技術編號：3443952
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)過程中還原爐中使用的石墨卡瓣，尤其是一種適用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣。背景技術目前，多晶硅生產(chǎn)過程中還原爐用的硅芯普遍采用硅芯爐拉制的圓硅芯，連接圓硅芯與電極的石墨卡瓣上普遍開有截面為圓形的孔作為硅芯的夾持孔。但是，在實際生產(chǎn)過程中硅芯爐很難拉制出絕對圓的圓硅芯，這就造成圓硅芯與夾持孔之間的石墨卡瓣往往形成點接觸，而非理想的面接觸，從而導致硅芯與石墨卡瓣之間虛接，造成多晶硅生產(chǎn)中電耗增大、熔斷器易熔斷、減緩多晶硅沉積速度，加大了...
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