專利名稱：冷氫化電加熱器在線清洗方法及清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及冷氫化系統(tǒng)中電加熱器的在線清洗方法及清洗裝置。
背景技術(shù)：
多晶硅制備是一個(gè)高耗能的產(chǎn)業(yè)，改進(jìn)工藝降低生產(chǎn)成本是各企業(yè)可持續(xù)發(fā)展的重點(diǎn)。在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的四氯化硅(SiCl4)的量非常大，國(guó)內(nèi)外都在努力探索有效利用SiCl4的理想途徑。其中，冷氫化法是處理SiCl4的一種極其有效的方法。冷氫化是一種利用SiCl4、氫氣(H2)和硅粉(Si)反應(yīng)制備三氯氫硅(SiHCl3)的工藝。目前冷氫化系統(tǒng)通常的生產(chǎn)流程如圖I所示，H2與31(14在四氯化硅汽化器中混合均勻，汽化后加熱至550-650°C后進(jìn)入氫化反應(yīng)器中與Si粉發(fā)生反應(yīng)，生成含有H2、SiCl4, SiHCl3及細(xì)小Si粉顆粒的冷氫化反應(yīng)后尾氣。將冷氫化反應(yīng)后尾氣送入洗滌系統(tǒng)除去細(xì)小硅粉顆粒后送入冷凝系統(tǒng)。在冷凝系統(tǒng)中將SiHCl3和SiCl4冷凝為液體送入冷凝料_，然后送入下游工序繼續(xù)處理；未冷凝的H2通過(guò)循環(huán)壓縮機(jī)送入四氯化硅汽化器循環(huán)使用。其中，從四氯化硅汽化器出來(lái)的H2與SiCl4，采用電加熱器進(jìn)行加熱。電加熱器出口的溫度變送器對(duì)加熱后的混合氣溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并將測(cè)得的溫度信號(hào)送至功率調(diào)節(jié)器，通過(guò)功率調(diào)節(jié)器對(duì)功率的調(diào)節(jié)來(lái)確保加熱后的H2與SiCl4的溫度恒定。當(dāng)電加熱器出口混合氣溫度達(dá)到550°C以上時(shí)，電加熱器內(nèi)部的溫度會(huì)更高，且原料SiCl4中通常會(huì)存在一定量的SiHCl3和二氯二氫硅(SiH2Cl2)等容易分解成硅單質(zhì)的氯娃燒，所以在冷氫化系統(tǒng)運(yùn)行一段時(shí)間后，電加熱器內(nèi)部的電加熱管管壁上會(huì)結(jié)上一層無(wú)定形娃層，導(dǎo)致加熱效果下降。隨著電加熱器管不斷附著無(wú)定型娃，電加熱管的加熱效果會(huì)持續(xù)下降，為保證電加熱器出氣溫度恒定，則需不斷增加電加熱器功率，這樣最終將會(huì)導(dǎo)致電加熱器燒壞。因此，當(dāng)電加熱器功率比平時(shí)上升10%以上時(shí)，則需要清洗電加熱器。由于冷氫化系統(tǒng)不能進(jìn)水，因此在采用如酸液清洗、堿液清洗等清洗方式時(shí)必須頻繁將電加熱器拆離系統(tǒng)后清洗、干燥合格后重新裝回系統(tǒng)，導(dǎo)致冷氫化系統(tǒng)長(zhǎng)時(shí)間不能運(yùn)行；并且清洗后的廢酸、廢堿需中和處理后再將污水排放，既增加了運(yùn)行成本又造成了環(huán)境污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種冷氫化電加熱器在線清洗方法及清洗裝置，在清洗過(guò)程中不需要拆裝電加熱器，能夠大幅度增加運(yùn)行時(shí)間，降低成本。按照本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種冷氫化電加熱器在線清洗方法，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化電加熱器在線清洗方法包括清洗步驟從氯化氫供料系統(tǒng)中引入氯化氫至所述冷氫化系統(tǒng)的電加熱器中，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅發(fā)生反應(yīng)，得到包含反應(yīng)生成的三氯氫硅、氫氣以及未反應(yīng)的氯化氫的清洗后氣；冷凝步驟將所述清洗后氣在冷氫化系統(tǒng)中冷凝分離為三氯氫硅液體和氫氣、氯化氫氣體，其中氫氣和氯化氫作為循環(huán)氣引入電加熱器循環(huán)使用。優(yōu)選地，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅的反應(yīng)溫度為280_320°C。優(yōu)選地，還可以在清洗步驟中引入純氫氣至電加熱器中。在冷凝步驟中分離出來(lái)的氫氣和氯化氫可以與所述純氫氣混合為混合氣一起引入電加熱器。上述的方法在清洗步驟中，來(lái)自氯化氫供料系統(tǒng)的氯化氫和所述混合氣可以分別以200-300Nm3/h和4000-6000Nm3/h的流量送入電加熱器。當(dāng)電加熱器中的氯化氫與氫氣的摩爾比為I : 10時(shí)停止從氯化氫供料系統(tǒng)向電加熱器中弓I入氯化氫。作為優(yōu)選，在清洗步驟中，還包括實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電加熱器的進(jìn)氣溫度和出氣溫度，當(dāng)電加熱器出氣溫度與進(jìn)氣溫度相同時(shí)停止清洗。在執(zhí)行清洗步驟之前，還可以包括清洗前準(zhǔn)備步驟先停止向冷氫化系統(tǒng)中送入硅粉，待冷氫化系統(tǒng)中的硅粉完全消耗后，再停止向冷氫化系統(tǒng)中送入四氯化硅。按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種冷氫化電加熱器在線清洗裝置，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化系統(tǒng)包括氫氣供給管道；四氯化硅供給管道；分別與氫氣供給管道和四氯化硅供給管道連接的四氯化硅汽化器；具有進(jìn)氣口和出氣口的電加熱器，所述電加熱器與四氯化硅汽化器連接，所述電加熱器具有溫度變送器和功率調(diào)控器，其中溫度變送器實(shí)時(shí)采集電加熱器進(jìn)氣口和出氣口處的溫度信號(hào)并將采集的溫度信號(hào)傳送至功率調(diào)節(jié)器，功率調(diào)節(jié)器根據(jù)所述溫度信號(hào)控制加熱功率，使得出氣口處的溫度為預(yù)設(shè)溫度；與電加熱器連接的氫化反應(yīng)器；與氫化反應(yīng)器連接的洗滌系統(tǒng)；與洗滌系統(tǒng)連接的冷凝系統(tǒng)；與冷凝系統(tǒng)連接的循環(huán)壓縮機(jī)，所述循環(huán)壓縮機(jī)與四氯化硅汽化器連接，對(duì)所述電加熱器進(jìn)行在線清洗的裝置包括與電加熱器連接的氯化氫供料系統(tǒng)，用于向電加熱器中提供與無(wú)定型硅反應(yīng)的氯化氫。作為優(yōu)選，所述氯化氫供料系統(tǒng)包括氯化氫儲(chǔ)罐；與氯化氫儲(chǔ)罐連接的進(jìn)氣緩沖罐；與進(jìn)氣緩沖罐連接的氯化氫壓縮機(jī)；與氯化氫壓縮機(jī)連接的出氣緩沖罐，所述出氣緩沖罐與冷氫化系統(tǒng)中的電加熱器連接。本發(fā)明至少存在以下技術(shù)效果I)在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中，電加熱管管壁表面由于附著無(wú)定形硅層，需要不斷增加電加熱器功率，使得通常冷氫化中電加熱器的使用壽命僅為4000小時(shí)左右。采用本發(fā)明的清洗方法可以將電加熱器使用壽命延長(zhǎng)至8000小時(shí)以上，從而節(jié)省該設(shè)備維護(hù)維修費(fèi)用50%。2)傳統(tǒng)冷氫化生產(chǎn)系統(tǒng)運(yùn)行4000小時(shí)便要停車，將損壞電加熱器更換后重新運(yùn)行，使用本發(fā)明無(wú)需頻繁更換電加熱器，小幅增加了運(yùn)行時(shí)間，提高產(chǎn)量，降低成本。3)與采用如酸液清洗、堿液清洗等清洗方式相比，本發(fā)明可直接在線清洗，無(wú)需拆裝電加熱器，大幅度增加了運(yùn)行時(shí)間，提高總產(chǎn)量，降低成本；同時(shí)不會(huì)污染環(huán)境，并且清洗所生成的三氯氫硅也是冷氫化系統(tǒng)所需的最終產(chǎn)品，減少了硅粉損失，小幅度提升了產(chǎn)量。4 )氯化氫在冷氫化系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)使用，除了清洗電加熱器中的無(wú)定型硅外，還可對(duì)循環(huán)經(jīng)過(guò)的其他設(shè)備以及管道上附著的無(wú)定形硅進(jìn)行清洗，因此可大幅度提升冷氫化系統(tǒng)的運(yùn)行穩(wěn)定性，同時(shí)降低了硅的損耗。


圖I為傳統(tǒng)冷氫化系統(tǒng)的工藝流程圖。圖2為本發(fā)明的在線清洗裝置安裝在傳統(tǒng)冷氫化系統(tǒng)中的連接示意圖。圖3為本發(fā)明清洗電加熱器的工藝流程圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種冷氫化電加熱器在線清洗裝置，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅。在一個(gè)實(shí)施例中，冷氫化系統(tǒng)包括氫氣供給管道，四氯化硅供給管道，分別與氫氣供給管道和四氯化硅供給管道連接的四氯化硅汽化器，與四氯化硅汽化器連接的電加熱器，與電加熱器連接的氫化反應(yīng)器，與氫化反應(yīng)器連接的洗滌系統(tǒng)，與洗滌系統(tǒng)連接的冷凝系統(tǒng)以及與冷凝系統(tǒng)連接的循環(huán)壓縮機(jī)。其中，循環(huán)壓縮機(jī)還與四氯化硅汽化器連接。電加熱器具有進(jìn)氣口、出氣口以及溫度變送器和功率調(diào)控器，其中溫度變送器實(shí)時(shí)采集電加熱器進(jìn)氣口和出氣口處的溫度信號(hào)并將采集的溫度信號(hào)傳送至功率調(diào)節(jié)器，功率調(diào)節(jié)器根據(jù)該溫度信號(hào)控制加熱功率，使得出氣口處的溫度為預(yù)設(shè)溫度。對(duì)上述冷氫化系統(tǒng)中的電加熱器在線清洗的裝置包括與電加熱器連接的氯化氫供料系統(tǒng)，用于向電加熱器中提供與無(wú)定型硅反應(yīng)的氯化氫。其中，氯化氫供料系統(tǒng)可以包括氯化氫儲(chǔ)罐，與氯化氫儲(chǔ)罐連接的進(jìn)氣緩沖罐，與進(jìn)氣緩沖罐連接的氯化氫壓縮機(jī)，與氯化氫壓縮機(jī)連接的出氣緩沖罐；其中出氣緩沖罐與冷氫化系統(tǒng)中的電加熱器連接。氯化氫供料系統(tǒng)中還可以包括氯化氫純化器，外購(gòu)或自制的氯化氫在氯化氫純化器中除去水分等雜質(zhì)后進(jìn)入氯化氫儲(chǔ)罐備用。下面詳細(xì)描述上述清洗裝置對(duì)電加熱器的在線清洗流程。如圖3所示，來(lái)自氯化氫純化器的氯化氫氣體在氯化氫儲(chǔ)罐中儲(chǔ)存?zhèn)溆谩Ｊ褂脮r(shí)先送入進(jìn)氣緩沖罐。在進(jìn)氣緩沖罐中穩(wěn)定壓力后，送入氯化氫壓縮機(jī)壓縮提壓，之后送入出氣緩沖罐穩(wěn)壓，然后再送入冷氫化系統(tǒng)的電加熱器。由于冷氫化系統(tǒng)中管道的耐溫一般是在6 5(TC以下，因此，氯化氫與硅粉的反應(yīng)溫度可以設(shè)在220-650°C之間。其中，在220-280°C時(shí)反應(yīng)產(chǎn)物主要為二氯二氫硅；在280-320°C時(shí)反應(yīng)產(chǎn)物主要為三氯氫硅；在320-650°C時(shí)反應(yīng)產(chǎn)物主要為四氯化硅。由于本發(fā)明中冷氫化系統(tǒng)的最終產(chǎn)品是三氯氫硅，因此氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅優(yōu)選在280-320°C的溫度范圍內(nèi)發(fā)生反應(yīng)，就可以得到包含反應(yīng)生成的三氯氫硅、氫氣以及未反應(yīng)的氯化氫的清洗后氣。清洗后氣在冷氫化系統(tǒng)原有的流程中經(jīng)氫化反應(yīng)器、洗滌系統(tǒng)進(jìn)入冷凝系統(tǒng)，并在冷凝系統(tǒng)中分離為三氯氫硅液體和氫氣、氯化氫氣體，其中氫氣和氯化氫作為循環(huán)氣經(jīng)循環(huán)壓縮機(jī)送入四氯化硅汽化器中，繼而送入電加熱器中循環(huán)使用。分離出的三氯氫硅液體可以送入冷凝料罐。由于清洗產(chǎn)物三氯氫硅恰好也是冷氫化系統(tǒng)的最終產(chǎn)物，因此可以按照該系統(tǒng)原有的流程送入下游工序繼續(xù)處理，而不需對(duì)原系統(tǒng)進(jìn)行任何改造。氯化氫在冷氫化系統(tǒng)中除了清洗電加熱器中的無(wú)定型硅外，還可對(duì)經(jīng)過(guò)的其他設(shè)備以及管道上附著的無(wú)定形硅進(jìn)行清洗。在上述的過(guò)程中，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅發(fā)生反應(yīng)時(shí)會(huì)放出大量的熱，該熱量一般由反應(yīng)生成的氫氣帶出電加熱器。由于原有的冷氫化系統(tǒng)中包含了氫氣供給管道，因此，為了帶出更多的熱量，防止電加熱器內(nèi)部過(guò)熱，可以從氫氣供給管道引入純氫氣至電加熱器中。在如前述清洗裝置與冷氫化系統(tǒng)的連接關(guān)系中，純氫氣從氫氣供給管道中出來(lái)后可以經(jīng)四氯化硅汽化器再送入電加熱器中。于是，在冷凝系統(tǒng)中分離出來(lái)的氫氣和氯化氫可以與純氫氣在四氯化硅汽化器中混合為混合氣一起送入電加熱器。作為優(yōu)選技術(shù)方案，來(lái)自出氣緩沖罐的氯化氫和來(lái)自四氯化硅汽化器的混合氣分別以200-300Nm3/h和4000-6000Nm3/h的流量送入電加熱器。一般地，當(dāng)電加熱器中的氯化氫含量較少時(shí)，清洗速度較慢；而當(dāng)氯化氫含量較多時(shí)，與硅反應(yīng)時(shí)放出的熱量不容易被及時(shí)帶出電加熱器，導(dǎo)致電加熱器溫度升高。一般情況下，當(dāng)電加熱器中的氯化氫與氫氣的摩爾比在I : 100到1 10之間時(shí)，可以進(jìn)行正常清洗。申請(qǐng)人發(fā)現(xiàn)，當(dāng)電加熱器中氯化氫和氫氣的摩爾比例為1 10時(shí)，清洗的速率和帶出的熱量情況較為合理。在這里，I 10是一個(gè)平均值，具體比例還和電加熱器中存在硅粉的多少有關(guān)，不同的覆著硅粉程度，對(duì)應(yīng)的氯化氫比例都不同?？梢栽O(shè)定，當(dāng)電加熱器中的氯化氫與氫氣的摩爾比達(dá)到I : 10，即可停止從出氣緩沖罐向電加熱器中弓I入氯化氫。而氫氣與氯化氫的混合氣通過(guò)循環(huán)壓縮機(jī)在冷氫化系統(tǒng)中循環(huán)清洗即可。若系統(tǒng)循環(huán)的混合氣中的氯化氫全部消耗完畢仍未將電加熱器清洗干凈，則按上述清洗方法繼續(xù)加入氯化氫。在本發(fā)明中，電加熱器清洗干凈的標(biāo)準(zhǔn)可以通過(guò)如下方式確定氯化氫與硅反應(yīng)是放熱反應(yīng)，在混合氣循環(huán)清洗過(guò)程中，電加熱器進(jìn)出氣溫度相同時(shí)則表示已清洗完成。可以通過(guò)溫度變送器實(shí)時(shí)采集電加熱器進(jìn)氣口和出氣口處的進(jìn)氣溫度和出氣溫度，當(dāng)出氣溫度與進(jìn)氣溫度相同時(shí)停止清洗即可。值得注意的是，如果在上述冷氫化系統(tǒng)中，選擇停止生產(chǎn)三氯氫硅后立即進(jìn)行在線清洗電加熱器的話，在清洗之前需要先停止向冷氫化系統(tǒng)中的氫化反應(yīng)器送入硅粉，待四氯化硅將硅粉完全消耗后，停止向冷氫化系統(tǒng)送入四氯化硅。這樣再進(jìn)行在線清洗可以盡量減少清洗量，減短清洗時(shí)間。在這種情況下，從電加熱器排出的清洗后氣，在順次通過(guò)氫化反應(yīng)器和洗滌系統(tǒng)時(shí)，因清洗前氫化反應(yīng)器中的硅粉都已消耗完畢，因此清洗后氣僅是從氫化反應(yīng)器和洗滌系統(tǒng)經(jīng)過(guò)而不發(fā)生任何變化。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種冷氫化電加熱器在線清洗方法，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化電加熱器在線清洗方法包括 清洗步驟從氯化氫供料系統(tǒng)中引入氯化氫至所述冷氫化系統(tǒng)的電加熱器中，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅發(fā)生反應(yīng)，得到包含反應(yīng)生成的三氯氫硅、氫氣以及未反應(yīng)的氯化氫的清洗后氣； 冷凝步驟將所述清洗后氣在冷氫化系統(tǒng)中冷凝分離為三氯氫硅液體和氫氣、氯化氫氣體，其中氫氣和氯化氫作為循環(huán)氣送入電加熱器循環(huán)使用。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅的反應(yīng)溫度為280-320°C。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在清洗步驟中還包括弓I入純氫氣至電加熱器中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在冷凝步驟中分離出來(lái)的氫氣和氯化氫與所述純氫氣混合為混合氣一起引入電加熱器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在清洗步驟中，來(lái)自氯化氫供料系統(tǒng)的氯化氫和所述混合氣分別以200-300Nm3/h和4000-6000Nm3/h的流量引入電加熱器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，當(dāng)電加熱器中的氯化氫與氫氣的摩爾比為I : 10時(shí)停止從氯化氫供料系統(tǒng)向電加熱器中引入氯化氫。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在清洗步驟中，還包括實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電加熱器的進(jìn)氣溫度和出氣溫度，當(dāng)電加熱器出氣溫度與進(jìn)氣溫度相同時(shí)停止清洗。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在執(zhí)行清洗步驟之前，還包括 清洗前準(zhǔn)備步驟先停止向冷氫化系統(tǒng)中送入硅粉，待冷氫化系統(tǒng)中的硅粉完全消耗后，再停止向冷氫化系統(tǒng)中送入四氯化硅。
9.一種冷氫化電加熱器在線清洗裝置，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化系統(tǒng)包括 氫氣供給管道； 四氯化硅供給管道； 分別與氫氣供給管道和四氯化硅供給管道連接的四氯化硅汽化器； 具有進(jìn)氣口和出氣口的電加熱器，所述電加熱器與四氯化硅汽化器連接，所述電加熱器具有溫度變送器和功率調(diào)控器，其中溫度變送器實(shí)時(shí)采集電加熱器進(jìn)氣口和出氣口處的溫度信號(hào)并將采集的溫度信號(hào)傳送至功率調(diào)節(jié)器，功率調(diào)節(jié)器根據(jù)所述溫度信號(hào)控制加熱功率，使得出氣口處的溫度為預(yù)設(shè)溫度； 與電加熱器連接的氫化反應(yīng)器； 與氫化反應(yīng)器連接的洗滌系統(tǒng)； 與洗滌系統(tǒng)連接的冷凝系統(tǒng)；以及 與冷凝系統(tǒng)連接的循環(huán)壓縮機(jī)，所述循環(huán)壓縮機(jī)與四氯化硅汽化器連接，其特征在于， 對(duì)所述電加熱器進(jìn)行在線清洗的裝置包括與電加熱器連接的氯化氫供料系統(tǒng)，用于向電加熱器中提供與無(wú)定型硅反應(yīng)的氯化氫。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的冷氫化電加熱器在線清洗裝置，其特征在于，所述氯化氫供料系統(tǒng)包括 氯化氫儲(chǔ)罐； 與氯化氫儲(chǔ)罐連接的進(jìn)氣緩沖罐； 與進(jìn)氣緩沖罐連接的氯化氫壓縮機(jī)； 與氯化氫壓縮機(jī)連接的出氣緩沖罐， 所述出氣緩沖罐與冷氫化系統(tǒng)中的電加熱器連接。
全文摘要
冷氫化電加熱器在線清洗方法及清洗裝置。冷氫化電加熱器在線清洗方法，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化電加熱器在線清洗方法包括清洗步驟從氯化氫供料系統(tǒng)中引入氯化氫至所述冷氫化系統(tǒng)的電加熱器中，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅發(fā)生反應(yīng)，得到包含反應(yīng)生成的三氯氫硅、氫氣以及未反應(yīng)的氯化氫的清洗后氣；冷凝步驟將所述清洗后氣在冷氫化系統(tǒng)中冷凝分離為三氯氫硅液體和氫氣、氯化氫氣體，其中氫氣和氯化氫作為循環(huán)氣送入電加熱器循環(huán)使用。本發(fā)明在清洗過(guò)程中不需要拆裝電加熱器，能夠大幅度增加運(yùn)行時(shí)間，降低成本。
文檔編號(hào)C01B33/107GK102974569SQ20121045673
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月14日
發(fā)明者齊林喜, 王曉亮 申請(qǐng)人:內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司