專利名稱：用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐，主要用于氫氣和四 氯化硅在高溫碳棒上進(jìn)行四氯化硅還原反應(yīng)生成三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐。
背景技術(shù)：
轉(zhuǎn)化爐是多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中用于將四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的重要設(shè)備，其內(nèi)部 包括有進(jìn)出氣管，反應(yīng)氣體通過(guò)進(jìn)氣管進(jìn)入轉(zhuǎn)化爐內(nèi)，反應(yīng)后的尾氣通過(guò)出氣管進(jìn)入到后 續(xù)設(shè)備；反應(yīng)氣體在反應(yīng)爐內(nèi)反應(yīng)時(shí)，需要一定的反應(yīng)條件，如需要達(dá)到一定的溫度，故反 應(yīng)爐內(nèi)設(shè)有加熱裝置，反應(yīng)氣體反應(yīng)后尾氣中帶有一部分熱量，需要冷卻后才能進(jìn)行下一 步處理，這樣不但浪費(fèi)了一部分熱量，而且增加了冷卻裝置，即造成了熱量的浪費(fèi)也提高了 尾氣處理成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)上述缺陷，目的在于提供一種能充分利用尾氣含有的熱能，使之 能得到有效利用的用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是本實(shí)用新型包括底盤(pán)、設(shè)置在底盤(pán)上的鐘罩，轉(zhuǎn)化爐上 設(shè)有加熱裝置，鐘罩內(nèi)設(shè)有連通的進(jìn)出氣管，進(jìn)出氣管和外部連通，所述的出氣管和進(jìn)氣管 夾套設(shè)置。所述鐘罩和底盤(pán)處設(shè)有冷卻水管。所述進(jìn)氣管的入口處設(shè)有氣體分布器。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型進(jìn)出氣管采用夾套式，出氣管在外面包住進(jìn)氣 管，利用熱的還原尾氣初步預(yù)熱進(jìn)爐的混合氣，并使尾氣得到初步的冷卻。鐘罩、底盤(pán)內(nèi)設(shè) 有冷卻管，能夠帶走轉(zhuǎn)化爐內(nèi)反應(yīng)時(shí)輻射到爐體，使得轉(zhuǎn)化爐使用壽命得到延長(zhǎng)。這種設(shè)計(jì) 使轉(zhuǎn)化爐內(nèi)部結(jié)構(gòu)趨于合理，進(jìn)氣管在內(nèi)，出氣管包住進(jìn)氣管的一部分，有效利用爐子的熱 能，對(duì)進(jìn)氣進(jìn)行進(jìn)一步預(yù)熱，使氫還原反應(yīng)更易于發(fā)生。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖中1為鐘罩、2為電極、3為電源、4為碳加熱介質(zhì)、5為進(jìn)氣管、6為出氣管、7為 底盤(pán)、8為視孔、9為氣體分布器、10為壓力安全閥。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型包括有底盤(pán)7和設(shè)置在底盤(pán)7上的鐘罩1，底盤(pán)7上設(shè)有延伸至鐘罩1 內(nèi)部的加熱裝置，包括電源4、電極3和碳加熱介質(zhì)4 ；本實(shí)用新型在鐘罩1內(nèi)部設(shè)有進(jìn)氣管 5和出氣管6，為了使進(jìn)氣均勻，在進(jìn)氣管5的進(jìn)口處設(shè)氣體分布器9，以使進(jìn)入鐘罩1內(nèi)部 的反應(yīng)氣均勻，使其能充分的反應(yīng)；同時(shí)為了確保鐘罩1內(nèi)的壓力保持在合理的范圍內(nèi)，確保轉(zhuǎn)化爐的工作安全，特在轉(zhuǎn)化爐上設(shè)置壓力安全閥10，當(dāng)鐘罩1內(nèi)部的壓力大于安全壓 力時(shí)，關(guān)閉進(jìn)氣口，并采取相應(yīng)的泄壓措施，以確保轉(zhuǎn)化爐的工作安全；另本實(shí)用新型在鐘 罩1上設(shè)視孔8，以觀察轉(zhuǎn)化爐內(nèi)反應(yīng)氣的反應(yīng)情況，以能根據(jù)實(shí)際反映情況做適當(dāng)、靈活 的調(diào)整。本實(shí)用新型的出氣管6夾套在進(jìn)氣管5的外側(cè)，這樣通過(guò)反應(yīng)后得到的尾氣通過(guò) 出氣管6時(shí)，能對(duì)進(jìn)入鐘罩1內(nèi)的反應(yīng)氣進(jìn)行預(yù)熱，同時(shí)尾氣得到預(yù)冷卻，即充分的利用了 熱能，又降低了尾氣冷卻處理成本；本實(shí)用新型反過(guò)來(lái)進(jìn)氣管5亦可設(shè)置在出氣管6的外 側(cè)。本實(shí)用新型鐘罩1、底盤(pán)7、視孔8內(nèi)設(shè)有冷卻管，能夠帶走轉(zhuǎn)化爐內(nèi)反應(yīng)時(shí)輻射到 爐體，使得轉(zhuǎn)化爐使用壽命得到延長(zhǎng)。
權(quán)利要求用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐，包括底盤(pán)、設(shè)置在底盤(pán)上的鐘罩，轉(zhuǎn)化爐上設(shè)有加熱裝置，鐘罩內(nèi)設(shè)有連通的進(jìn)出氣管，進(jìn)出氣管和外部連通，其特征在于，所述的出氣管和進(jìn)氣管夾套設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐，其特征在于，所述 鐘罩和底盤(pán)處設(shè)有冷卻水管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐，其特征在于，所述 進(jìn)氣管的入口處設(shè)有氣體分布器。
專利摘要用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐。涉及一種用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐。包括底盤(pán)、設(shè)置在底盤(pán)上的鐘罩，轉(zhuǎn)化爐上設(shè)有加熱裝置，鐘罩內(nèi)設(shè)有連通的進(jìn)出氣管，進(jìn)出氣管和外部連通，所述的出氣管和進(jìn)氣管夾套設(shè)置。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型進(jìn)出氣管采用夾套式，出氣管在外面包住進(jìn)氣管，利用熱的還原尾氣初步預(yù)熱進(jìn)爐的混合氣，并使尾氣得到初步的冷卻。鐘罩、底盤(pán)內(nèi)設(shè)有冷卻管，能夠帶走轉(zhuǎn)化爐內(nèi)反應(yīng)時(shí)輻射到爐體，使得轉(zhuǎn)化爐使用壽命得到延長(zhǎng)。這種設(shè)計(jì)使轉(zhuǎn)化爐內(nèi)部結(jié)構(gòu)趨于合理，進(jìn)氣管在內(nèi)，出氣管包住進(jìn)氣管的一部分，有效利用爐子的熱能，對(duì)進(jìn)氣進(jìn)行進(jìn)一步預(yù)熱，使氫還原反應(yīng)更易于發(fā)生。
文檔編號(hào)C01B33/107GK201598185SQ200920256028
公開(kāi)日2010年10月6日 申請(qǐng)日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者倪云達(dá) 申請(qǐng)人:倪云達(dá)