一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電子產(chǎn)品ΙΤ0鍍膜加工生產(chǎn)設(shè)備，尤其是一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有ΙΤ0真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，形式多樣，有鑲嵌式的，有開放式的。開放式的，結(jié)構(gòu)簡單，裝夾基片方便，通用性強(qiáng)，造價(jià)便宜，但是鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量受影響，不能生產(chǎn)高品質(zhì)產(chǎn)品；鑲嵌式的，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝夾基片稍難，產(chǎn)品的質(zhì)裝夾基片方便量有保證，但是通用性差，每種產(chǎn)品要對應(yīng)一套，造價(jià)昂貴；不論鑲嵌式的還是開放的，目前都不做到單面和雙面鍍膜的通用性，都需要兩套裝夾裝備；鑒于上述原因，ΙΤ0真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝夾基片稍難，單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備，需要改進(jìn)鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，現(xiàn)發(fā)明出一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有ΙΤ0真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝夾基片稍難，單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備，需要改進(jìn)鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，通過合理設(shè)計(jì)，提供一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，特殊設(shè)計(jì)的橫梁通過連接片固定到豎梁上，彈性夾具通過螺釘連接到橫梁上，單面產(chǎn)品或雙面產(chǎn)品，徒手固定在彈性夾具上；單面和雙面產(chǎn)品，裝夾裝備兼容，不同規(guī)格的產(chǎn)品，只要移動橫梁，并重新固定，便可使用；橫梁上下的擋片和基片之間的適當(dāng)間距，可以防止繞射，生產(chǎn)的效率高。
[0004]本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，是由:雙面基片、雙面下彈性卡、雙面上彈性卡、橫梁、豎梁、單面上彈性卡、單面下彈性卡、單面基片構(gòu)成；如圖所示，豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁，橫梁設(shè)置為十字型，十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁上面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡、上方橫梁下面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡，雙面上彈性卡與雙面下彈性卡的卡頭對應(yīng)設(shè)置，雙面下彈性卡與雙面上彈性卡之間設(shè)置雙面基片；上方橫梁下面與中部橫梁上面設(shè)置一組雙面上彈性卡與雙面下彈性卡；上方橫梁的側(cè)梁下方對稱設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡、中部橫梁的側(cè)梁上面對稱設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡，單面上彈性卡與單面下彈性卡的卡頭對應(yīng)設(shè)置，單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設(shè)置單面基片；豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁，上下相鄰兩根橫梁之間對應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置，兩根橫梁之間設(shè)置雙面基片；橫梁設(shè)置為十字型，十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；同一側(cè)的兩根橫梁側(cè)梁之間設(shè)置單面基片。
[0005]有益效果:單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備，通用性強(qiáng)；更換產(chǎn)品品種，方便快捷；徒手快速裝卸基片，減少人力資源的使用；解決繞射問題，可以生產(chǎn)低阻高檔產(chǎn)品；結(jié)構(gòu)簡單，加工容易，造價(jià)便宜，永久使用。
[0006]本實(shí)用新型的豎梁是和移動小車是一體的，特殊設(shè)計(jì)的橫梁通過連接片固定到豎梁上，彈性夾具通過螺釘連接到橫梁上，單面產(chǎn)品或雙面產(chǎn)品，徒手固定在彈性夾具上；單面和雙面產(chǎn)品，裝夾裝備兼容，不同規(guī)格的產(chǎn)品，只要移動橫梁，并重新固定，便可使用；橫梁上下的擋片和基片之間的適當(dāng)間距，可以防止繞射。
【附圖說明】
[0007]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0008]圖1是，總裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2是，側(cè)視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖3是，安裝雙面基片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖4是，安裝單面基片結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖1、2、3、4中:雙面基片1、雙面下彈性卡2、雙面上彈性卡3、橫梁4、豎梁5、單面上彈性卡6、單面下彈性卡7、單面基片8。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖與【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明:
[0014]如圖所示，豎梁5 —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁4，橫梁4設(shè)置為十字型，十字型橫梁4兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁4上面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡2、上方橫梁4下面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡3，雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2的卡頭對應(yīng)設(shè)置，雙面下彈性卡2與雙面上彈性卡3之間設(shè)置雙面基片1 ;上方橫梁4下面與中部橫梁4上面設(shè)置一組雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2 ;
[0015]上方橫梁4的側(cè)梁下方對稱設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡6、中部橫梁4的側(cè)梁上面對稱設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡7，單面上彈性卡6與單面下彈性卡7的卡頭對應(yīng)設(shè)置，單面上彈性卡6與單面下彈性卡7之間設(shè)置單面基片8 ;
[0016]豎梁5 —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁4，上下相鄰兩根橫梁4之間對應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置，兩根橫梁4之間設(shè)置雙面基片1 ;橫梁4設(shè)置為十字型，十字型橫梁4兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；同一側(cè)的兩根橫梁4側(cè)梁之間設(shè)置單面基片8。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，是由:雙面基片(1)、雙面下彈性卡(2)、雙面上彈性卡(3)、橫梁(4)、豎梁(5)、單面上彈性卡￠)、單面下彈性卡(7)、單面基片(8)構(gòu)成；其特征在于:如圖所示，豎梁(5) —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁(4)，橫梁(4)設(shè)置為十字型，十字型橫梁(4)兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁(4)上面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡(2)、上方橫梁(4)下面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡(3)，雙面上彈性卡(3)與雙面下彈性卡(2)的卡頭對應(yīng)設(shè)置，雙面下彈性卡(2)與雙面上彈性卡(3)之間設(shè)置雙面基片(1);上方橫梁(4)下面與中部橫梁(4)上面設(shè)置一組雙面上彈性卡(3)與雙面下彈性卡(2)。2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，其特征在于:上方橫梁(4)的側(cè)梁下方對稱設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡￠)、中部橫梁(4)的側(cè)梁上面對稱設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡(7)，單面上彈性卡(6)與單面下彈性卡(7)的卡頭對應(yīng)設(shè)置，單面上彈性卡(6)與單面下彈性卡(7)之間設(shè)置單面基片(8)。3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，其特征在于:豎梁(5)一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁(4)，上下相鄰兩根橫梁(4)之間對應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置，兩根橫梁(4)之間設(shè)置雙面基片(1);橫梁(4)設(shè)置為十字型，十字型橫梁(4)兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；同一側(cè)的兩根橫梁(4)側(cè)梁之間設(shè)置單面基片(8)。
【專利摘要】一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，是由：豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁，橫梁設(shè)置為十字型，十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁上面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡、上方橫梁下面對稱設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡，雙面下彈性卡與雙面上彈性卡之間設(shè)置雙面基片；上方橫梁下面與中部橫梁上面設(shè)置一組雙面上彈性卡與雙面下彈性卡；上方橫梁的側(cè)梁下方對稱設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡、中部橫梁的側(cè)梁上面對稱設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡，單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設(shè)置單面基片；單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備，通用性強(qiáng)；更換產(chǎn)品品種，方便快捷；解決繞射問題，可以生產(chǎn)低阻高檔產(chǎn)品；結(jié)構(gòu)簡單，造價(jià)便宜，永久使用。
【IPC分類】C23C14/50
【公開號】CN205011833
【申請?zhí)枴緾N201520668550
【發(fā)明人】王新, 牛建國
【申請人】洛陽新兆電子有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年8月23日