技術(shù)編號：3438491
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種用于四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐，主要用于氫氣和四 氯化硅在高溫碳棒上進行四氯化硅還原反應生成三氯氫硅的轉(zhuǎn)化爐。背景技術(shù)轉(zhuǎn)化爐是多晶硅生產(chǎn)過程中用于將四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的重要設(shè)備，其內(nèi)部 包括有進出氣管，反應氣體通過進氣管進入轉(zhuǎn)化爐內(nèi)，反應后的尾氣通過出氣管進入到后 續(xù)設(shè)備；反應氣體在反應爐內(nèi)反應時，需要一定的反應條件，如需要達到一定的溫度，故反 應爐內(nèi)設(shè)有加熱裝置，反應氣體反應后尾氣中帶有一部分熱量，需要冷卻后才能進行下一 步處理...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。