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二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3438488

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本實(shí)用新型涉及一種煅燒設(shè)備,特別是一種二氧化硅粉體立式火焰球化煅燒爐。 背景技術(shù)當(dāng)前,由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中半導(dǎo)體高集成化的發(fā)展,對(duì)半導(dǎo)體芯片密封材料高性能化的要求不斷提高,特別是對(duì)電絕緣性、低膨脹率等性能的要求。為了滿足這些要求,合成 樹脂以及使用熔融處理的無機(jī)粒子(特別是熔融的硅微粉)作為填充劑,這樣填充的密封 材料被廣泛使用。該硅微粉粒子如果是球狀的,可以達(dá)到高填充率。另外由于其在密封時(shí) 的流動(dòng)性以及耐金屬磨具的磨耗性佳,現(xiàn)在球狀硅微粉被廣泛使用。現(xiàn)有技術(shù)...
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