技術(shù)編號(hào):3438488
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種煅燒設(shè)備,特別是一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐。 背景技術(shù)當(dāng)前,由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中半導(dǎo)體高集成化的發(fā)展,對(duì)半導(dǎo)體芯片密封材料高性能化的要求不斷提高,特別是對(duì)電絕緣性、低膨脹率等性能的要求。為了滿足這些要求,合成 樹脂以及使用熔融處理的無機(jī)粒子(特別是熔融的硅微粉)作為填充劑,這樣填充的密封 材料被廣泛使用。該硅微粉粒子如果是球狀的,可以達(dá)到高填充率。另外由于其在密封時(shí) 的流動(dòng)性以及耐金屬磨具的磨耗性佳,現(xiàn)在球狀硅微粉被廣泛使用。現(xiàn)有技術(shù)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。