磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:
[0002]本實(shí)用新型涉及一種磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置。
[0003]【背景技術(shù)】:
[0004]三元催化器是安裝在汽車排氣系統(tǒng)中最重要的機(jī)外凈化裝置,它可將汽車尾氣排出的CO—氧化碳、HC碳?xì)浠衔锖蚇O )(氮氧化物等有害氣體通過氧化和還原作用轉(zhuǎn)變?yōu)闊o害的二氧化碳、水和氮?dú)?。由于這種催化器可同時(shí)將廢氣中的三種主要有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì),通常,三元催化器為陶瓷載體預(yù)燒結(jié)、催化層涂覆、高溫?zé)Y(jié)后得到含有重金屬的催化劑載體。但由于涂覆或者浸鍍的過程中增加了工序而且浪費(fèi)了溶液,因此如何簡單制備高結(jié)合強(qiáng)度的催化劑載體成為有待解決的技術(shù)問題。
[0005]【實(shí)用新型內(nèi)容】:
[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置。
[0007]上述的目的通過以下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0008]一種磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置,其組成包括:堇青石陶瓷載體,其特征是:將所述的堇青石陶瓷載體設(shè)置于磁控濺射裝置的真空室內(nèi),將所述的堇青石陶瓷載體的內(nèi)孔徑套在所述的磁控濺射裝置內(nèi)的金屬靶上,真空室通過氣管與注汽機(jī)連接,所述的金屬靶與通電器電連接。
[0009]有益效果:
[0010]1.本實(shí)用新型將堇青石陶瓷放置于磁控濺射裝置的真空室內(nèi),利用磁控濺射裝置產(chǎn)生的磁場,使得金屬靶產(chǎn)生偏差電流,金屬靶作為負(fù)極,從而使堇青石陶瓷表面帶有磁層體;所述金屬靶的材料為濺射貴重金屬,所述貴重金屬為鉑、銠、鈀;在金屬靶產(chǎn)生偏差電流的同時(shí),對磁控濺射裝置的真空室進(jìn)行加熱,溫度控制在350°C -700°C ;抽出真空室內(nèi)的氣體,當(dāng)真空室內(nèi)的真空度小于2 X KT4Pa時(shí),向真空室內(nèi)充入設(shè)定濃度的氬氣;向金屬靶通入電流,進(jìn)行濺射鍍膜;金屬靶產(chǎn)生的離子在電場的作用下加速飛向堇青石陶瓷孔徑內(nèi)表面的過程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向堇青石陶瓷內(nèi)孔徑表面;氬離子在電場的作用下急速轟擊金屬靶,濺射出大量的金屬靶靶材原子或分子,呈中性的靶原子或分子沉積在堇青石內(nèi)孔徑表面,形成貴重金屬薄膜。避免了復(fù)雜的工序和浸鍍中原料的浪費(fèi)并提高了重金屬膜的縝密性及均質(zhì)性。
[0011]【附圖說明】:
[0012]附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]【具體實(shí)施方式】:
[0014]實(shí)施例1:
[0015]一種磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置,其組成包括:堇青石陶瓷載體I,將所述的堇青石陶瓷載體設(shè)置于磁控濺射裝置2的真空室3內(nèi),將所述的堇青石陶瓷載體的內(nèi)孔徑4套在所述的磁控濺射裝置內(nèi)的金屬靶5上,真空室通過氣管6與注汽機(jī)7連接,所述的金屬靶與通電器8電連接。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置,其組成包括:堇青石陶瓷載體,其特征是:將所述的堇青石陶瓷載體設(shè)置于磁控濺射裝置的真空室內(nèi),將所述的堇青石陶瓷載體的內(nèi)孔徑套在所述的磁控濺射裝置內(nèi)的金屬靶上,真空室通過氣管與注汽機(jī)連接,所述的金屬靶與通電器電連接。
【專利摘要】磁控濺射三元催化器陶瓷真空鍍貴重金屬膜裝置。通常,三元催化器為陶瓷載體預(yù)燒結(jié)、催化層涂覆、高溫?zé)Y(jié)后得到含有重金屬的催化劑載體,但由于涂覆或者浸鍍的過程中增加了工序而且浪費(fèi)了溶液,因此如何簡單制備高結(jié)合強(qiáng)度的催化劑載體成為有待解決的技術(shù)問題。本實(shí)用新型組成包括:堇青石陶瓷載體(1),將所述的堇青石陶瓷載體設(shè)置于磁控濺射裝置(2)的真空室(3)內(nèi),將所述的堇青石陶瓷載體的內(nèi)孔徑(4)套在所述的磁控濺射裝置內(nèi)的金屬靶(5)上,真空室通過氣管(6)與注汽機(jī)(7)連接,所述的金屬靶與通電器(8)電連接。本實(shí)用新型用于三元催化器陶瓷鍍貴重金屬膜。
【IPC分類】C23C14-35, C23C14-18
【公開號】CN204369979
【申請?zhí)枴緾N201420858098
【發(fā)明人】趙宏偉
【申請人】哈爾濱固泰電子有限責(zé)任公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2014年12月30日