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一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法與流程

文檔序號(hào):11992429閱讀:來源:國(guó)知局
一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,步驟為:1)在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置可獨(dú)立控溫的兩個(gè)溫區(qū),分別為原料區(qū)和襯底區(qū),以高純度的In金屬顆粒作為原料,放置于原料區(qū);在襯底區(qū)放入襯底;2)反應(yīng)前,向反應(yīng)容器內(nèi)通入載氣,將反應(yīng)容器內(nèi)的空氣排出;3)對(duì)原料區(qū)和襯底區(qū)分別加熱,原料區(qū)的溫度為900-1000℃,保溫;襯底區(qū)的溫度為400-500℃,保溫;4)當(dāng)原料區(qū)和襯底區(qū)溫度達(dá)到上述溫度后,調(diào)整為載氣與氧氣的混合氣體,保持至整個(gè)加熱過程結(jié)束;5)步驟3)中保溫結(jié)束后,原料區(qū)降溫至700-800℃,保溫;襯底區(qū)升溫至500-700℃,保溫;保溫結(jié)束后自然冷卻至室溫,制備過程結(jié)束,得到In2O3八面體納米顆粒;6)保溫結(jié)束后,將混合氣體調(diào)整為純載氣,并保持至反應(yīng)設(shè)備自然冷卻到室溫后停止。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟1)中采用陶瓷舟承載原料,使用前將陶瓷舟經(jīng)過1200-1500℃煅燒處理,所述陶瓷舟放置于原料區(qū)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟1)中襯底采用Si片。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟1)中原料金屬In顆粒的純度≥99.99%,粒徑≤0.5mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟2)中載氣為氮?dú)饣蚨栊詺怏w,通入載氣流量為100-200sccm,時(shí)間為30-60min,所述載氣的純度≥99.999%。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟3)中原料區(qū)和襯底區(qū)的保溫時(shí)間為3-8min,襯底區(qū)的溫度與原料區(qū)的溫度在時(shí)間上保持同步。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟4)中載氣與氧氣的體積比為40-50:1-3,所述載氣及氧氣的純度均≥99.999%。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟5)中原料區(qū)降溫后保溫時(shí)間為50-90min,襯底區(qū)升溫后保溫時(shí)間為70-90min。9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟5)中原料區(qū)降溫后和襯底區(qū)升溫后的溫差為100-300℃。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種尺寸均勻In2O3八面體納米顆粒的制備方法,其特征在于,所述步驟5)中原料區(qū)降溫速率為40-60℃/min,沉淀區(qū)升溫速率為40-60℃/min。
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