述出氣口(3)位于所述金屬腔體(1)內(nèi)部設(shè)置有一出氣口控制閥門(31);所述坩堝(4)設(shè)置在所述金屬腔體(1)內(nèi)部,所述坩堝用于融化硅,所述坩堝外側(cè)還設(shè)置有一保溫裝置(5),所述保溫裝置(5)內(nèi)設(shè)置有加熱絲(6),所述加熱絲(6)用于保持所述保溫裝置(5)的溫度;所述坩堝(4)設(shè)置有出料口(7),所述出料口(7)下方設(shè)置有一輸送裝置(8)。

進(jìn)一步的,所述輸送裝置(8)為輸送帶,所述輸送帶為耐高溫材料制成。

進(jìn)一步的,所述輸送裝置(8)內(nèi)部還設(shè)置有一加熱裝置(9),用于保持輸送過程中的溫度。

進(jìn)一步的,還包括與所述輸送裝置(8)連接的切割系統(tǒng),所述切割系統(tǒng)用于切割硅片。

借由上述方案,本發(fā)明至少具有以下優(yōu)點(diǎn):

本發(fā)明可減少傳統(tǒng)硅片生產(chǎn)過程中繁瑣的工序步驟,大幅度降低了生產(chǎn)成本;且基本不引入雜質(zhì),因此,整過生產(chǎn)過程中污染源極少,有利于提高硅片質(zhì)量,保證了太陽能電池片質(zhì)量的穩(wěn)定。

上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段,并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施,以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中:1-金屬腔體;2-進(jìn)氣口;21-進(jìn)氣口控制閥門;3-出氣口;31-出氣口控制閥門;4-坩堝;5-保溫裝置;6-加熱絲;7-出料口;8-輸送裝置;9-加熱裝置。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明,但不用來限制本發(fā)明的范圍。

參見圖1,本發(fā)明一較佳實(shí)施例所述的一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng),其特征在于:包括金屬腔體1,所述金屬腔體1設(shè)置有進(jìn)氣口2和出氣口3,所述進(jìn)氣口2位于所述金屬腔體1內(nèi)部設(shè)置有一進(jìn)氣口控制閥門21,所述出氣口3位于所述金屬腔體1內(nèi)部設(shè)置有一出氣口控制閥門31;所述坩堝4設(shè)置在所述金屬腔體1內(nèi)部,所述坩堝用于融化硅,所述坩堝外側(cè)還設(shè)置有一保溫裝置5,所述保溫裝置5內(nèi)設(shè)置有加熱絲6,所述加熱,6用于保持所述保溫裝置5的溫度;所述坩堝4設(shè)置有出料口7,所述出料口7下方設(shè)置有一輸送裝置8。

-所述輸送裝置8為輸送帶,所述輸送帶為耐高溫材料制成。

-所述輸送裝置8內(nèi)部還設(shè)置有一加熱裝置9,用于保持輸送過程中的溫度。

-還包括與所述輸送裝置8連接的切割系統(tǒng),所述切割系統(tǒng)用于切割硅片。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,并不用于限制本發(fā)明,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和變型,這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。

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