一種石墨框承載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種石墨框承載裝置，具體是指應(yīng)用于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中PECVD設(shè)備上的石墨框。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中，太陽(yáng)能無(wú)疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。因此，太陽(yáng)能電池得到了世界各國(guó)的重視，目前也已經(jīng)取得了極大的發(fā)展。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，在太陽(yáng)能電池的制備過(guò)程中，一般需要對(duì)硅片進(jìn)行鍍減反射膜的步驟。目前，氮化硅薄膜作為晶體硅太陽(yáng)能電池的光學(xué)減反射膜，同時(shí)它也起到表面鈍化和體內(nèi)鈍化的作用，以提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率?，F(xiàn)有技術(shù)中，制備氮化硅薄膜一般采用的是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法，如可以采用德國(guó)R0TH&RAU公司的PECVD設(shè)備。在采用PECVD設(shè)備制備氮化硅薄膜的過(guò)程中，需要使用一種承載硅片的石墨框?，F(xiàn)有的石墨框呈網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載條，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格，所述承載條的寬度一般為6?8_，并在承載條上安裝掛鉤，需要鍍膜的硅片放在石墨框的網(wǎng)格里，通過(guò)掛鉤即可托住硅片。
[0004]然而，實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn):在使用過(guò)程中，由于沒(méi)有支撐，石墨框中心的承載條在高溫下容易下沉，使得石墨框中心與邊緣形成凹陷，這樣邊緣的電池片比中心高，特別是離導(dǎo)軌條側(cè)的邊緣在鍍膜時(shí)容易發(fā)紅，產(chǎn)生鍍膜色差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種石墨框承載裝置，其具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、不易變形的特點(diǎn)，且在PECVD鍍膜中不易產(chǎn)生色差。
[0006]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種石墨框承載裝置，包括石墨框本體，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載條，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格，在位于石墨框本體中央的橫豎交錯(cuò)的承載條中，至少有3條相互垂直的承載條的寬度為12?16_，其余承載條的寬度為6?8mm。
[0007]上述技術(shù)方案中，所述石墨框本體的長(zhǎng)度為1691?1760mm;
[0008]進(jìn)一步地，所述石墨框本體的左右兩側(cè)各設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱分布的U型定位孔。
[0009]上述技術(shù)方案中，所述U型定位孔由長(zhǎng)方形和半圓形通孔組成，長(zhǎng)方形通孔的長(zhǎng)度為I?70mm，寬度為5?8mm;半圓形通孔的直徑為5?8mm，且半圓形通孔的直徑與長(zhǎng)方形通孔的寬度相等。
[0010]優(yōu)選地，所述長(zhǎng)方形通孔的長(zhǎng)度為60mm，寬度為7mm;半圓形通孔的直徑為7_。
[0011]優(yōu)選地，所述石墨框網(wǎng)格為具有倒角的正方形孔。
[0012]進(jìn)一步地，所述正方形孔的寬度為126?126.9mm。
[0013]優(yōu)選地，所述正方形孔的寬度為126.7mm。
[0014]優(yōu)選地，所述石墨框本體的長(zhǎng)度為1750mm。
[0015]進(jìn)一步地，所述承載條上設(shè)有用于支撐硅片的掛鉤。
[0016]優(yōu)選地，所述石墨框本體上分布有6 X 12個(gè)石墨網(wǎng)格。
[0017]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0018]1.本實(shí)用新型對(duì)位于石墨框本體中央的橫豎交錯(cuò)的承載條進(jìn)行加寬，所構(gòu)成的石墨框網(wǎng)格的橋梁更加穩(wěn)固，不易變形，使承載條都在同一片面上，在鍍膜時(shí)不容易產(chǎn)生色差;
[0019]2.本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于制備，適用性強(qiáng)。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是實(shí)施例一中本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021 ]圖2是實(shí)施例二中本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]其中:1、石墨框本體;2、承載條;3、石墨框網(wǎng)格;4、U型定位孔。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0024]實(shí)施例一:
[0025]參見圖1所示，一種石墨框承載裝置，包括石墨框本體I，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載條2，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格3，在位于石墨框本體中央的橫豎交錯(cuò)的承載條中，至少有3條相互垂直的承載條的寬度為15_，其余承載條的寬度為6_。
[0026]本實(shí)施例中，作為優(yōu)選的，所述石墨框本體的長(zhǎng)度為1750mm;
[0027]所述石墨框本體的左右兩側(cè)各設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱分布的U型定位孔4。
[0028]所述U型定位孔由長(zhǎng)方形和半圓形通孔組成，長(zhǎng)方形通孔的長(zhǎng)度為60mm，寬度為7mm;半圓形通孔的直徑為7mm，且半圓形通孔的直徑與長(zhǎng)方形通孔的寬度相等。
[0029]所述石墨框網(wǎng)格為具有倒角的正方形孔，所述正方形孔的寬度為126.7mm。
[0030]所述承載條上還設(shè)有用于支撐硅片的掛鉤。
[0031 ]作為優(yōu)選的，所述石墨框本體上分布有6 X 12個(gè)石墨網(wǎng)格。
[0032]實(shí)施例二:
[0033]參見圖2所示，一種石墨框承載裝置，包括石墨框本體I，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載條2，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格3，在位于石墨框本體中央的橫豎交錯(cuò)的承載條中，有3條相互垂直的承載條的寬度為15mm，其余承載條的寬度為6mm。
[0034]所述石墨框本體的左右兩側(cè)各設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱分布的U型定位孔4。
[0035]所述承載條上還設(shè)有用于支撐硅片的掛鉤。
[0036]作為優(yōu)選的，所述石墨框本體上分布有5X 6個(gè)石墨網(wǎng)格。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石墨框承載裝置，包括石墨框本體，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載條，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格，其特征在于:在位于石墨框本體中央的橫豎交錯(cuò)的承載條中，至少有3條相互垂直的承載條的寬度為12?16mm，其余承載條的寬度為6?8_。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述石墨框本體的長(zhǎng)度為1691?1760mm; 所述石墨框本體的左右兩側(cè)各設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱分布的U型定位孔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述U型定位孔由長(zhǎng)方形和半圓形通孔組成，長(zhǎng)方形通孔的長(zhǎng)度為I?70mm，寬度為5?8mm;半圓形通孔的直徑為5?8mm，且半圓形通孔的直徑與長(zhǎng)方形通孔的寬度相等。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述長(zhǎng)方形通孔的長(zhǎng)度為60mm，寬度為7mm;半圓形通孔的直徑為7mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述石墨框網(wǎng)格為具有倒角的正方形孔。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述正方形孔的寬度為126?126.9mmο7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述正方形孔的寬度為126.7mm。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述石墨框本體的長(zhǎng)度為I750mmο9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述承載條上設(shè)有用于支撐硅片的掛鉤。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于:所述石墨框本體上分布有6X12個(gè)石墨網(wǎng)格。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種石墨框承載裝置，包括石墨框本體，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載條，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格，在位于石墨框本體中央的橫豎交錯(cuò)的承載條中，至少有3條相互垂直的承載條的寬度為12～16mm，其余承載條的寬度為6～8mm。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、不易變形的特點(diǎn)，且在PECVD鍍膜中不易產(chǎn)生色差。
【IPC分類】C23C16/34, C23C16/458, H01L31/0216, H01L31/18
【公開號(hào)】CN205275698
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521134384
【發(fā)明人】張春華, 陳佳男, 衡陽(yáng), 鄭旭然, 李棟, 孟祥熙
【申請(qǐng)人】蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2015年12月31日