一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置，原料罐連接塔釜，塔釜上設(shè)有填料塔，填料塔上設(shè)有冷凝器，冷凝器連接中間品儲(chǔ)藏罐，中間品儲(chǔ)藏罐連接減壓氮?dú)獯蛋籽b置，減壓氮?dú)獯蛋籽b置連接稀釋脫色處理罐，稀釋脫色處理罐連接超凈化處理裝置，超凈化處理裝置連接包裝裝置。本實(shí)用新型中原料罐和塔釜之間設(shè)有第一控制閥，可以及時(shí)控制原料進(jìn)入塔釜的量，中間品儲(chǔ)藏罐和減壓氮?dú)饷摪籽b置之間設(shè)有控制閥，用來(lái)空來(lái)中間品進(jìn)入減壓氮?dú)獯蛋籽b置的中間品量，提高氮?dú)獯蛋椎男ЧB接殘液儲(chǔ)存裝置，及時(shí)收集殘液并對(duì)其進(jìn)行再處理。
【專利說(shuō)明】一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種超凈高純化學(xué)試劑，具體涉及一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]超凈高純化學(xué)試劑又稱微電子化學(xué)品，是電子技術(shù)微細(xì)加工制作過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蝕，其純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性有著十分重大的影響。隨著芯片儲(chǔ)存量的不斷提高，容量也在不斷增大，因而氧化膜變得更薄。但是微電子化學(xué)品中的堿金屬雜質(zhì)會(huì)溶入氧化膜中，從而導(dǎo)致耐絕緣電壓的下降，重金屬雜質(zhì)如果附著在硅晶片上的表面，將會(huì)使P-N結(jié)的耐電壓降低。
[0003]超高純硝酸是一種十分重要的微電子化學(xué)試劑，通常以工業(yè)級(jí)硝酸為原料純化精制而成，目前超高純硝酸的制備工藝主要有亞沸蒸餾法、精餾法等，規(guī)模生產(chǎn)硝酸主要采用連續(xù)精餾法。95%以上濃度的硝酸，具有較高的揮發(fā)度且具有很高的沸點(diǎn)，在其精餾過(guò)程中個(gè)別與硝酸揮發(fā)度相近的雜質(zhì)難以除去，一般工業(yè)硝酸經(jīng)過(guò)精餾后，其雜質(zhì)含量仍無(wú)法達(dá)到超高純硝酸的標(biāo)準(zhǔn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)不足之處，提供一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置。
[0005]本實(shí)用新型解決現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題的方案是:一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置，原料罐連接塔釜，塔釜上設(shè)有填料塔，填料塔上設(shè)有冷凝器，冷凝器連接中間品儲(chǔ)藏罐，中間品儲(chǔ)藏罐連接減壓氮?dú)獯蛋籽b置，減壓氮?dú)獯蛋籽b置連接稀釋脫色處理罐，稀釋脫色處理罐連接超凈化處理裝置，超凈化處理裝置連接包裝裝置。
[0006]作為上述方案的優(yōu)選，所述原料罐和塔釜之間設(shè)有第一控制閥，所述中間品儲(chǔ)藏罐和減壓氮?dú)獯蛋籽b置之間設(shè)有控制閥。
[0007]作為上述方案的優(yōu)選，所述塔釜連接殘液儲(chǔ)存裝置。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型中原料罐和塔釜之間設(shè)有第一控制閥，可以及時(shí)控制原料進(jìn)入塔釜的量，中間品儲(chǔ)藏罐和減壓氮?dú)饷摪籽b置之間設(shè)有控制閥，用來(lái)空來(lái)中間品進(jìn)入減壓氮?dú)獯蛋籽b置的中間品量，提高氮?dú)獯蛋椎男Ч?，塔釜連接殘液儲(chǔ)存裝置，及時(shí)收集殘液并對(duì)其進(jìn)行再處理。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的系統(tǒng)框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1所示，一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置，原料罐連接塔釜，塔釜上設(shè)有填料塔，填料塔上設(shè)有冷凝器，冷凝器連接中間品儲(chǔ)藏罐，中間品儲(chǔ)藏罐連接減壓氮?dú)獯蛋籽b置，減壓氮?dú)獯蛋籽b置連接稀釋脫色處理罐，稀釋脫色處理罐連接超凈化處理裝置，超凈化處理裝置連接包裝裝置，所述原料罐和塔釜之間設(shè)有第一控制閥，所述中間品儲(chǔ)藏罐和減壓氮?dú)獯蛋籽b置之間設(shè)有控制閥，塔釜底部連接殘液儲(chǔ)存裝置。
[0011]以上所述僅為體現(xiàn)本實(shí)用新型原理的較佳實(shí)施例，并不因此而限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡是依本實(shí)用新型所作的均等變化與修飾皆在本實(shí)用新型涵蓋的專利范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種超高純硝酸生產(chǎn)裝置，其特征在于:原料罐連接塔釜，塔釜上設(shè)有填料塔，填料塔上設(shè)有冷凝器，冷凝器連接中間品儲(chǔ)藏罐，中間品儲(chǔ)藏罐連接減壓氮?dú)獯蛋籽b置，減壓氮?dú)獯蛋籽b置連接稀釋脫色處理罐，稀釋脫色處理罐連接超凈化處理裝置，超凈化處理裝置連接包裝裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的超高純硝酸生產(chǎn)裝置，其特征在于:所述原料罐和塔釜之間設(shè)有第一控制閥，所述中間品儲(chǔ)藏罐和減壓氮?dú)獯蛋籽b置之間設(shè)有控制閥。
3.如權(quán)利要求1或2所述的超高純硝酸生產(chǎn)裝置，其特征在于:所述塔釜連接殘液儲(chǔ)存裝置。
【文檔編號(hào)】C01B21/46GK203474461SQ201320303282
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】殷福華, 朱龍, 邵勇 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司