專(zhuān)利名稱：一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中還原爐中使用的石墨卡瓣，尤其是一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣。
背景技術(shù)：
目前，多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中還原爐用的硅芯普遍采用硅芯爐拉制的圓硅芯，連接圓硅芯與電極的石墨卡瓣上普遍開(kāi)有截面為圓形的孔作為硅芯的夾持孔。但是，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中硅芯爐很難拉制出絕對(duì)圓的圓硅芯，這就造成圓硅芯與夾持孔之間的石墨卡瓣往往形成點(diǎn)接觸，而非理想的面接觸，從而導(dǎo)致硅芯與石墨卡瓣之間虛接，造成多晶硅生產(chǎn)中電耗增大、熔斷器易熔斷、減緩多晶硅沉積速度，加大了生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣，配合方形硅芯使用能夠使硅芯和石墨卡瓣之間保持面接觸，從而能減少電能消耗，有利于產(chǎn)品的生長(zhǎng)，且沉積速度和一次轉(zhuǎn)化率相對(duì)較高。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣，包括石墨卡瓣本體，在該石墨卡瓣本體上開(kāi)有用于夾持硅芯的夾持孔，其特別之處在于，所述夾持孔的截面為矩形、三角形、菱形或梯形。本實(shí)用新型的石墨卡瓣適合與截面為矩形的方硅芯配合使用，由于將石墨卡瓣上傳統(tǒng)的截面為圓形的夾持孔改造成截面為矩形的夾持孔，配合對(duì)方硅芯的夾持，實(shí)現(xiàn)了石墨卡瓣與方硅芯的面接觸，保證了石墨卡瓣與方硅芯四個(gè)面的最大面積接觸，這樣在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中縮短了擊穿時(shí)間，壓二級(jí)電流的時(shí)間明顯變短，產(chǎn)品能耗低于圓硅芯的能耗，成品率、沉積速度和一次轉(zhuǎn)化率相對(duì)較高，從而提高了多晶硅的生產(chǎn)效率。

附圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖來(lái)對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明如圖1、2所示，一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣，包括石墨卡瓣本體2，在該石墨卡瓣本體2上開(kāi)有用于夾持硅芯的夾持孔1，夾持孔1的截面為矩形，當(dāng)采用截面為矩形的方硅芯時(shí)，兩者可以很好的實(shí)現(xiàn)面接觸，即使方硅芯加工的形變略有偏差影響也不大。當(dāng)然夾持孔1的截面也可以為三角形、菱形或梯形，此時(shí)需要與截面為三角形或梯形的硅芯配合使用。
權(quán)利要求1. 一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣，包括石墨卡瓣本體0)，在該石墨卡瓣本體 (2)上開(kāi)有用于夾持硅芯的夾持孔(1)，其特征在于所述夾持孔(1)的截面為矩形、三角形、菱形或梯形。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中還原爐中使用的石墨卡瓣，尤其是一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣。包括石墨卡瓣本體，在該石墨卡瓣本體上開(kāi)有用于夾持硅芯的夾持孔，其特點(diǎn)是，所述夾持孔的截面為矩形、三角形、菱形或梯形。本實(shí)用新型的石墨卡瓣適合與截面為矩形的方硅芯配合使用，由于將石墨卡瓣上傳統(tǒng)的截面為圓形的夾持孔改造成截面為矩形的夾持孔，配合對(duì)方硅芯的夾持，實(shí)現(xiàn)了石墨卡瓣與方硅芯的面接觸，保證了石墨卡瓣與方硅芯四個(gè)面的最大面積接觸，這樣在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中縮短了擊穿時(shí)間，壓二級(jí)電流的時(shí)間明顯變短，產(chǎn)品能耗低于圓硅芯的能耗，成品率、沉積速度和一次轉(zhuǎn)化率相對(duì)較高，從而提高了多晶硅的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C01B33/021GK202072476SQ20112018779
公開(kāi)日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月7日
發(fā)明者周英軍 申請(qǐng)人:周英軍