第一開關(guān)為電磁閥門;所述第二開關(guān)為電磁閥門。
[0034]本發(fā)明實施例還提供了一種上述裝置的使用方法，包括:
[0035]控制監(jiān)控裝置與氣體腔體之間的第二開關(guān)關(guān)閉，并控制監(jiān)控裝置與出氣管道之間的第一開關(guān)開啟，監(jiān)控出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量；
[0036]控制監(jiān)控裝置與氣體腔體之間的第二開關(guān)開啟，并控制監(jiān)控裝置與出氣管道之間的第一開關(guān)關(guān)閉，輸出氣體進行薄膜沉積。
[0037]較佳地，所述監(jiān)控裝置包括:粉末收集裝置、彈簧和壓力傳感器，所述壓力傳感器通過所述彈簧與所述粉末收集裝置連接；
[0038]所述監(jiān)控出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量，包括:
[0039]所述粉末收集裝置收集出氣管道中的氣態(tài)物，并將收集到的氣態(tài)物凝固為固態(tài)物；
[0040]所述壓力傳感器通過檢測所述彈簧的壓力，得到隨時間變化的壓力轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號的數(shù)值，根據(jù)預先建立的壓力與單位體積的粉末含量的對應(yīng)關(guān)系，得到出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量。
[0041]較佳地，粉末儲藏罐的底端設(shè)置為一移動結(jié)構(gòu)，該移動結(jié)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述粉末儲藏罐的體積；
[0042]還包括:與粉末儲藏罐和所述監(jiān)控裝置連接的報警調(diào)節(jié)裝置，所述監(jiān)控出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量后，所述方法還包括:
[0043]報警調(diào)節(jié)裝置接收所述監(jiān)控裝置反饋的出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量，將單位體積內(nèi)粉末的含量值與預設(shè)范圍比較，當所述單位體積內(nèi)粉末的含量值超出所述預設(shè)范圍時，發(fā)出警報，并控制所述移動結(jié)構(gòu)運動，直到警報消除。
【附圖說明】
[0044]圖1為現(xiàn)有技術(shù)CVD維修設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0045]圖2為本發(fā)明實施例提供的一種裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0046]圖3為本發(fā)明實施例一提供的監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖4(a)和圖4(b)為本發(fā)明實施例一提供的粉末收集裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖5為本發(fā)明實施例二提供的監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0049]圖6為本發(fā)明實施例提供的另一裝置的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0050]圖7為本發(fā)明實施例提供的一種上述裝置的使用方法流程圖。
【具體實施方式】
[0051]本發(fā)明實施例提供了一種裝置及該裝置的使用方法，用以降低對基板線路維修時失敗的幾率，提尚基板的品質(zhì)。
[0052]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步地詳細描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0053]下面結(jié)合附圖詳細介紹本發(fā)明具體實施例提供的裝置，該裝置用于對基板線路進行維修。
[0054]如圖2所示，本發(fā)明具體實施例提供了一種裝置，包括粉末儲藏罐21和氣體腔體14，粉末儲藏罐21設(shè)置有進氣管道22和出氣管道23，進氣管道22用于通入惰性氣體，出氣管道23與氣體腔體14連接，本發(fā)明具體實施例的裝置還包括監(jiān)控裝置24、第一開關(guān)25和第二開關(guān)26，
[0055]第一開關(guān)25設(shè)置在監(jiān)控裝置24與出氣管道23之間，第二開關(guān)26設(shè)置在監(jiān)控裝置24與氣體腔體14之間，優(yōu)選地，本發(fā)明具體實施例中的第一開關(guān)25為電磁閥門，第二開關(guān)26為電磁閥門，在使用時可以通過通電和斷電控制電磁閥門的開和關(guān)，便于遠程自動控制；
[0056]監(jiān)控裝置24設(shè)置在粉末儲藏罐21和氣體腔體14之間，與出氣管道23連通，用于在第二開關(guān)26關(guān)閉，第一開關(guān)25打開時，即在監(jiān)控裝置24與氣體腔體14之間的氣路處于關(guān)閉狀態(tài)時，監(jiān)控出氣管道23中單位體積內(nèi)粉末的含量。
[0057]優(yōu)選地，如圖2所示，本發(fā)明具體實施例進氣管道22與粉末儲藏罐21連接的進氣口的截面形狀為梯形；出氣管道23與粉末儲藏罐21連接的出氣口的截面形狀為梯形。
[0058]本發(fā)明具體實施例中的粉末以鎢粉為例進行介紹，與現(xiàn)有技術(shù)鎢粉儲藏罐的進氣口和出氣口為圓柱形相比，本發(fā)明具體實施例將鎢粉儲藏罐的進氣口和出氣口設(shè)置為梯形結(jié)構(gòu)，能夠增大口徑，使進氣口的氣流方向多樣化，同時也使出氣口不會出現(xiàn)鎢粉結(jié)晶和堵塞的問題。
[0059]本發(fā)明具體實施例中的監(jiān)控裝置采用兩種不同的設(shè)置，下面結(jié)合附圖分別進行介紹。
[0060]實施例一:
[0061]如圖2所示，本發(fā)明具體實施例的監(jiān)控裝置24包括:粉末收集裝置27、彈簧29和壓力傳感器28;
[0062]粉末收集裝置27用于，在第一開關(guān)25打開，第二開關(guān)26關(guān)閉時，收集出氣管道23中的氣態(tài)物，并將收集到的氣態(tài)物凝固為固態(tài)物；
[0063]壓力傳感器28通過彈簧29與粉末收集裝置27連接，用于在氣態(tài)物凝固為固態(tài)物時，通過檢測彈簧29的壓力，得到隨時間變化的壓力轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號的數(shù)值，根據(jù)預先建立的壓力與單位體積的粉末含量的對應(yīng)關(guān)系，得到出氣管道23中單位體積內(nèi)粉末的含量。
[0064]下面以粉末為鎢粉為例，結(jié)合附圖詳細介紹本發(fā)明具體實施例監(jiān)控裝置監(jiān)控鎢粉含量時的工作原理。
[0065]如圖2所示，在第一開關(guān)25打開，第二開關(guān)26關(guān)閉時，出氣管道23中的氣體只能進入監(jiān)控裝置24，而不進入氣體腔體14。具體實施時，本發(fā)明具體實施例中進氣管道22通入的氣體為氬(Ar)氣，并對粉末儲藏罐21進行加熱，使得粉末儲藏罐21中儲藏的鎢粉變?yōu)闅鈶B(tài)鎢粉，氣態(tài)鎢粉在Ar氣的吹動下，經(jīng)過出氣口流入出氣管道23，在第一開關(guān)25打開，第二開關(guān)26關(guān)閉的情況下，氣態(tài)鎢粉進入監(jiān)控裝置24。
[0066]如圖3所示，當粉末收集裝置27將收集到的氣態(tài)鎢粉凝固為固態(tài)鎢粉時，彈簧29會在固態(tài)鎢粉的作用力下發(fā)生形變，并產(chǎn)生相應(yīng)的壓力，該壓力被壓力傳感器28所感知，通過壓力傳感器28內(nèi)部的信號轉(zhuǎn)換器、信號放大器以及數(shù)字處理器的處理，得到隨時間變化的壓力轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號的數(shù)值，然后根據(jù)預先建立的壓力與單位體積的氣態(tài)鎢粉含量的對應(yīng)關(guān)系，得到出氣管道23中單位體積內(nèi)氣態(tài)鎢粉的含量。
[0067]具體地，如圖2和圖3所示，本發(fā)明具體實施例通過控制第一開關(guān)25打開和第二開關(guān)26關(guān)閉的時間，以及控制粉末儲藏罐21中鎢粉的含量，測試一系列粉末收集裝置27的壓力變化，在Ar氣流量一定且已知的情況下，計算出單位時間單位體積的氣態(tài)鎢粉的含量，再測試對應(yīng)的鎢粉沉積薄膜厚度，得出相應(yīng)的壓力與單位體積的氣態(tài)鎢粉的含量，以及壓力與薄膜厚度的一一對應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)庫。
[0068]本發(fā)明具體實施例根據(jù)壓力與單位體積的氣態(tài)鎢粉的含量，以及壓力與薄膜厚度的一一對應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)庫，以及實際生產(chǎn)的需要設(shè)定合適的鎢粉含量范圍，對鎢粉的使用狀況進行監(jiān)控。
[0069]本發(fā)明具體實施例通過監(jiān)控裝置監(jiān)控鎢粉含量和使用狀況，與現(xiàn)有技術(shù)只能記錄設(shè)備運行時間和觀察鎢粉沉積