專利名稱：二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種煅燒設(shè)備，特別是一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中半導(dǎo)體高集成化的發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體芯片密封材料高性能化的要求不斷提高，特別是對(duì)電絕緣性、低膨脹率等性能的要求。為了滿足這些要求，合成 樹脂以及使用熔融處理的無機(jī)粒子(特別是熔融的硅微粉)作為填充劑，這樣填充的密封 材料被廣泛使用。該硅微粉粒子如果是球狀的，可以達(dá)到高填充率。另外由于其在密封時(shí) 的流動(dòng)性以及耐金屬磨具的磨耗性佳，現(xiàn)在球狀硅微粉被廣泛使用。現(xiàn)有技術(shù)中的煅燒爐 的缺陷在于，在煅燒過程中，容易出現(xiàn)熔融后二氧化硅微珠與爐壁粘結(jié)現(xiàn)象，且不能連續(xù)化 生產(chǎn)；微粉的冷卻速度較慢，造成微粉球形度低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單合 理、可有效防止?fàn)t壁粘結(jié)現(xiàn)象的發(fā)生、提高微粉的球形度的二氧化硅粉體立式火焰球化煅 燒爐。本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是通過以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本實(shí)用新型 是一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，包括爐體、膛壁和設(shè)在爐體頂部的噴嘴，其特點(diǎn) 是在爐體與膛壁之間設(shè)有風(fēng)冷夾套，爐體的上部設(shè)有若干個(gè)冷卻風(fēng)給風(fēng)管；在風(fēng)冷夾套 內(nèi)設(shè)有螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板，螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板側(cè)邊的膛壁上設(shè)有膛壁氣孔；在爐體的中部設(shè)有 若干個(gè)二次進(jìn)風(fēng)管，在二次進(jìn)風(fēng)管上部的爐體上設(shè)有出風(fēng)口 ；在爐體的下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口和 收集口。本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上 所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特點(diǎn)是所述的冷卻風(fēng)給風(fēng)管為4根，對(duì)稱設(shè)置。本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上 所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特點(diǎn)是所述的冷卻風(fēng)給風(fēng)管切向安裝在爐 體上。本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上 所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特點(diǎn)是所述的膛壁氣孔切向設(shè)置在膛壁上。本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以 上所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特點(diǎn)是所述的二次進(jìn)風(fēng)管為4根，對(duì)稱設(shè)置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)1、防止粘連；使用時(shí)，在螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板的作用下，進(jìn)入風(fēng)冷夾套內(nèi)的冷卻風(fēng)受到 膛壁加熱后由膛壁氣孔進(jìn)入膛壁內(nèi)，進(jìn)入膛壁內(nèi)的冷卻風(fēng)緊貼爐壁形成螺旋式氣膜，使得部分脫離火焰的顆粒不與爐壁相接觸，能有效的防止熔融后硅微粉微珠與爐壁粘結(jié)現(xiàn)象，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。2、提高微粉的球形度；冷卻風(fēng)可由切向進(jìn)入爐體內(nèi)部，緊貼爐體內(nèi)部形成螺旋風(fēng)， 使得硅微粉體熔融后得到迅速冷卻，有效地保證了粉體的球形度；而且通過二次進(jìn)風(fēng)管進(jìn) 入的冷卻風(fēng)，可使熔融后的二氧化硅微珠遇到冷風(fēng)后進(jìn)一步迅速冷卻，進(jìn)而提高微粉的球 形度。3、爐體下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口，爐體內(nèi)的高溫氣流可以被進(jìn)風(fēng)口所進(jìn)冷風(fēng)降溫，可使收 集口溫度達(dá)到可收集的適宜溫度，保證收集器不被高溫所損壞。

圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下參照附圖，進(jìn)一步描述本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案，以便于本領(lǐng)域的技術(shù)人 員進(jìn)一步地理解本發(fā)明，而不構(gòu)成對(duì)其權(quán)利的限制。實(shí)施例1。一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，包括爐體6、膛壁3和設(shè)在爐 體6頂部的噴嘴1，在爐體6與膛壁3之間設(shè)有風(fēng)冷夾套11，爐體6的上部設(shè)有若干個(gè)冷卻 風(fēng)給風(fēng)管2 ；在風(fēng)冷夾套11內(nèi)設(shè)有螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板9，螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板9側(cè)邊的膛壁3上設(shè) 有膛壁氣孔10 ；在爐體6的中部設(shè)有若干個(gè)二次進(jìn)風(fēng)管5，在二次進(jìn)風(fēng)管5上部的爐體6上 設(shè)有出風(fēng)口 4 ；在爐體6的下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口 8和收集口 7。實(shí)施例2。實(shí)施例1所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐中，所述的冷卻風(fēng)給 風(fēng)管2為4根，對(duì)稱設(shè)置。實(shí)施例3。實(shí)施例1或2所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐中，所述的冷卻 風(fēng)給風(fēng)管2切向安裝在爐體6上。實(shí)施例4。實(shí)施例1或2或3所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐中，所述的 膛壁氣孔10切向設(shè)置在膛壁3上。
權(quán)利要求一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，包括爐體(6)、膛壁(3)和設(shè)在爐體(6)頂部的噴嘴(1)，其特征在于在爐體(6)與膛壁(3)之間設(shè)有風(fēng)冷夾套(11)，爐體(6)的上部設(shè)有若干個(gè)冷卻風(fēng)給風(fēng)管(2)；在風(fēng)冷夾套(11)內(nèi)設(shè)有螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板(9)，螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板(9)側(cè)邊的膛壁(3)上設(shè)有膛壁氣孔(10)；在爐體(6)的中部設(shè)有若干個(gè)二次進(jìn)風(fēng)管(5)，在二次進(jìn)風(fēng)管(5)上部的爐體(6)上設(shè)有出風(fēng)口(4)；在爐體(6)的下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口(8)和收集口(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特征在于所述的冷 卻風(fēng)給風(fēng)管(2)為4根，對(duì)稱設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特征在于所述的冷 卻風(fēng)給風(fēng)管(2)切向安裝在爐體(6)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特征在于所述的膛 壁氣孔(10)切向設(shè)置在膛壁(3)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，其特征在于所述的二 次進(jìn)風(fēng)管(5)為4根，對(duì)稱設(shè)置。
專利摘要本實(shí)用新型是一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐，包括爐體、膛壁和設(shè)在爐體頂部的噴嘴，其特征在于在爐體與膛壁之間設(shè)有風(fēng)冷夾套，爐體的上部設(shè)有若干個(gè)冷卻風(fēng)給風(fēng)管；在風(fēng)冷夾套內(nèi)設(shè)有螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板，螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板側(cè)邊的膛壁上設(shè)有膛壁氣孔；在爐體的中部設(shè)有若干個(gè)二次進(jìn)風(fēng)管，在二次進(jìn)風(fēng)管上部的爐體上設(shè)有出風(fēng)口；在爐體的下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口和收集口。使用時(shí)，在螺旋狀導(dǎo)風(fēng)隔板的作用下，進(jìn)入風(fēng)冷夾套內(nèi)的冷卻風(fēng)受到膛壁加熱后由膛壁氣孔進(jìn)入膛壁內(nèi)，形成螺旋式氣膜，使部分脫離火焰的顆粒不與爐壁相接觸，防止熔融后硅微粉微珠與爐壁粘結(jié)現(xiàn)象；它還具有提高微粉的球形度的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)C01B33/18GK201567239SQ20092025555
公開日2010年9月1日 申請(qǐng)日期2009年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月23日
發(fā)明者汪維橋, 阮建軍 申請(qǐng)人:連云港東海硅微粉有限責(zé)任公司