擺動(dòng)裝置及蝕刻機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及蝕刻機(jī)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種擺動(dòng)裝置及蝕刻機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)，在半導(dǎo)體和線路板制作過程中，蝕刻是不可或缺的技術(shù)。蝕刻機(jī)是用于對(duì)材料進(jìn)行蝕刻的專用設(shè)備。以鎳銀蝕刻機(jī)(Ni&Ag-Etch)為例，其作用是將晶圓(wafer)表面的鎳銀合金通過化學(xué)腐蝕的方法去除。在大批量的生產(chǎn)過程中，將25片晶圓放置在卡塞(cassette)中，晶圓之間間隙很小，并且隨著反應(yīng)的進(jìn)行反應(yīng)液(硝酸和冰醋酸)的濃度會(huì)發(fā)生相應(yīng)變化，這就導(dǎo)致晶圓上某些部位產(chǎn)生蝕刻不干凈或者不均勻的問題，需要重新返工，甚至晶圓報(bào)廢。目前生產(chǎn)中常用的解決方案是用人工擺動(dòng)卡塞的方式，以1Hz?2Hz的頻率在7分鐘的蝕刻周期內(nèi)連續(xù)擺動(dòng)，才能達(dá)到相對(duì)理想的蝕刻效果。
[0003]人工擺動(dòng)的方式有很多缺點(diǎn)。首先，一套晶圓加卡塞的重量大約為3Kg，讓員工長(zhǎng)時(shí)間擺動(dòng)會(huì)導(dǎo)致勞動(dòng)強(qiáng)度的大大增加，進(jìn)而影響工作效率。其次，蝕刻過程中的反應(yīng)液具有強(qiáng)腐蝕性，人工擺動(dòng)的過程中可能會(huì)濺起酸液，對(duì)員工的人身安全產(chǎn)生危害。與此同時(shí)，人工擺動(dòng)的過程中由于其擺動(dòng)軌跡的偶然性，可能會(huì)導(dǎo)致晶圓與反應(yīng)槽發(fā)生碰撞，進(jìn)而損壞晶圓導(dǎo)致報(bào)廢?？偠灾斯[動(dòng)的方式不僅影響生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，而且對(duì)員工人身安全也具有危害。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對(duì)當(dāng)前蝕刻機(jī)操作過程中采用人工擺動(dòng)卡塞方式，導(dǎo)致產(chǎn)品效率低、質(zhì)量無法保證，且存在安全隱患的問題，提供一種可自動(dòng)化擺動(dòng)的擺動(dòng)裝置及蝕刻機(jī)，提高產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量和效率，降低產(chǎn)品不良率，同時(shí)可避免安全隱患。
[0005]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種擺動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)裝置應(yīng)用于蝕刻機(jī)，包括:載物機(jī)構(gòu)、擺動(dòng)機(jī)構(gòu)和動(dòng)力機(jī)構(gòu)；所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述載物機(jī)構(gòu)相連；所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)與所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，用于控制所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述載物機(jī)構(gòu)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0006]優(yōu)選地，所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑塊、第一連桿、第二連桿和第三連桿；
[0007]所述導(dǎo)軌沿上下方向設(shè)置；
[0008]所述滑塊與所述第三連桿的一端相連，并與所述導(dǎo)軌相配合；
[0009]所述第一連桿的一端與所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)固定相連，另一端與所述第二連桿的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)相連；
[0010]所述第三連桿的另一端與所述載物機(jī)構(gòu)固定相連。
[0011]優(yōu)選地，所述擺動(dòng)裝置還包括箱體；所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)和所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述箱體內(nèi)；所述導(dǎo)軌固定在所述箱體內(nèi)側(cè)；所述第三連桿所述載物機(jī)構(gòu)固定相連的一端伸出所述箱體。
[0012]優(yōu)選地，所述箱體外設(shè)有耐腐蝕保護(hù)層。
[0013]優(yōu)選地，所述載物機(jī)構(gòu)包括載物籃；所述載物籃包括方形籃體、連接件和支撐件；
[0014]所述連接件連接所述方形籃體和所述第三連桿；
[0015]所述支撐件一端固定在所述方形籃體上，另一端固定在所述連接件上。
[0016]所述方形籃體、連接件和支撐件形成三角形穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。
[0017]優(yōu)選地，所述載物籃外設(shè)有耐腐蝕保護(hù)層。
[0018]優(yōu)選地，所述第一連桿和所述第二連桿通過第一銷釘相連并可繞所述第一銷釘轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二連桿和所述第三連桿通過第二銷釘相連并可繞所述第二銷釘轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0019]本實(shí)用新型還提供一種蝕刻機(jī)，包括機(jī)臺(tái)和設(shè)置在機(jī)臺(tái)上的反應(yīng)槽；還包括支架和前述擺動(dòng)裝置；所述支架設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上；所述擺動(dòng)裝置放置在所述支架上，且所述載物機(jī)構(gòu)部分進(jìn)入所述反應(yīng)槽內(nèi)。
[0020]優(yōu)選地，所述支架包括兩個(gè)支撐臂和至少兩個(gè)支撐桿；所述兩個(gè)支撐臂平行相對(duì)設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上；所述至少兩個(gè)支撐桿平行間隔設(shè)置在所述支撐臂上；所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)和動(dòng)力機(jī)構(gòu)放置在所述至少兩個(gè)支撐桿上。
[0021]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型所提供的擺動(dòng)裝置，通過動(dòng)力機(jī)構(gòu)控制擺動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)載物機(jī)構(gòu)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化擺動(dòng)，提高產(chǎn)品生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低人工成本，且可有效避免人工擺動(dòng)過程中存在的安全隱患。
【附圖說明】
[0022]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，附圖中:
[0023]圖1是實(shí)施例1中擺動(dòng)裝置的一狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖2是圖1中A部分的爆炸圖。
[0025]圖3是實(shí)施例2中擺動(dòng)裝置的另一狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖4是圖3中B部分的爆炸圖。
[0027]圖5是實(shí)施例2中蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖中:100、擺動(dòng)裝置；110、載物機(jī)構(gòu)；111、載物籃；1111、方形籃體；1112、連接件；1113、支撐件；114、卡塞；120、擺動(dòng)機(jī)構(gòu)；121、曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；1211、導(dǎo)軌；1212、滑塊；1213、第一連桿；1214、第二連桿；1215、第三連桿；1216、第一銷釘；1217、第二銷釘；1218、螺釘；130、動(dòng)力機(jī)構(gòu);131、調(diào)速電機(jī);140、箱體;200、機(jī)臺(tái);300、反應(yīng)槽;400、支架;410、支撐臂；420、支撐桿。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為了對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對(duì)照附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】。
[0030]實(shí)施例1
[0031]圖1、圖3分別示出本實(shí)施例中的擺動(dòng)裝置100的原始狀態(tài)和工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖，擺動(dòng)裝置100應(yīng)用于蝕刻機(jī)。如圖1及圖3所示，擺動(dòng)裝置100包括箱體140、載物機(jī)構(gòu)110、與載物機(jī)構(gòu)110相連的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120和與擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120相連的動(dòng)力機(jī)構(gòu)130 ;擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120和動(dòng)力機(jī)構(gòu)130設(shè)置在箱體140內(nèi)?？梢岳斫獾?，箱體140采用耐腐蝕材料制成或在箱體140外設(shè)有耐腐蝕保護(hù)層，該耐腐蝕保護(hù)層采用耐腐蝕材料制成，以避免擺動(dòng)過程中，蝕刻機(jī)上的反應(yīng)液濺射到箱體140上，并與箱體140發(fā)生反應(yīng)，以避免產(chǎn)生其他金屬離子進(jìn)入反應(yīng)液中影響蝕刻效果。本實(shí)施例中，耐腐蝕材料可以是PP工程塑料或316不銹鋼材料。
[0032]工作時(shí)，動(dòng)力機(jī)構(gòu)130用于控制擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120工作，以帶動(dòng)與擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120相連的載物機(jī)構(gòu)110上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化擺動(dòng)。本實(shí)施例中，擺動(dòng)裝置100應(yīng)用在鎳銀蝕刻機(jī)中，可以理解地，擺動(dòng)裝置100還可用于其他蝕刻機(jī)中，用于解決當(dāng)前蝕刻過程中采用人工擺動(dòng)方式擺動(dòng)放置晶圓的卡塞，生產(chǎn)效率低、人工成本高且存在安全隱患的問題。
[0033]本實(shí)施例中，動(dòng)力機(jī)構(gòu)130為調(diào)速電機(jī)131 ;擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120可以采用但并不限于曲柄滑塊機(jī)構(gòu)121，采用曲柄滑塊機(jī)構(gòu)121可將調(diào)速電機(jī)131所作的圓周運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)載物機(jī)構(gòu)110上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)?？梢岳斫獾兀瑒?dòng)力機(jī)構(gòu)130和擺動(dòng)機(jī)構(gòu)120還可以采用其他可實(shí)現(xiàn)相同功能的結(jié)構(gòu)。
[0034]如圖2、圖4所示，曲柄滑塊機(jī)構(gòu)121包括導(dǎo)軌1211、滑塊1212、第一連桿1213、第二連桿1214和第三連桿1215。具體地，導(dǎo)軌1211通過螺釘1218固定在箱體140內(nèi)側(cè)，沿上下方向設(shè)置。滑塊1212與第三連桿1215的一端通過螺釘1218或螺栓固定相連，并與導(dǎo)軌1211相配合，可沿導(dǎo)軌1211上下移動(dòng)。第一連桿1213的一端與調(diào)速電機(jī)131的輸出軸通過緊固螺釘1218固定相連，另一端與第二連桿1214的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)相連。第二連桿1214的另一端與第三連桿1215的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)相連。第三連桿1215的另一端伸出箱體140并與載物機(jī)構(gòu)110通過螺釘1218或螺栓固定相連。具體地，第一連桿1213和第二連桿1214通過第一銷釘1216相連并可繞第一銷釘1216轉(zhuǎn)動(dòng)，第二連桿1214和第三連桿1215通過第二銷釘1217相連并可繞第二銷釘1217轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0035]如圖3、圖4示出擺動(dòng)裝置100工作時(shí)，調(diào)速電機(jī)131帶動(dòng)第一連桿1213旋轉(zhuǎn)，與第一連桿1213通過第一銷釘12