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技術(shù)編號：3447774

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本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及冷氫化系統(tǒng)中電加熱器的在線清洗方法及清洗裝置。背景技術(shù)多晶硅制備是一個高耗能的產(chǎn)業(yè)，改進工藝降低生產(chǎn)成本是各企業(yè)可持續(xù)發(fā)展的重點。在多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的四氯化硅(SiCl4)的量非常大，國內(nèi)外都在努力探索有效利用SiCl4的理想途徑。其中，冷氫化法是處理SiCl4的一種極其有效的方法。冷氫化是一種利用SiCl4、氫氣(H2)和硅粉(Si)反應(yīng)制備三氯氫硅(SiHCl3)的工藝。目前冷氫化系統(tǒng)通常的生產(chǎn)流程如圖I所示，H...
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